【技术实现步骤摘要】
本技术涉及湿法清洗，具体为一种防爆清洁型湿法清洗机。
技术介绍
1、目前国内化学、化工合成、红外制冷及探测器事业、晶圆代工企业以及科研院所从事晶圆湿法刻蚀和清洗工艺中使用大量有机溶剂，所产生的蒸汽、可燃性气体、固体粉未等与空气混合后很容易产生火花引燃烧或爆炸；同时，也因为原始的清洗技术没有设置洁净新风过滤补给措施，清洗或实验所产生的有害气体和物质时时侵蚀着人体，危害操作人员的身体健康，以及试验过程中样品或成品、半成品等受到严重的污染，影响实验成果等众多因素。
2、特此，本技术提供一种防爆清洁型湿法清洗机，结合原始落后的技术节点来优化和提高清洗台安全功能和洁净工作环境。
技术实现思路
1、技术目的：解决现有技术清洗过程中产生的蒸汽、可燃性气体、固体粉未等与空气混合后很容易产生火花引燃烧或爆炸；同时，也因为原始的清洗技术没有设置洁净新风过滤补给措施，清洗或实验所产生的有害气体和物质时时侵蚀着人体，危害操作人员的身体健康，以及试验过程中样品或成品、半成品等受到严重的污染，影响实验成果的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
3、一种防爆清洁型湿法清洗机，包括湿法机柜，还包括：
4、防爆净化空气组件，所述防爆净化空气组件设置在湿法机柜主体上，所述防爆净化空气组件包括超高效洁净气流过滤器，以及自带防爆控制箱对接湿法机柜plc控制器和可视液晶界面；
5、灭火组件，所述灭火组件设置在操作区顶部，用于探测操作区内部烟雾状况并
6、清洁型组件，所述清洁型组件设置在操作区内部，用于保证清洁型过程中操作区洁净；
7、废液桶，所述废液桶用于收集操作区洗净工作所产生的废液，废液经台面废液孔漏斗经管路流到废液桶收集起来，所述废液桶配有液满报警装置。
8、进一步地，所述灭火组件包括安装在操作区顶部左右的烟雾探测器和灭火喷射装置，所述烟雾探测器联动报警装置，当烟雾超过最高限制浓度时联动喷射装置喷射泡末灭火；所述灭火组件还包括设置在操作区左右两侧及内侧的环形进水管柱，所述进水管柱上设置多个螺旋形喷射嘴，喷射嘴呈不同角度安装。
9、进一步地，所述清洁型组件包括设置在操作区的超纯防腐水龙头、水槽、超纯水枪、氮气枪进一步地，所述湿法机柜人立面控制区设置防爆液晶屏、防爆插座、防爆压力表和报警器，并采用防爆线缆对接防爆控制器和防爆液晶屏。
10、进一步地，所述湿法机柜顶部设置有防爆灯具，与湿法机柜操作区采用透明防爆玻璃隔离。
11、进一步地，所述湿法机柜下柜设置有用于将操作过程中产生的化学味道及有害物质经管路抽至喷淋综合塔或活性炭装置进行无公害外排处理的负压抽风机。
12、进一步地，所述湿法机柜操作区采用防爆玻璃，所述防爆玻璃采用夹胶夹金属网格片工艺制作。
13、进一步地，湿法台底部采用防漏托盘，并加装漏液报警器。
14、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
15、通过在湿法机柜内设置防爆净化空气组件、防爆灯具、灭火组件、清洁型组件、废液桶等部件，避免在操作过程中发生爆炸，保障工作人员在有机清洗或试验工作中的人身安全，降低可控风险和企业的财产损失，为工作人员提供一个安全、舒适的操作环境。
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1.一种防爆清洁型湿法清洗机，包括湿法机柜(1)，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种防爆清洁型湿法清洗机，其特征在于，所述灭火组件包括安装在操作区顶部左右的烟雾探测器(401)和灭火喷射装置(402)，所述烟雾探测器(401)联动报警装置，当烟雾超过最高限制浓度时联动喷射装置喷射泡末灭火；所述灭火组件还包括设置在操作区左右两侧及内侧的环形进水管柱(403)，所述进水管柱(403)上设置多个螺旋形喷射嘴，喷射嘴呈不同角度安装。
3.根据权利要求1所述的一种防爆清洁型湿法清洗机，其特征在于，所述清洁型组件包括设置在操作区的超纯防腐水龙头、水槽、超纯水枪、氮气枪。
4.根据权利要求1所述的一种防爆清洁型湿法清洗机，其特征在于，所述湿法机柜(1)人立面控制区设置防爆液晶屏、防爆插座、防爆压力表和报警器，并采用防爆线缆对接防爆控制器和防爆液晶屏。
5.根据权利要求1所述的一种防爆清洁型湿法清洗机，其特征在于，所述湿法机柜(1)顶部设置有防爆灯具，与湿法机柜(1)操作区采用透明防爆玻璃(7)隔离。
6.根据权利要求1
7.根据权利要求1所述的一种防爆清洁型湿法清洗机，其特征在于，所述湿法机柜(1)操作区采用防爆玻璃(7)，所述防爆玻璃(7)采用夹胶夹金属网格片工艺制作。
8.根据权利要求1所述的一种防爆清洁型湿法清洗机，其特征在于，湿法台底部采用防漏托盘(8)，并加装漏液报警器。
...【技术特征摘要】
1.一种防爆清洁型湿法清洗机，包括湿法机柜(1)，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种防爆清洁型湿法清洗机，其特征在于，所述灭火组件包括安装在操作区顶部左右的烟雾探测器(401)和灭火喷射装置(402)，所述烟雾探测器(401)联动报警装置，当烟雾超过最高限制浓度时联动喷射装置喷射泡末灭火；所述灭火组件还包括设置在操作区左右两侧及内侧的环形进水管柱(403)，所述进水管柱(403)上设置多个螺旋形喷射嘴，喷射嘴呈不同角度安装。
3.根据权利要求1所述的一种防爆清洁型湿法清洗机，其特征在于，所述清洁型组件包括设置在操作区的超纯防腐水龙头、水槽、超纯水枪、氮气枪。
4.根据权利要求1所述的一种防爆清洁型湿法清洗机，其特征在于，所述湿法机柜(1)人立面控制区设置防爆液晶屏、防爆插座、防...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋孝波，王迪，王松爱，
申请(专利权)人：无锡子索生化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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