【技术实现步骤摘要】
本申请涉及真空设备，更具体地，涉及一种缝阀。
技术介绍
1、半导体工艺设备中，常常需要工艺腔室保持真空状态，目前常用的缝阀(slitvalve)如图1所示，阀体200与法兰100采用螺栓固定连接，再通过螺栓穿过法兰100将缝阀与真空腔室700固定连接，安装后阀板300位于真空腔室内，阀体以及阀板操控部位于真空腔室外。
2、为保证真空腔室的真空度，各连接部位需要密封连接。因此在阀体200与法兰100之间通常都安装有o型圈(o ring)，法兰100与真空腔室连接处也设置有o型圈，从而实现阀体200与法兰100、法兰100与真空腔室之间的真空密封。为实现上述要求，法兰100需比阀体200及阀板尺寸大。
3、但半导体设备对真空性能及整体占地有较高的要求，真空腔室为了与相邻的一个或多个工艺腔室连接，可能具有多个缝阀，由于法兰100的尺寸大，半导体工艺设备中为了可正常使用，不同的缝阀不能有干涉，不同工艺腔体无干涉，则需加大真空腔室的尺寸，从而增大了达到真空指标和平台腔室设计的难度，加大了半导体工艺设备的整体占地面积，因此缩小缝阀的占用空间十分重要。
4、并且在阀组装完成后，阀板装入真空腔室内。由于阀板在真空腔室内部，如果阀板损伤及密封有问题时，无法直观发现，第一时间判断。需要整体拆除缝阀来解决，半导体设备结构较为紧凑，整体拆除阀比较费时费力。因此，在不影响真空性能的情况下，看见阀板在腔体内部的状态及阀板易拆除替换十分重要。
5、针对目前国内半导体设备中常用的缝阀，法兰尺寸较大所造成的设备空间
6、因此，亟需研究能够减小缝阀的安装空间，进而减小半导体工艺设备尺寸的方法。
技术实现思路
1、【技术问题】
2、为了解决如上所述的问题，本专利技术的目的在于，提供一种缝阀，取消常规技术上的法兰连接，采用阀体直接安装在真空腔室的方法，可以减少设备占用空间，节省材料以及安装成本。
3、【技术方案】
4、本专利技术为了实现如上所述的目的，提供一种缝阀，包括：
5、阀体，固定连接在真空腔室的外壁上；
6、阀板，位于真空腔室内，通过阀板连接杆与真空腔室外的阀板操控部连接；
7、第一密封圈，设置在所述阀板连接杆外周的阀体与真空腔室接合处；
8、波纹管，设置在所述阀板连接杆外周，其一端与阀板连接杆固定连接，另一端与所述第一密封圈接触。
9、可选的，所述阀体嵌入安装在真空腔室外壁的凹槽内。
10、可选的，在阀体与真空腔室的外壁的接合面处围绕所述阀板连接杆设置有第一密封圈安装槽，所述第一密封圈安装在所述第一密封圈安装槽内。
11、可选的，在所述真空腔室的外壁上设置有阶梯型槽，所述阶梯型槽包括第一凹槽和第二凹槽，所述第二凹槽位于第一凹槽内，在所述阀体的外周延伸出安装板，通过螺栓将所述安装板安装在所述第一凹槽上；从所述安装板的板面沿阀体的轴向延伸出凸台，所述凸台嵌入在所述第二凹槽内。
12、可选的，所述第一密封圈安装槽设置在所述第二凹槽上。
13、可选的，在所述阀体的中心设置有第一阀板连接杆通过孔，在真空腔室的外壁上设置有第二阀板连接杆通过孔，所述第一阀板连接杆通过孔与第二阀板连接杆通过孔同轴，所述阀板连接杆的一端穿过第一阀板连接杆通过孔、第二阀板连接杆通过孔进入到真空腔室内与阀板固定连接。
14、可选的，所述波纹管与所述阀板连接杆采用焊接连接。
15、可选的，在所述真空腔室的上端开设有观察孔，所述观察孔设置有盖板，并且所述盖板与所述观察孔之间采用第二密封圈密封。
16、可选的，所述第一和第二密封圈是o型密封圈。
17、可选的，所述盖板是透明材质。
18、【有益效果】
19、如上所述，本专利技术提供一种缝阀，不仅适用于pvd工艺设备，也适用于半导体设备其他真空腔室，并且不局限于半导体设备中，本申请具有以下有益效果：
20、(1)本申请由于省略了法兰与阀体的连接，将阀体直接安装到真空腔室上，可以减小真空腔室的尺寸，并进一步减小整个工艺设备的尺寸。
21、(2)本申请将阀体直接安装在真空腔室上，可以节约法兰以及法兰与阀体之间密封圈的材料及安装成本。
22、(3)本申请将阀体嵌入安装在真空腔室的外壁上，可以进一步减少缝阀的占用空间，并且减少与其他机构碰撞的风险。
23、(4)本申请利用波纹管的弹性可以时刻与第一密封圈保持挤压状态，保证缝阀的密封性。
24、(5)本申请通过观察孔可以看见阀板在真空腔室内的状态，方便判断阀板是否损伤及易更换。
25、(6)本申请在盖板与观察孔之间设置有第二密封圈，能够保证真空腔室的密封性。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种缝阀，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的缝阀，其特征在于，所述阀体嵌入安装在真空腔室外壁的凹槽内。
3.根据权利要求1所述的缝阀，其特征在于，在阀体与真空腔室的外壁的接合面处围绕所述阀板连接杆设置有第一密封圈安装槽，所述第一密封圈安装在所述第一密封圈安装槽内。
4.根据权利要求3所述的缝阀，其特征在于，在所述真空腔室的外壁上设置有阶梯型槽，所述阶梯型槽包括第一凹槽和第二凹槽，所述第二凹槽位于第一凹槽内，在所述阀体的外周延伸出安装板，通过螺栓将所述安装板安装在所述第一凹槽上；从所述安装板的板面沿阀体的轴向延伸出凸台，所述凸台嵌入在所述第二凹槽内。
5.根据权利要求4所述的缝阀，其特征在于，所述第一密封圈安装槽设置在所述第二凹槽上。
6.根据权利要求1所述的缝阀，其特征在于，在所述阀体的中心设置有第一阀板连接杆通过孔，在真空腔室的外壁上设置有第二阀板连接杆通过孔，所述第一阀板连接杆通过孔与第二阀板连接杆通过孔同轴，所述阀板连接杆的一端穿过第一阀板连接杆通过孔、第二阀板连接杆通过孔进入到真空腔室内与阀板固定连
7.根据权利要求1所述的缝阀，其特征在于，所述波纹管与所述阀板连接杆采用焊接连接。
8.根据权利要求1所述的缝阀，其特征在于，在所述真空腔室的上端开设有观察孔，所述观察孔设置有盖板，并且所述盖板与所述观察孔之间采用第二密封圈密封。
9.根据权利要求8所述的缝阀，其特征在于，所述第一和第二密封圈是O型密封圈。
10.根据权利要求9所述的缝阀，其特征在于，所述盖板是透明材质。
...【技术特征摘要】
1.一种缝阀，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的缝阀，其特征在于，所述阀体嵌入安装在真空腔室外壁的凹槽内。
3.根据权利要求1所述的缝阀，其特征在于，在阀体与真空腔室的外壁的接合面处围绕所述阀板连接杆设置有第一密封圈安装槽，所述第一密封圈安装在所述第一密封圈安装槽内。
4.根据权利要求3所述的缝阀，其特征在于，在所述真空腔室的外壁上设置有阶梯型槽，所述阶梯型槽包括第一凹槽和第二凹槽，所述第二凹槽位于第一凹槽内，在所述阀体的外周延伸出安装板，通过螺栓将所述安装板安装在所述第一凹槽上；从所述安装板的板面沿阀体的轴向延伸出凸台，所述凸台嵌入在所述第二凹槽内。
5.根据权利要求4所述的缝阀，其特征在于，所述第一密封圈安装槽设置在所述第二凹槽上。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：李晓雅，金秀宪，朴海允，
申请(专利权)人：盛吉盛半导体技术上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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