【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备，具体而言，涉及一种长晶车间冷却系统。
技术介绍
1、碳化硅(sic)作为新兴的第三代半导体核心材料，具有宽禁带、高临界击穿电场强度、高电子迁移率以及良好的抗辐照性和化学稳定性等优异性，这使其成为一种广泛应用的重要衬底晶片材料，在航空器件、新能源汽车、轨道交通和家用电器等领域展现了良好的应用前景，在长晶过程中，一般需要用冷却水系统对长晶炉进行降温。
2、经专利技术人研究发现，长晶炉车间冷却水系统中循环管路中具有石英支管，现有的一些长晶炉车间冷却水系统中石英支管中的回水水压过大会导致石英支管破裂。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种长晶车间冷却系统，其能够降低石英支管中的回水水压，从而避免石英支管破裂的情况发生。
2、本技术的实施例是这样实现的：
3、第一方面，本技术提供一种长晶车间冷却系统，包括：
4、循环管路，循环管路上依次设置有第一水箱、第二水箱及第一泵，循环管路包括出水管、连接支管、进水管及第一连接管，出水管与第一水箱连接，进水管与第二水箱连接，连接支管的两端分别与出水管及进水管连接，第一连接管的两端分别与第一水箱及第二水箱连接，第一泵设置于第一连接管，第一泵用于将第一水箱内的水经过出水管及第二水箱抽回第一水箱；
5、石英支管，石英支管的一端与出水管连接；
6、中转装置，中转装置设置有第二连接管及第三连接管，第二连接管远离中转装置的一端与石英支管的另一端连接，第三连接管远离中转
7、在可选的实施方式中，中转装置包括第三水箱，第三水箱通过第二连接管与石英支管远离出水管的一端连接，第三水箱通过第三连接管与第二水箱连接。
8、在可选的实施方式中，中转装置还包括第二泵，第二泵设置于第三连接管。
9、在可选的实施方式中，第二连接管的最大高度等于或小于石英支管的最小高度。
10、在可选的实施方式中，第三水箱还设置有第一阀门及第二阀门，第一阀门与第二连接管连接，第二阀门与第三连接管连接。
11、在可选的实施方式中，长晶车间冷却系统还包括压力传感器，出水管、进水管、第一连接管、第二连接管及第三连接管中的至少一个设置有压力传感器。
12、在可选的实施方式中，长晶车间冷却系统还包括制冷装置，第一连接管经过制冷装置与第一水箱连接，制冷装置用于与经过第一连接管的冷却液换热。
13、在可选的实施方式中，石英支管包括第一石英管及第二石英管，第一石英管套设于第二石英管，第一石英管的内壁与第二石英管的外壁之间具有供冷却液流动的冷却流道，出水管与冷却流道的一端连通，第二连接管与冷却流道的另一端连通。
14、在可选的实施方式中，第一水箱设置有第三阀门及第四阀门，第三阀门与出水管远离第二水箱的一端连接，第四阀门与第一连接管连接；和/或第二水箱设置有第五阀门及第六阀门，第五阀门与进水管连接，第六阀门与第一连接管远离第一水箱的一端连接。
15、在可选的实施方式中，第一水箱、第二水箱及第三水箱中的至少一个设置有液位传感器。
16、本技术实施例的有益效果是：本技术实施例提供了一种长晶车间冷却系统包括循环管路、石英支管及中转装置。循环管路上依次设置有第一水箱、第二水箱及第一泵，循环管路包括出水管、连接支管、进水管及第一连接管，出水管与第一水箱连接，进水管与第二水箱连接，连接支管的两端分别与出水管及进水管连接，第一连接管的两端分别与第一水箱及第二水箱连接，第一泵设置于第一连接管，第一泵用于将第一水箱内的水经过出水管及第二水箱抽回第一水箱。石英支管的一端与出水管连接。中转装置设置有第二连接管及第三连接管，第二连接管远离中转装置的一端与石英支管的另一端连接，也就是说，第二连接管远离中转装置的一端与石英支管远离出水管的一端连接。第三连接管远离中转装置的一端与第二水箱连接，中转装置用于降低石英支管的回水水压。从而避免石英支管破裂的情况发生。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种长晶车间冷却系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的长晶车间冷却系统，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的长晶车间冷却系统，其特征在于：
4.根据权利要求2所述的长晶车间冷却系统，其特征在于：
5.根据权利要求2所述的长晶车间冷却系统，其特征在于：
6.根据权利要求2所述的长晶车间冷却系统，其特征在于：
7.根据权利要求1所述的长晶车间冷却系统，其特征在于：
8.根据权利要求1所述的长晶车间冷却系统，其特征在于：
9.根据权利要求1所述的长晶车间冷却系统，其特征在于：
10.根据权利要求2所述的长晶车间冷却系统，其特征在于：
【技术特征摘要】
1.一种长晶车间冷却系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的长晶车间冷却系统，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的长晶车间冷却系统，其特征在于：
4.根据权利要求2所述的长晶车间冷却系统，其特征在于：
5.根据权利要求2所述的长晶车间冷却系统，其特征在于：
...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。