【技术实现步骤摘要】
本说明书中公开的主题涉及照明光学系统、光学系统调整方法以及曝光装置。
技术介绍
1、以往，已知有具备照明光学系统、调制元件(数字微镜器件(dmd)等)以及投影透镜的图案曝光装置。照明光学系统将激光二极管作为光源，对调制元件均匀地进行照明。投影透镜将由调制元件控制的图案光(光调制元件像)向抗蚀剂(曝光面)照射。另外，通过用图案光扫描抗蚀剂，在抗蚀剂上描绘期望的图案。
2、在图案曝光装置中，为了使曝光品质稳定，要求对调制元件均匀地进行照明。因此，通过将光源的光聚光到光纤，并从光纤入射到被称为棒状积分器的均匀光学元件，形成均匀的光。
3、例如在专利文献1中公开了这样的具有棒状积分器的照明光学系统。
4、光纤具有芯和包层。芯和包层具有不同的折射率，根据该折射率的不同来决定在光纤内部传播的光的特性。在由于产品批次的不同等而芯和包层的折射率产生偏差的情况下，光纤的数值孔径(na)变动，有可能难以得到所需的光的扩散角。
5、专利文献1：日本特开2006-171426号公报
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于，提供一种即使在光纤的数值孔径存在偏差的情况下，也能够适当地修正从光纤射出的光的扩散角的技术。
2、为了解决上述课题，第一方式具有：多个光纤，其传递来自光源的光；棒状积分器，其对从各所述光纤射出的光均匀地进行配光；变倍光学系统，其能够变更从各所述光纤射出的光的成像倍率。
3、第二方式是第一方式的照明光学系统，其中，所述
4、第三方式是第二方式的照明光学系统，其中，所述变倍光学系统能够在维持对焦位置的同时变更所述成像倍率。
5、第四方式为第三方式的照明光学系统，其中，所述变倍光学系统包含物镜、成像透镜以及能够在所述物镜与所述成像透镜之间移动的可动透镜。
6、第五方式是第二方式的照明光学系统，其中，所述照明光学系统还具备：角度调整机构，其能够使各所述光纤和所述变倍光学系统一体地倾动，以便变更向所述棒状积分器入射的光的入射角。
7、第六方式是第五方式的照明光学系统，其中，所述角度调整机构能够变更第一方向上的所述入射角。
8、第七方式是第六方式的照明光学系统，其中，所述角度调整机构能够变更与所述第一方向交叉的第二方向上的所述入射角。
9、第八方式为对第一方式至第七方式中的任一个照明光学系统进行调整的光学系统调整方法，其中，包含：a)使用光量传感器，获取从多个光纤射出的光的光量分布的工序；b)使用通过所述工序a)获取的光量分布，调整所述变倍光学系统的所述成像倍率的工序。
10、第九方式是第八方式的对照明光学系统进行调整的光学系统调整方法，其中，包含：c)使用光量传感器，计算从所述棒状积分器射出的光的光束重心的工序；d)调整光相对于所述棒状积分器的入射角，以使所述光束重心成为既定的位置的工序。
11、第十方式为一种曝光装置，其中，具备：保持部，其保持曝光对象物；第一方式至第七方式中任一方式的照明光学系统；空间调制器，其对来自所述照明光学系统的光进行调制；扫描机构，其利用由所述空间调制器调制后的光对保持于所述保持部的所述对象物的表面进行扫描。
12、根据第一方式至第七方式的照明光学系统，能够通过变倍光学系统适当地调整从多个光纤射出的光的扩散角。因此，即使光纤的数值孔径存在偏差，也能够适当地修正光的扩散角。
13、根据第二方式的照明光学系统，能够通过棒状积分器使扩散角被适当调整的光均匀化。
14、根据第三方式的照明光学系统，无需调整变倍光学系统相对于棒状积分器的位置就能够变更成像倍率。
15、根据第四方式的照明光学系统，能够在不改变对焦位置的情况下变更成像倍率。
16、根据第五方式的照明光学系统，通过调整入射到棒状积分器的光的入射角，能够将从棒状积分器射出的光以适当的角度照射到对象物。另外，通过使光纤及变倍光学系统相对于棒状积分器一体地倾动，与也包含棒状积分器而倾动的情况相比，能够缩短倾动的单元的全长。因此，能够减少物理干扰。
17、根据第八方式的光学系统调整方法，通过使用光的光量分布，能够将光的扩散角适当地调整为所要求的角度。
18、根据第九方式的光学系统调整方法，能够使用光束重心的位置适当地调整入射角。由此，即使在多个光纤存在个体差异的情况下，也能够适当地调整从棒状积分器射出的光的朝向。
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1.一种照明光学系统，其特征在于，具有：
2.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的照明光学系统，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的照明光学系统，其特征在于，
5.根据权利要求2所述的照明光学系统，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的照明光学系统，其特征在于，
7.根据权利要求6所述的照明光学系统，其特征在于，
8.一种光学系统调整方法，对权利要求1至7中的任意一项所述的照明光学系统进行调整，其特征在于，
9.根据权利要求8所述的对照明光学系统进行调整的光学系统调整方法，其特征在于，
10.一种曝光装置，其特征在于，具备：
【技术特征摘要】
1.一种照明光学系统，其特征在于，具有：
2.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的照明光学系统，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的照明光学系统，其特征在于，
5.根据权利要求2所述的照明光学系统，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的照明...
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