【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜，具体是一种可调控的真空镀膜预加热系统。
技术介绍
1、真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法，这种方法利用真空技术，避免了空气中杂质对镀膜过程的干扰，保证了膜层的纯净度和均匀性，使得真空镀膜具有广泛的应用前景和显著的技术优势，通过真空镀膜可避免空气中杂质对镀膜过程的干扰，保证了膜层的纯净度和均匀性，附着强度好。
2、在真空镀膜过程中，通过加热可使得镀膜材料蒸发并转化为气态，这些气态分子在真空中扩散并附着在基材表面形成薄膜，通过预加热可加速镀膜材料的汽化过程，使得更多的分子能够蒸发并扩散到基材表面，从而提高镀膜效率和膜层质量。
3、但是，现在真空镀膜过程中，一般都是直接对基材进行加热的，无法对基材进行预加热，导致影响膜层的质量，降低镀膜效率。因此，本领域技术人员提供了一种可调控的真空镀膜预加热系统，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种可调控的真空镀膜预加热系统，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、一种可调控的真空镀膜预加热系统，包括真空镀膜机，所述真空镀膜机的外侧从左到右分别安装有导热箱和预热混合箱，所述预热混合箱的外侧从上到下分别设置有加热箱和冷却箱，所述加热箱的内部设置有两组加热框，两组所述加热框的内部对称设置有加热管，所述加热箱的内部在加热框一侧还设置有抽风
4、所述冷却箱的内部设置有冷却水，且冷却箱的内前表面还安装有半导体制冷片，所述冷却箱的内部设置有抽液泵，所述抽液泵的出水端连接有循环管；
5、所述预热混合箱的上表面安装有电机，所述电机的驱动端在预热混合箱的内部连接有第一转杆，所述预热混合箱的内部在第一转杆的前方与后方均设置有第二转杆，所述第一转杆的外部安装有第一齿轮，所述第二转杆的外部设置有第二齿轮，所述第一转杆和第二转杆的外部均设置有搅动杆；
6、所述导热箱的一侧贯穿设置有两组导热管，所述导热管的外部在真空镀膜机的内部设置有导热板，所述导热箱的内部还安装有抽气泵。
7、作为本专利技术再进一步的方案：所述加热箱的外侧开设有进气孔，且加热箱的另一侧对称设置有排气管，所述排气管的一端贯穿预热混合箱的外侧延伸至预热混合箱的内部。
8、作为本专利技术再进一步的方案：所述加热管在加热框的内部至少对称设置有八个，且加热管的内部设置有电热丝。
9、作为本专利技术再进一步的方案：所述冷却箱的前表面设置有进液管，且冷却箱的下表面设置有出液管，所述进液管和出液管的外部均设置有阀门。
10、作为本专利技术再进一步的方案：所述循环管在预热混合箱的内部呈多段“u”管连通设置，且循环管的末端贯穿冷却箱的外侧延伸至冷却箱的内部。
11、作为本专利技术再进一步的方案：所述冷却箱的前表面在半导体制冷片的前方安装有支架，所述支架的前表面设置有散热风机。
12、作为本专利技术再进一步的方案：所述第一齿轮与第二齿轮的齿数相同，且第一齿轮与第二齿轮相互啮合。
13、作为本专利技术再进一步的方案：所述搅动杆为圆柱形在第一转杆与第二转杆的外部至少对称设置有四个，所述第一转杆与第二转杆的外部的搅动杆交错设置。
14、作为本专利技术再进一步的方案：所述抽气泵的进气端连接有进气管，所述进气管的一端贯穿预热混合箱的外侧延伸至预热混合箱的内部，所述导热管的一端也贯穿预热混合箱的外侧延伸至预热混合箱的内部。
15、作为本专利技术再进一步的方案：所述导热管的一端在导热箱的内部连接有固定管，所述固定管的外侧设置有连接管，所述抽气泵的出气端与连接管的一端连接。
16、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
17、1、本专利技术通过加热箱内部的抽风机、加热框、加热管、排气管以及进气孔的设置，这样在抽风机工作时可将外部空气通入并通过加热框内部的加热管进行加热，从而可将加热的空气通过排气管进入到预热混合箱的内部，同时冷却箱中的抽液泵、循环管、半导体制冷片的设置，这样可在抽液泵工作时将其内部的冷却水抽出来与进入到预热混合箱内部的热气进行接触，通过其内部的温度传感器可监测中和调控的温度来便于后续对真空镀膜机内部进行预热处理。
18、2、本专利技术通过电机、第一转杆、第二转杆、第一齿轮、第二齿轮和搅动杆的设置，这样在电机工作时会使得第一转杆转动，并通过第一齿轮与第二齿轮可实现带动第二转杆转动，从而利用第一转杆与第二转杆外部的搅动杆可实现对预热混合箱内部的空气进行搅动扰流，实现混匀的目的，以便于后续预加热处理。
19、3、本专利技术通过导热箱、导热板、导热管、抽气泵、固定管以及连接管的设置，这样在抽气泵工作时可将调控好的温度抽取并进入到导热管内部，并通过导热板的传递可实现对真空镀膜工作进行预加热处理，结构简单，预热效果好。
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1.一种可调控的真空镀膜预加热系统，包括真空镀膜机(1)，其特征在于，所述真空镀膜机(1)的外侧从左到右分别安装有导热箱(5)和预热混合箱(2)，所述预热混合箱(2)的外侧从上到下分别设置有加热箱(3)和冷却箱(4)，所述加热箱(3)的内部设置有两组加热框(34)，两组所述加热框(34)的内部对称设置有加热管(341)，所述加热箱(3)的内部在加热框(34)一侧还设置有抽风机(32)；
2.根据权利要求1所述的一种可调控的真空镀膜预加热系统，其特征在于，所述加热箱(3)的外侧开设有进气孔(31)，且加热箱(3)的另一侧对称设置有排气管(33)，所述排气管(33)的一端贯穿预热混合箱(2)的外侧延伸至预热混合箱(2)的内部。
3.根据权利要求1所述的一种可调控的真空镀膜预加热系统，其特征在于，所述加热管(341)在加热框(34)的内部至少对称设置有八个，且加热管(341)的内部设置有电热丝。
4.根据权利要求1所述的一种可调控的真空镀膜预加热系统，其特征在于，所述冷却箱(4)的前表面设置有进液管(41)，且冷却箱(4)的下表面设置有出液管(42)
5.根据权利要求1所述的一种可调控的真空镀膜预加热系统，其特征在于，所述循环管(431)在预热混合箱(2)的内部呈多段“U”管连通设置，且循环管(431)的末端贯穿冷却箱(4)的外侧延伸至冷却箱(4)的内部。
6.根据权利要求1所述的一种可调控的真空镀膜预加热系统，其特征在于，所述冷却箱(4)的前表面在半导体制冷片的前方安装有支架，所述支架的前表面设置有散热风机。
7.根据权利要求1所述的一种可调控的真空镀膜预加热系统，其特征在于，所述第一齿轮(221)与第二齿轮(231)的齿数相同，且第一齿轮(221)与第二齿轮(231)相互啮合。
8.根据权利要求1所述的一种可调控的真空镀膜预加热系统，其特征在于，所述搅动杆(24)为圆柱形在第一转杆(22)与第二转杆(23)的外部至少对称设置有四个，所述第一转杆(22)与第二转杆(23)的外部的搅动杆(24)交错设置。
9.根据权利要求1所述的一种可调控的真空镀膜预加热系统，其特征在于，所述抽气泵(53)的进气端连接有进气管，所述进气管的一端贯穿预热混合箱(2)的外侧延伸至预热混合箱(2)的内部，所述导热管(52)的一端也贯穿预热混合箱(2)的外侧延伸至预热混合箱(2)的内部。
10.根据权利要求1所述的一种可调控的真空镀膜预加热系统，其特征在于，所述导热管(52)的一端在导热箱(5)的内部连接有固定管(54)，所述固定管(54)的外侧设置有连接管(541)，所述抽气泵(53)的出气端与连接管(541)的一端连接。
...【技术特征摘要】
1.一种可调控的真空镀膜预加热系统，包括真空镀膜机(1)，其特征在于，所述真空镀膜机(1)的外侧从左到右分别安装有导热箱(5)和预热混合箱(2)，所述预热混合箱(2)的外侧从上到下分别设置有加热箱(3)和冷却箱(4)，所述加热箱(3)的内部设置有两组加热框(34)，两组所述加热框(34)的内部对称设置有加热管(341)，所述加热箱(3)的内部在加热框(34)一侧还设置有抽风机(32)；
2.根据权利要求1所述的一种可调控的真空镀膜预加热系统，其特征在于，所述加热箱(3)的外侧开设有进气孔(31)，且加热箱(3)的另一侧对称设置有排气管(33)，所述排气管(33)的一端贯穿预热混合箱(2)的外侧延伸至预热混合箱(2)的内部。
3.根据权利要求1所述的一种可调控的真空镀膜预加热系统，其特征在于，所述加热管(341)在加热框(34)的内部至少对称设置有八个，且加热管(341)的内部设置有电热丝。
4.根据权利要求1所述的一种可调控的真空镀膜预加热系统，其特征在于，所述冷却箱(4)的前表面设置有进液管(41)，且冷却箱(4)的下表面设置有出液管(42)，所述进液管(41)和出液管(42)的外部均设置有阀门。
5.根据权利要求1所述的一种可调控的真空镀膜预加热系统，其特征在于，所述循环管(431)在预热混合箱(2)的内部呈多段“u”管连通设置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭书周，
申请(专利权)人：伊特克斯惰性气体系统北京有限公司，
类型：发明
国别省市：
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