【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及残余气体分析仪器，具体为一种用于残余气体分析仪器分压显示的可拆卸模块。
技术介绍
1、rga(residual gas analyzer残余气体分析仪)，一种用来测量工艺腔体内气体组分(分压)并检测其质(量)(电)荷比的仪器。混合气体的总压是各组成气体分压的总和。四极质谱分析仪由下列三个主要部件组成：离子源、四极杆质量过滤器和检测器。离子源由推笼、灯丝、源笼、加速电极板、聚焦板组成。源笼里面为被测气体分子/原子。灯丝通电后会发射带负电的电子，它受到带负电推笼的推力飞向源笼，同时收到带正电的源笼的引力，加速的电子与源笼里面为被测气体分子/原子碰撞，使得被测气体分子/原子失去一个电子，成为带正电的离子。离子受到加速电极板和聚焦板的引力，会加速从此两电极板孔中穿过。
2、四极杆上施加各一组极性相反的直流/射频电压。电压的变化将分离离子。不同质量的离子只有在与其对应的电压下才能通过四极杆过滤器。其分辨性能取决于以下四点：四极杆的长度、射频频率、极杆表面光洁及其对准精度和真空质量。
3、检测器接收到的正离子数量会响应出对应强度的电流值，经过信号放大电路模块的放大，将电流信号传递出去进而分析出各个气体成分的分压数值。
4、现有市场上的rga残余气体分析仪基本不带有分压显示功能，必须通过控制上位机或者plc通信控制获取检测气体的分压显示；现有技术中，rga带有数码管形式的分压显示，显示操作较原始，且显示数值在侧面，与接口不在同一侧，无可给操作用户便捷地查看单一气体分压的显示屏幕，不便于检测分析
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种用于残余气体分析仪器分压显示的可拆卸模块，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种用于残余气体分析仪器分压显示的可拆卸模块，包括：残余气体分析仪以及与残余气体分析仪可拆卸连接的分压显示模块，所述分压显示模块具有外壳以及内置有外壳内的数据处理器，所述外壳内底壁设有对接插座一和对接插座二，所述残余气体分析仪背侧板上安装有通信lan口以及i/o输出口，所述通信lan口与对接插座一之间连接有双头网线，i/o输出口与对接插座二之间连接有公母转接头；
3、还包括嵌在外壳表壁上的显示屏，所述数据处理器与残余气体分析仪之间通过uart接口对接，所述显示屏与数据处理器之间连接有数据线。
4、在进一步的实施例中，所述显示屏具有参数选择显示、分压数值显示、电源power状态显示、故障error状态显示、灯丝filament状态显示以及检测器em状态显示。
5、在进一步的实施例中，所述残余气体分析仪背侧板上开设有多个预设螺纹孔，所述外壳背侧板上开设有多个分别与预设螺纹孔同轴分布的安装孔，所述安装孔内穿插有与预设螺纹孔螺纹连接的螺栓。
6、在进一步的实施例中，所述外壳内边角位置固定有导向轨，所述导向轨轴向设有滑动套接在螺栓外壁的导向槽。
7、在进一步的实施例中，所述数据处理器采用型号为stm32的处理器，所述显示屏采用型号为dmg32240c035 03wtc的电容触摸。
8、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
9、(1)、本专利技术可以根据用户监测的气体种类选择配置分压显示，在实时监控的过程中，无需在上位机软件上操作即可实时观测想要查看的气体分压。
10、(2)、本专利技术将显示屏与残余气体分析仪的背侧板处于同一朝向，当设备被集成应用时也无需担心显示视角被遮挡。
11、(3)、本专利技术的显示屏模块设计灵活，假如用户不需要频繁查看气体分压，拆下螺栓，分离外壳和残余气体分析仪，将双头网线和公母转接头同时拆除，即可灵活拆卸此显示模块。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种用于残余气体分析仪器分压显示的可拆卸模块，包括：残余气体分析仪(4)以及与残余气体分析仪(4)可拆卸连接的分压显示模块，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的用于残余气体分析仪器分压显示的可拆卸模块，其特征在于，所述显示屏(2)具有参数选择显示、分压数值显示、电源Power状态显示、故障ERROR状态显示、灯丝filament状态显示以及检测器EM状态显示。
3.根据权利要求1所述的用于残余气体分析仪器分压显示的可拆卸模块，其特征在于，所述残余气体分析仪(4)背侧板上开设有多个预设螺纹孔，所述外壳(1)背侧板上开设有多个分别与预设螺纹孔同轴分布的安装孔(3)，所述安装孔(3)内穿插有与预设螺纹孔螺纹连接的螺栓。
4.根据权利要求4所述的用于残余气体分析仪器分压显示的可拆卸模块，其特征在于，所述外壳(1)内边角位置固定有导向轨(8)，所述导向轨(8)轴向设有滑动套接在螺栓外壁的导向槽。
5.根据权利要求1所述的用于残余气体分析仪器分压显示的可拆卸模块，其特征在于，所述数据处理器采用型号为STM32的处理器，所述显示屏(2)采用
...【技术特征摘要】
1.一种用于残余气体分析仪器分压显示的可拆卸模块，包括：残余气体分析仪(4)以及与残余气体分析仪(4)可拆卸连接的分压显示模块，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的用于残余气体分析仪器分压显示的可拆卸模块，其特征在于，所述显示屏(2)具有参数选择显示、分压数值显示、电源power状态显示、故障error状态显示、灯丝filament状态显示以及检测器em状态显示。
3.根据权利要求1所述的用于残余气体分析仪器分压显示的可拆卸模块，其特征在于，所述残余气体分析仪(4)背侧板上开设有多个预设螺纹孔...
【专利技术属性】
技术研发人员：朴怡情，汪洋，詹清清，余晓军，
申请(专利权)人：上海爱柯锐科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。