【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体湿制程，尤其涉及一种晶圆边缘夹持翻转装置。
技术介绍
1、在半导体制程工艺过程中，晶圆夹持翻转机构是晶圆湿制程背面清洗工艺必不可少的模块；晶圆夹持翻转的目的是保证晶圆能够翻转后精准的被机械手传输到下一个腔室，在下一个工艺腔室内完成晶圆背面清洗。边缘夹持的目的是保证晶圆传输过程中晶圆上下表面工艺要求区间内不被污染，不沾有任何颗粒，保证晶圆的清洁度。
2、晶圆夹持翻转方式主要为步进电机驱动的晶圆侧边夹持：使用步进电机将晶圆翻转180°至工艺需求位置，这种方式因步进编码器步距角相比伺服编码器精度差，导致机构运行时产生偏差，引起晶圆震动，会造成晶圆破碎，同时翻转时难以精准控制速度，需要增加机械硬限位，会产生限位时撞击导致晶圆碎片，影响机台效率；侧边的晶圆夹持方式存在夹持公差难以控制的情况，从而导致夹持时，晶圆边界损伤，甚至碎片。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请实施例提供一种晶圆边缘夹持翻转装置，至少部分解决现有技术中存在的侧边夹持晶圆导致易碎片的问题。
2、本申请实施例提供一种晶圆边缘夹持翻转装置，所述装置包括夹持手臂、夹持块、手臂调节组件和翻转组件，夹持手臂包括相对设置的上手臂和下手臂，夹持块包括相对设置的上夹持块和下夹持块，上夹持块设置在上手臂上，下夹持块设置在下手臂上，晶圆的边缘固定在上夹持块和下夹持块之间；手臂调节组件带动上手臂和下手臂中的至少一个进行运动，使上夹持块和下夹持块相互靠近或远离；翻转组件带动手臂调节组件转动，进而带动夹持手臂
3、根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述翻转组件包括翻转支架、设置在翻转支架上的翻转固定座和伺服电机以及翻转支座，翻转固定座上设有转轴，伺服电机与转轴的一端通过同步轮和同步带进行传动，转轴的另一端连接翻转支座，翻转支座上固定手臂调节组件，伺服电机带动转轴转动，进而带动手臂调节组件转动。
4、根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述手臂调节组件包括导轨、气缸、气缸固定座、上手臂固定座和下手臂固定座，导轨和气缸固定座固定在翻转支座上，气缸固定座的上侧固定气缸，下手臂通过下手臂固定座固定在气缸固定座的下侧，上手臂通过上手臂固定座固定在气缸的运动输出端，上手臂固定座还通过连接件与导轨滑动连接。
5、根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述气缸上设有调节限流阀，调节限流阀用于调节气体流速，进而控制夹持手臂的稳定性。
6、根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述调节限流阀控制的速度为10～50mm/sec，针阀回转数为10转。
7、根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述上夹持块和所述下夹持块的接触面均设置为齿形结构。
8、根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述上夹持块与所述下夹持块的齿形结构闭合时，朝向晶圆的一侧设有1.5-2mm的夹持间隙，晶圆的边缘夹持在夹持间隙内。
9、根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述夹持块对晶圆的边缘的夹持宽度小于2mm。
10、根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述上夹持块与所述下夹持块朝向晶圆的一侧均设有微弧面。
11、根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述翻转支架上还设有同步带调节杆。
12、有益效果：
13、本申请实施例中的晶圆边缘夹持翻转装置，通过设置翻转组件实现晶圆的翻转，通过手臂调节组件来调节上下手臂的运动，从而实现晶圆的夹紧和松放；通过设置上手臂、下手臂以及设置在夹持手臂上的夹持块，实现通过对晶圆上下面的边缘进行夹持，较常用的侧边边缘夹持更易避免损伤晶圆，减少了碎片情况的发生，提高了晶圆的完整性。
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1.一种晶圆边缘夹持翻转装置，其特征在于，所述装置包括夹持手臂（5）、夹持块（6）、手臂调节组件和翻转组件，夹持手臂（5）包括相对设置的上手臂（51）和下手臂（52），夹持块（6）包括相对设置的上夹持块和下夹持块，上夹持块设置在上手臂（51）上，下夹持块设置在下手臂（52）上，晶圆（17）的边缘固定在上夹持块和下夹持块之间；手臂调节组件带动上手臂（51）和下手臂（52）中的至少一个进行运动，使上夹持块和下夹持块相互靠近或远离；翻转组件带动手臂调节组件转动，进而带动夹持手臂（5）转动，实现晶圆（17）的夹持翻转。
2.根据权利要求1所述的晶圆边缘夹持翻转装置，其特征在于，所述翻转组件包括翻转支架（1）、设置在翻转支架（1）上的翻转固定座（4）和伺服电机（3）以及翻转支座（10），翻转固定座（4）上设有转轴（9），伺服电机（3）与转轴（9）的一端通过同步轮（8）和同步带（7）进行传动，转轴（9）的另一端连接翻转支座（10），翻转支座（10）上固定手臂调节组件，伺服电机（3）带动转轴（9）转动，进而带动手臂调节组件转动。
3.根据权利要求2所述的晶圆边缘夹持翻转
4.根据权利要求3所述的晶圆边缘夹持翻转装置，其特征在于，所述气缸（14）上设有调节限流阀（15），调节限流阀（15）用于调节气体流速，进而控制夹持手臂（5）的稳定性。
5.根据权利要求4所述的晶圆边缘夹持翻转装置，其特征在于，所述调节限流阀（15）控制的速度为10～50 mm/sec，针阀回转数为10转。
6.根据权利要求1所述的晶圆边缘夹持翻转装置，其特征在于，所述上夹持块和所述下夹持块的接触面均设置为齿形结构。
7.根据权利要求6所述的晶圆边缘夹持翻转装置，其特征在于，所述上夹持块与所述下夹持块的齿形结构闭合时，朝向晶圆（17）的一侧设有1.5-2mm的夹持间隙，晶圆（17）的边缘夹持在夹持间隙内。
8.根据权利要求1所述的晶圆边缘夹持翻转装置，其特征在于，所述夹持块（6）对晶圆（17）的边缘的夹持宽度小于2mm。
9.根据权利要求1所述的晶圆边缘夹持翻转装置，其特征在于，所述上夹持块与所述下夹持块朝向晶圆（17）的一侧均设有微弧面（19）。
10.根据权利要求2所述的晶圆边缘夹持翻转装置，其特征在于，所述翻转支架（1）上还设有同步带调节杆。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆边缘夹持翻转装置，其特征在于，所述装置包括夹持手臂（5）、夹持块（6）、手臂调节组件和翻转组件，夹持手臂（5）包括相对设置的上手臂（51）和下手臂（52），夹持块（6）包括相对设置的上夹持块和下夹持块，上夹持块设置在上手臂（51）上，下夹持块设置在下手臂（52）上，晶圆（17）的边缘固定在上夹持块和下夹持块之间；手臂调节组件带动上手臂（51）和下手臂（52）中的至少一个进行运动，使上夹持块和下夹持块相互靠近或远离；翻转组件带动手臂调节组件转动，进而带动夹持手臂（5）转动，实现晶圆（17）的夹持翻转。
2.根据权利要求1所述的晶圆边缘夹持翻转装置，其特征在于，所述翻转组件包括翻转支架（1）、设置在翻转支架（1）上的翻转固定座（4）和伺服电机（3）以及翻转支座（10），翻转固定座（4）上设有转轴（9），伺服电机（3）与转轴（9）的一端通过同步轮（8）和同步带（7）进行传动，转轴（9）的另一端连接翻转支座（10），翻转支座（10）上固定手臂调节组件，伺服电机（3）带动转轴（9）转动，进而带动手臂调节组件转动。
3.根据权利要求2所述的晶圆边缘夹持翻转装置，其特征在于，所述手臂调节组件包括导轨（11）、气缸（14）、气缸固定座（16）、上手臂固定座（12）和下手臂固定座（13），导轨（11）和气缸固定座（16）固定在翻转支座（10）上，气缸固定座（16）的上侧固定气缸（14），下手臂（5...
【专利技术属性】
技术研发人员：李帅臣，周军奎，周宏杰，朱学新，瞿灵杰，
申请(专利权)人：苏州芯慧联半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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