【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体，尤其是涉及一种换能组件、mems压电微扬声器及电子设备。
技术介绍
1、压电式mems扬声器在结构上具有尺寸小、厚度薄、可批量生产的特点，器件采用mems工艺性能一致性好、功耗低，易于集成化、智能化。为了使mems扬声器如mems麦克风一样得到更广泛的应用，业界致力于设计小尺寸、高性能的mems扬声器。
2、基于硅基底和压电薄膜材料构成的器件，在小尺寸与高性能需求中往往两者难以兼顾，且振膜的膜层结构通常包括支撑层，制作工艺复杂且材料的刚度高，使得压电驱动下振膜偏振位移受限，导致输出的声压级受限。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术的目的在于提供一种换能组件、mems压电微扬声器及电子设备。
2、第一方面，本技术实施例提供了一种换能组件，该换能组件包括：
3、振膜单元，包括层叠设置的至少两层钝化层；
4、压电复合单元，设于振膜单元内相邻的两个钝化层之间。
5、结合第一方面，压电复合单元至少有一个，设于振膜单元内部中间区域和/或边缘区域。
6、结合第一方面，压电复合单元有多个，包括第一压电复合单元，与第一压电复合单元在水平方向间隔设置的第二压电复合单元，和/或，在高度方向与第一压电复合单元层叠设置的第三压电复合单元。
7、结合第一方面，压电复合单元为单压电层结构或双压电层结构或多电极层结构。
8、结合第一方面，振膜单元上开槽缝隙得到具有弹簧结构的振膜单元。
9、
10、第二方面，本申请提供一种mems压电微扬声器，该mems压电微扬声器包括：硅衬底和上述的换能组件，硅衬底具有空腔。
11、结合第二方面，换能组件至少为两个，至少两个换能组件沿高度方向层叠设置，相邻的两个换能组件通过连接件进行连接。
12、结合第二方面，连接件包括:
13、边框，用于连接相邻的两个换能组件的边缘；
14、柔性连接件，用于连接相邻的两个换能组件的中心区域，以将相邻的两个换能组件柔性连接。
15、第三方面，本申请提供一种电子设备，电子设备包括上述的mems压电微扬声器。
16、本技术实施例带来了以下有益效果：本申请提供的换能组件、mems压电微扬声器及电子设备，该换能组件中振膜单元包括两层钝化层，相较于现有技术中包含支撑层结构的振膜而言减少了支撑层，简化了制备工艺流程、生产成本，并且降低了振膜单元的刚度，从而使得振膜单元受压电驱动时，可以产生更大的偏移位移，从而输出更大的声压级。此外，换能组件为由振膜单元和压电复合单元组成的三明治结构，可以有效降低mems工艺过程中的残余应力，从而可以提高器件性能的一致性，以及器件的可靠性和良率。进而在采用两个或多个相互间隔且堆叠级联的换能组件设置构成的mems压电扬声器，相比于单个mems换能振膜构成的压电扬声器，在不增加扬声器封装面积下，在同等激励下推动的空气量会更大，能够进一步提升器件的声压级spl输出，从而降低压电扬声器的面积，可满足小型化的要求。
17、本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。本技术的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
18、为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
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1.一种换能组件，其特征在于，所述换能组件包括：
2.根据权利要求1所述的换能组件，其特征在于，所述压电复合单元至少有一个，设于所述振膜单元内部中间区域和/或边缘区域。
3.根据权利要求1所述的换能组件，其特征在于，所述压电复合单元有多个，包括第一压电复合单元，与所述第一压电复合单元在水平方向间隔设置的第二压电复合单元，和/或，在高度方向与所述第一压电复合单元层叠设置的第三压电复合单元。
4.根据权利要求1所述的换能组件，其特征在于，所述压电复合单元为单压电层结构或双压电层结构或多电极层结构。
5.根据权利要求1所述的换能组件，其特征在于，所述振膜单元上开槽缝隙得到具有弹簧结构的所述振膜单元。
6.根据权利要求5所述的换能组件，其特征在于，还包括柔性干膜，覆盖和/或填充于所述振膜单元上的开槽缝隙。
7.一种MEMS压电微扬声器，其特征在于，所述MEMS压电微扬声器包括：硅衬底和如权利要求1-6任一项所述的换能组件，所述硅衬底具有空腔。
8.根据权利要求7所述的MEMS压电微扬声器，其特征在于，所述
9.根据权利要求8所述的MEMS压电微扬声器，其特征在于，所述连接件包括:
10.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备包括如权利要求7-9任一项所述的MEMS压电微扬声器。
...【技术特征摘要】
1.一种换能组件，其特征在于，所述换能组件包括：
2.根据权利要求1所述的换能组件，其特征在于，所述压电复合单元至少有一个，设于所述振膜单元内部中间区域和/或边缘区域。
3.根据权利要求1所述的换能组件，其特征在于，所述压电复合单元有多个，包括第一压电复合单元，与所述第一压电复合单元在水平方向间隔设置的第二压电复合单元，和/或，在高度方向与所述第一压电复合单元层叠设置的第三压电复合单元。
4.根据权利要求1所述的换能组件，其特征在于，所述压电复合单元为单压电层结构或双压电层结构或多电极层结构。
5.根据权利要求1所述的换能组件，其特征在于，所述振膜单元上开槽缝隙得到具有弹簧结构的所述振膜单元。...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄湘俊，朱莉莉，罗士忠，肖晶晶，龚芝伊，
申请(专利权)人：湖北九峰山实验室，
类型：新型
国别省市：
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