【技术实现步骤摘要】
本技术属于气密性检测设备，具体涉及一种检漏装置及检漏工装。
技术介绍
1、目前，国内大部分的多晶硅生产厂家所用的设备均为cvd还原炉。还原炉的工作原理是通过加热硅芯使得三氯氢硅与氢气的混和气体反应生成多晶硅并沉积在硅芯上。银电极体是还原炉的电极，其主要通过无氧铜与纯银结合制作而成。银电极体在制备过程中需要进行焊接操作，而且焊接完成后需要进行气密性检测，以检测焊接过程中是否存在虚焊情况。现有的气密性检测通常是根据银电极体上的接头选择对应的检测设备，检测方式较为单一，如果采用不同的方式进行气密性检测，需要将原有的接头拆下，再装上另一种接头，过程较为繁琐，效率较低。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题在于：现有的待检测件采用不同气密性检测方式效率较低，为解决该技术问题，提供一种能够采用不同气密性检测方式且效率高的检漏装置及检漏工装。
2、本技术提出的技术方案为：
3、一种检漏装置，包括：
4、第一接头，具有相互连通的第一连接端和第二连接端，所述第一连接端用于与待检测件连接；
5、第一检测机构，与所述第二连接端可拆卸地连接；
6、第二接头，具有相互连通的第三连接端和第四连接端，所述第三连接端可拆卸地连接于所述第二连接端；及
7、第二检测机构，与所述第四连接端可拆卸地连接，所述第一检测机构和所述第二检测机构均能够对所述待检测件进行气密性检测。
8、进一步地，所述检漏装置还包括连接组件，所述连接组件与所述
9、进一步地，所述连接组件包括第一连接件及第二连接件，所述第一连接件与所述待检测件连接，所述第二连接件与所述第一连接件连接，且所述第二连接件与所述待检测件密封接触，所述第二连接件开设有所述检测口，所述第一连接端与所述第二连接件密封连接。
10、进一步地，所述连接组件还包括密封件，所述第二连接件一侧开设有密封槽，所述密封槽环绕所述检测口设置，所述密封件设置于所述密封槽，且所述密封件与所述待检测件密封接触。
11、进一步地，所述第一连接件贯穿开设有连接口，所述连接口包括相互连通的连接段及导向段，所述连接段用于与所述待检测件连接，所述导向段位于所述连接段远离所述第二连接件的一端，所述导向段的径向尺寸自与所述连接段连接的一端至相对的另一端逐渐增大。
12、进一步地，所述连接组件还包括锁紧件，所述锁紧件连接于所述第一连接件和所述第二连接件，以将所述第一连接件和所述第二连接件固定。
13、进一步地，所述第一检测机构为氦检仪。
14、进一步地，所述第二检测机构包括连接管及压力检测器，所述连接管一端与所述第四连接端可拆卸地连接，另一端与所述压力检测器连接。
15、进一步地，所述检漏装置还包括连接套及紧固件，所述连接套与所述第二连接端及所述第三连接端可拆卸地连接，所述紧固件可分离地设置于所述连接套外侧，以将所述连接套压紧固定于所述第二连接端的外侧表面。
16、一种检漏工装，包括：
17、连接组件，与待检测件密封连接，且所述连接组件具有与所述待检测件连通的检测口；
18、第一接头，具有相互连通的第一连接端和第二连接端，所述第一连接端与所述连接组件密封连接，且与所述检测口连通，所述第二连接端能够与第一检测机构可拆卸地连接；
19、第二接头，具有相互连通的第三连接端和第四连接端，所述第三连接端可拆卸地连接于所述第二连接端，所述第四连接端能够与第二检测机构可拆卸地连接。
20、采用上述的检漏装置，将第一接头与待检测件连接，随后可以将第一检测机构与第一接头的第二连接端连接，从而通过第一检测机构对待检测件进行气密性检测。也可以将第二接头的第三连接端与第二连接端连接，随后将第二检测机构与第二接头的第四连接端连接，从而通过第二检测机构对待检测件进行气密性检测。在切换检测机构进行检测时，只需要连接或拆下第二接头即可，操作简单，效率更高。
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1.一种检漏装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的检漏装置，其特征在于，所述检漏装置还包括连接组件，所述连接组件与所述待检测件密封连接，且所述连接组件具有与所述待检测件连通的检测口，所述第一连接端与所述连接组件密封连接，且与所述检测口连通。
3.根据权利要求2所述的检漏装置，其特征在于，所述连接组件包括第一连接件及第二连接件，所述第一连接件与所述待检测件连接，所述第二连接件与所述第一连接件连接，且所述第二连接件与所述待检测件密封接触，所述第二连接件开设有所述检测口，所述第一连接端与所述第二连接件密封连接。
4.根据权利要求3所述的检漏装置，其特征在于，所述连接组件还包括密封件，所述第二连接件一侧开设有密封槽，所述密封槽环绕所述检测口设置，所述密封件设置于所述密封槽，且所述密封件与所述待检测件密封接触。
5.根据权利要求3所述的检漏装置，其特征在于，所述第一连接件贯穿开设有连接口，所述连接口包括相互连通的连接段及导向段，所述连接段用于与所述待检测件连接，所述导向段位于所述连接段远离所述第二连接件的一端，所述导向段的径向尺寸
6.根据权利要求3所述的检漏装置，其特征在于，所述连接组件还包括锁紧件，所述锁紧件连接于所述第一连接件和所述第二连接件，以将所述第一连接件和所述第二连接件固定。
7.根据权利要求1所述的检漏装置，其特征在于，所述第一检测机构为氦检仪。
8.根据权利要求1所述的检漏装置，其特征在于，所述第二检测机构包括连接管及压力检测器，所述连接管一端与所述第四连接端可拆卸地连接，另一端与所述压力检测器连接。
9.根据权利要求1所述的检漏装置，其特征在于，所述检漏装置还包括连接套及紧固件，所述连接套与所述第二连接端及所述第三连接端可拆卸地连接，所述紧固件可分离地设置于所述连接套外侧，以将所述连接套压紧固定于所述第二连接端的外侧表面。
10.一种检漏工装，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种检漏装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的检漏装置，其特征在于，所述检漏装置还包括连接组件，所述连接组件与所述待检测件密封连接，且所述连接组件具有与所述待检测件连通的检测口，所述第一连接端与所述连接组件密封连接，且与所述检测口连通。
3.根据权利要求2所述的检漏装置，其特征在于，所述连接组件包括第一连接件及第二连接件，所述第一连接件与所述待检测件连接，所述第二连接件与所述第一连接件连接，且所述第二连接件与所述待检测件密封接触，所述第二连接件开设有所述检测口，所述第一连接端与所述第二连接件密封连接。
4.根据权利要求3所述的检漏装置，其特征在于，所述连接组件还包括密封件，所述第二连接件一侧开设有密封槽，所述密封槽环绕所述检测口设置，所述密封件设置于所述密封槽，且所述密封件与所述待检测件密封接触。
5.根据权利要求3所述的检漏装置，其特征在于，所述第一连接件贯穿开设有连接口，所述连接口包括相互连通的连接段及导...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘铭枫，黄宇彬，童培云，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：新型
国别省市：
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