【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光伏和半导体，尤其涉及一种热场组件、腔体组件和反应炉。
技术介绍
1、半导体和光伏产品的制作工艺包括制绒、扩散、氧化、刻蚀、镀膜、丝网印刷和烧结等。特定的制作工艺通常需要在特定的反应炉内、在特定的温度条件下进行。特别地，产品的某个制作工艺需要在几种不同的温度条件下进行，因此反应炉的腔室需要快速升温和快速降温。但是，相关技术中的腔室无法实现快速降温。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请实施例提供了一种热场组件、腔体组件和反应炉，解决了相关技术的腔室无法快速降温的问题。
2、第一方面，本申请一实施例提供了一种热场组件，被配置为对腔室进行加热或降温；其中，所述热场组件包括：至少一个加热件，具有第一贯穿孔，所述第一贯穿孔被配置为供冷却介质通过，以利用所述冷却介质对所述加热件进行降温；至少一根引线，穿入所述第一贯穿孔，所述引线的第一端与所述加热件连接，所述引线的第二端与电源连接，使所述加热件能够被通电，以产生热量。
3、结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，所述加热件包括：浇筑部，具有所述第一贯穿孔，所述浇筑部的材质为绝缘材质；至少一个加热部，被所述浇筑部包裹，以防止所述加热部被暴露；其中，所述引线穿入所述第一贯穿孔、穿过所述浇筑部，并与所述加热部电连接。
4、结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，所述加热部的数量为多个，多个所述加热部沿所述第一贯穿孔的延伸方向间隔设置；所述引线的数量为多个，多个所述引线的第二端均与电源连接，多个所述引线
5、结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，所述加热部包括：加热丝，所述加热丝呈螺旋状，螺旋状的所述加热丝的轴线与所述第一贯穿孔的轴线共线。
6、结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，所述热场组件还包括：绝缘管，包裹所述引线；其中，所述绝缘管的材质包括以下材质中的任意至少一种：陶瓷、玻璃、石英。
7、第二方面，本申请一实施例提供了一种腔体组件，包括：腔体，具有腔室；至少一个第一方面所述的热场组件，设置于所述腔室，被配置为对所述腔室进行加热或降温。
8、结合第二方面，在第二方面的某些实现方式中，所述腔体包括：本体，具有所述腔室；至少一个保护件，与所述本体连接，并设置于所述腔室内，所述保护件具有第二贯穿孔；其中，所述热场组件设置于所述第二贯穿孔，以防止所述热场组件暴露于所述腔室。
9、结合第二方面，在第二方面的某些实现方式中，所述保护件的材质包括以下材质中的至少一种：金属、碳化硅、石英、陶瓷；其中，在所述保护件的材质包括金属的情况下，所述保护件的表面具有绝缘层。
10、结合第二方面，在第二方面的某些实现方式中，所述腔室具有轴线，所述腔室的轴线与所述第二贯穿孔的轴线平行；所述保护件的数量为多个，多个所述保护件沿所述腔室的轴线的周向设置；其中，所述热场组件的数量为多个，每个所述保护件的所述第二贯穿孔中设置至少一个所述热场组件。
11、结合第二方面，在第二方面的某些实现方式中，每个所述保护件的所述第二贯穿孔中设置两个所述热场组件，两个所述热场组件沿所述第二贯穿孔的延伸方向设置；其中，靠近所述第二贯穿孔的第一端的所述热场组件的引线由所述第二贯穿孔的第一端引出，靠近所述第二贯穿孔的第二端的所述热场组件的引线由所述第二贯穿孔的第二端引出。
12、结合第二方面，在第二方面的某些实现方式中，所述本体包括：至少一个第一冷却介质进出口，连通所述第二贯穿孔的第一端与外界；至少一个第二冷却介质进出口，连通所述第二贯穿孔的第二端与换气设备，以使所述换气设备辅助冷却介质由所述第一冷却介质进出口进入，流经所述第二贯穿孔，并由所述第二冷却介质进出口流出，或者，使所述换气设备辅助所述冷却介质由所述第二冷却介质进出口进入，流经所述第二贯穿孔，并由所述第一冷却介质进出口流出。
13、结合第二方面，在第二方面的某些实现方式中，所述本体在所述腔室的延伸方向上的第一端具有进料口，所述本体在所述腔室的延伸方向上的第二端具有冷却介质通道：其中，所述保护件的数量为多个，所述第二冷却介质进出口连通所述冷却介质通道的第一端与所述换气设备，所述冷却介质通道的第二端与多个所述保护件各自的所述第二贯穿孔的第二端连通；其中，所述第一冷却介质进出口的数量为多个，多个所述第一冷却介质进出口分别连通多个所述保护件各自的所述第二贯穿孔的第一端与外界。
14、结合第二方面，在第二方面的某些实现方式中，所述本体在所述腔室的延伸方向上的第一端具有进料口，所述进料口连通所述腔室与外界，所述本体的第一端设置有至少一个螺纹部；所述腔体组件还包括：绝缘阻挡件，设置于所述本体的第一端，与位于所述第二贯穿孔中的所述热场组件的靠近所述本体的第一端的一端抵接，其中，所述绝缘阻挡件具有第三贯穿孔和第四贯穿孔，所述第三贯穿孔被配置为供所述热场组件的引线穿过；锁紧件，与所述绝缘阻挡件的远离所述本体的一侧抵接，穿过所述第四贯穿孔，并与所述螺纹部螺接。
15、结合第二方面，在第二方面的某些实现方式中，所述腔体组件还包括：保温件，设置于所述本体与所述保护件之间，被配置为减少所述热场组件产生的热量的流失。
16、第三方面，本申请一实施例提供了一种反应炉，包括：第二方面所述的腔体组件，所述腔体组件具有连通所述腔体组件的腔室与外界的进料口，所述进料口被配置为供产品进出所述腔室；炉门，被配置为打开或关闭所述进料口。
17、本申请实施例提供的热场组件的加热件具有第一贯穿孔，冷却介质能够通过第一贯穿孔对加热件进行降温，并带走腔室内的热量，以实现腔室快速降温。
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1.一种热场组件，其特征在于，被配置为对腔室进行加热或降温；
2.根据权利要求1所述的热场组件，其特征在于，所述加热件包括：
3.根据权利要求2所述的热场组件，其特征在于，所述加热部的数量为多个，多个所述加热部沿所述第一贯穿孔的延伸方向间隔设置；
4.根据权利要求2所述的热场组件，其特征在于，所述加热部包括：
5.根据权利要求1至4任一项所述的热场组件，其特征在于，还包括：
6.一种腔体组件，其特征在于，包括：
7.根据权利要求6所述的腔体组件，其特征在于，所述腔体包括：
8.根据权利要求7所述的腔体组件，其特征在于，所述保护件的材质包括以下材质中的至少一种：金属、碳化硅、石英、陶瓷；
9.根据权利要求7所述的腔体组件，其特征在于，所述腔室具有轴线，所述腔室的轴线与所述第二贯穿孔的轴线平行；
10.根据权利要求9所述的腔体组件，其特征在于，每个所述保护件的所述第二贯穿孔中设置两个所述热场组件，两个所述热场组件沿所述第二贯穿孔的延伸方向设置；
11.根据权利要求7
12.根据权利要求11所述的腔体组件，其特征在于，所述本体在所述腔室的延伸方向上的第一端具有进料口，所述本体在所述腔室的延伸方向上的第二端具有冷却介质通道：
13.根据权利要求7至12任一项所述的腔体组件，其特征在于，所述本体在所述腔室的延伸方向上的第一端具有进料口，所述进料口连通所述腔室与外界，所述本体的第一端设置有至少一个螺纹部；
14.根据权利要求7至12任一项所述的腔体组件，其特征在于，还包括：
15.一种反应炉，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种热场组件，其特征在于，被配置为对腔室进行加热或降温；
2.根据权利要求1所述的热场组件，其特征在于，所述加热件包括：
3.根据权利要求2所述的热场组件，其特征在于，所述加热部的数量为多个，多个所述加热部沿所述第一贯穿孔的延伸方向间隔设置；
4.根据权利要求2所述的热场组件，其特征在于，所述加热部包括：
5.根据权利要求1至4任一项所述的热场组件，其特征在于，还包括：
6.一种腔体组件，其特征在于，包括：
7.根据权利要求6所述的腔体组件，其特征在于，所述腔体包括：
8.根据权利要求7所述的腔体组件，其特征在于，所述保护件的材质包括以下材质中的至少一种：金属、碳化硅、石英、陶瓷；
9.根据权利要求7所述的腔体组件，其特征在于，所述腔室具有轴线，所述腔室的轴...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘官炫，杨芳，田政权，卢俊林，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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