一种芯片生产用的芯片清洗装置制造方法及图纸

本技术属于芯片清洗技术领域，尤其为一种芯片生产用的芯片清洗装置，包括皮带输送机以及主机箱，在所述主机箱内设有浸洗机构，所述浸洗机构包括：清洗箱，清洗箱内固定有隔板，所述隔板将所述清洗箱的内部空间分隔为风干仓与浸洗仓；载料托盘，所述载料托盘包括框架、多孔载料板、带孔安装耳与一号驱动电机；驱动组件；多孔过滤板；风扇；浸洗液抽出口，所述浸洗液抽出口固定在所述清洗箱上并与所述浸洗仓的内部空间相通；本技术中，通过驱动组件作为动力源驱动载料托盘沿竖直方向和水平方向移动，可将芯片充分浸洗，还可将芯片输送至风干仓内进行风干，以及将芯片下放至皮带输送机上输送至下一工位处，清洗效率得到大幅度提升。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于芯片清洗，具体涉及一种芯片生产用的芯片清洗装置。

技术介绍

1、芯片清洗是每一个芯片制备过程中必不可少的过程，其目的在于使芯片表面的污染物尽可能地降低，使得元件获得良好而稳定的特性，以及使制程具有良好的再现性，芯片在生产流程中，需要进行芯片的外观清洁处理，保持芯片的外观整洁和避免引脚污染无法正常使用。

2、目前，市面上现有的芯片清洗装置仅能够对芯片进行单次清洗，清洗效率较低。

3、基于前述技术问题，检索到在现有技术中，授权公告号为cn206774506u的中国技术专利公开了“一种芯片加工清洗装置”，括物料槽和第一清洗池，所述第一清洗池、第二清洗池、第三清洗池和第四清洗池的内部均通过电机固定连接有传送带，所述第一清洗池内部两侧壁均设置有去静电板，所述第一清洗池的内部上壁设置有污垢检测器，所述污垢检测器电性连接有推动器，所述第二清洗池的内部设置有浸洗液，所述第三清洗池的内壁设置有雾化喷气口，所述第四清洗池的内部上壁设置有排风层，所述排风层的下方设置有电加热丝。

4、包括如上述在内的现有技术中的芯片加工清洗装置，虽然能够对芯片进行反复多次清洗，但是在实际使用时，芯片在传送带的带动下通过第二浸洗池，与浸洗液的接触时间短，浸洗效果较差。

5、为解决上述问题，本申请中提出一种芯片生产用的芯片清洗装置。

技术实现思路

1、为解决现有技术中存在的上述问题，本技术提供了一种芯片生产用的芯片清洗装置，具有使用方便以及清洗效率高的特点。

<p>2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种芯片生产用的芯片清洗装置，包括皮带输送机以及固定在所述皮带输送机上的主机箱，在所述主机箱内设有浸洗机构，所述浸洗机构包括：

3、清洗箱，所述清洗箱固定在所述主机箱内，且在所述清洗箱内固定有隔板，所述隔板将所述清洗箱的内部空间分隔为风干仓与浸洗仓，所述风干仓的顶端与底端均开口，所述浸洗仓的顶端开口；

4、载料托盘，所述载料托盘包括框架、多孔载料板、带孔安装耳与一号驱动电机，所述带孔安装耳固定在所述框架上，两个所述多孔载料板相对称分布并转动连接于所述带孔安装耳，所述一号驱动电机固定在所述带孔安装耳上用于驱动所述多孔载料板转动；

5、驱动组件，所述驱动组件可驱动地连接于所述载料托盘，用于驱动所述载料托盘移动；

6、多孔过滤板，所述多孔过滤板通过抽拉方式安装在所述浸洗仓内；

7、风扇，所述风扇固定在所述风干仓内；

8、浸洗液抽出口，所述浸洗液抽出口固定在所述清洗箱上并与所述浸洗仓的内部空间相通。

9、作为本技术的一种优选技术方案，所述驱动组件包括：

10、移动座，所述移动座位于所述主机箱内；

11、升降架，所述升降架利用安装柱支撑固定在所述框架上；

12、电动推杆，所述电动推杆固定于所述移动座的底面，且所述电动推杆的活塞杆与所述升降架固定连接。

13、作为本技术的一种优选技术方案，所述驱动组件还包括：

14、螺纹杆，所述螺纹杆转动安装在所述主机箱内，且所述螺纹杆贯穿所述移动座并通过螺纹旋合方式与所述移动座相连接；

15、二号驱动电机，所述二号驱动电机固定在所述主机箱上，用于驱动所述螺纹杆旋转。

16、作为本技术的一种优选技术方案，所述驱动组件包括：

17、导向杆，两个所述导向杆相对称固定在所述主机箱内，且所述导向杆贯穿所述移动座。

18、作为本技术的一种优选技术方案，还包括：

19、u型插框，在所述清洗箱上具有供所述多孔过滤板贯穿的拆装口，所述u型插框固定在所述清洗箱内对应拆装口的位置，且在所述u型插框上具有供所述多孔过滤板嵌入的插槽。

20、作为本技术的一种优选技术方案，还包括：

21、限位板，所述限位板固定于所述多孔过滤板的端部，且在所述限位板上具有安装孔。

22、作为本技术的一种优选技术方案，还包括：

23、橡胶密封衬垫，所述橡胶密封衬垫粘合固定在所述限位板上。

24、作为本技术的一种优选技术方案，还包括：

25、浸洗液注入口，所述浸洗液注入口固定在所述主机箱上，且所述浸洗液注入口的尾端延伸至所述浸洗仓内。

26、与现有技术相比，本技术的有益效果是：

27、本技术中，通过驱动组件作为动力源驱动载料托盘沿竖直方向和水平方向移动，可将芯片充分浸洗，还可将芯片输送至风干仓内进行风干，以及将芯片下放至皮带输送机上输送至下一工位处，清洗效率得到大幅度提升。

28、本申请其他附加的优点和有益效果将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

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【技术保护点】

1.一种芯片生产用的芯片清洗装置，包括皮带输送机（1）以及固定在所述皮带输送机（1）上的主机箱（2），在所述主机箱（2）内设有浸洗机构（3），其特征在于，所述浸洗机构（3）包括：

2.根据权利要求1所述的一种芯片生产用的芯片清洗装置，其特征在于：所述驱动组件（6）包括：

3.根据权利要求2所述的一种芯片生产用的芯片清洗装置，其特征在于：所述驱动组件（6）还包括：

4.根据权利要求3所述的一种芯片生产用的芯片清洗装置，其特征在于：所述驱动组件（6）包括：

5.根据权利要求1所述的一种芯片生产用的芯片清洗装置，其特征在于：还包括：

6.根据权利要求5所述的一种芯片生产用的芯片清洗装置，其特征在于：还包括：

7.根据权利要求6所述的一种芯片生产用的芯片清洗装置，其特征在于：还包括：

8.根据权利要求1所述的一种芯片生产用的芯片清洗装置，其特征在于：还包括：

【技术特征摘要】

1.一种芯片生产用的芯片清洗装置，包括皮带输送机（1）以及固定在所述皮带输送机（1）上的主机箱（2），在所述主机箱（2）内设有浸洗机构（3），其特征在于，所述浸洗机构（3）包括：

2.根据权利要求1所述的一种芯片生产用的芯片清洗装置，其特征在于：所述驱动组件（6）包括：

3.根据权利要求2所述的一种芯片生产用的芯片清洗装置，其特征在于：所述驱动组件（6）还包括：

4.根据权利要求3所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王隆平，熊学飞，
申请(专利权)人：苏州锐杰微科技集团有限公司，
类型：新型
国别省市：