System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种表达式编辑方法、装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸_技高网

一种表达式编辑方法、装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸

技术编号:44453530 阅读:5 留言:0更新日期:2025-02-28 18:59
本申请提供了一种表达式编辑方法、装置、电子设备及存储介质,包括:检测表达式编辑器页面的下拉框选项中的多个第一参考表达式算法中是否存在待检测晶圆数据相对应的表达式算法;若不存在,则在下拉框选项中的多个第一参考表达式算法中筛选出多个第二参考表达式算法,对多个第二参考表达式算法进行组合运算以及解析处理,确定出待检测晶圆数据的目标表达式算法;基于目标表达式算法对待检测晶圆数据进行处理确定出待检测晶圆数据的结果值,以使根据结果值确定出待检测晶圆是否存在缺陷。对表达式算法进行组合运算得到晶圆数据的目标表达式算法,对目标表达算法进行快速解析,从而更准确的确定出晶圆数据的缺陷,提高产品的质量。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及计算机,尤其是涉及一种表达式编辑方法、装置、电子设备及存储介质


技术介绍

1、在计算机和教育学术相关领域中,通常需要进行计算机和数学表达式的输入,因此需要使用对应的表达式编辑器。在晶圆缺陷检测过程中通常采用的是查询历史采集的数据。根据参数的数据特征在参数下创建算法或使用编辑表达式的方式得到表达式算法,以使在实际生产中根据表达式算法计算出新的值进行缺陷侦测。然而,现有技术编辑表达式是直接解析,解析和计算的比较慢。在生产中用户有不公开的计算方法时,直接编辑表达式就无法满足需求。所以,如何进行快速解析并提高晶圆数据缺陷检测的准确率成为了不容小觑的技术问题。


技术实现思路

1、有鉴于此,本申请的目的在于提供一种表达式编辑方法、装置、电子设备及存储介质,通过将统一格式的表达式算法直接输入表达式编辑器页面的面板上,对表达式算法进行组合运算得到晶圆数据的目标表达式算法,对目标表达算法进行快速解析,从而更准确的确定出晶圆数据的缺陷,提高产品的质量。

2、本申请实施例提供了一种表达式编辑方法,所述表达式编辑方法包括:

3、获取待检测晶圆数据,检测表达式编辑器页面的下拉框选项中的多个第一参考表达式算法中是否存在待检测晶圆数据相对应的表达式算法;

4、若不存在,则在下拉框选项中的多个第一参考表达式算法中筛选出多个第二参考表达式算法,对多个所述第二参考表达式算法进行组合运算以及解析处理,确定出所述待检测晶圆数据的目标表达式算法;

5、基于所述目标表达式算法对所述待检测晶圆数据进行处理确定出所述待检测晶圆数据的结果值,以使根据所述结果值确定出待检测晶圆是否存在缺陷。

6、在一种可能的实施方式之中,所述对多个所述第二参考表达式算法进行组合运算以及解析处理,确定出所述待检测晶圆数据的目标表达式算法,包括:

7、基于用户选择的条件判断和/或操作运算符对多个所述第二参考表达式算法进行组合运算确定出组合后的表达式算法;

8、基于语法规则解析器对所述组合后的表达式算法进行解析处理,确定出解析结果;

9、基于所述解析结果确定出所述组合后的表达式算法是否为目标表示算法。

10、在一种可能的实施方式之中,所述基于所述解析结果确定出所述组合后的表达式算法是否为目标表示算法,包括:

11、若所述解析结果为失败,则对组合后的表达式算法进行修改并重新进行解析;

12、若所述解析结果为成功,则将组合后的表达式算法作为所述目标表达式算法。

13、在一种可能的实施方式之中,在下拉框选项中的多个第一参考表达式算法中筛选出多个第二参考表达式算法,对多个所述第二参考表达式算法进行组合运算以及测试处理,确定出所述待检测晶圆数据的目标表达式算法之后,所述表达式编辑方法还包括:

14、在表达式编辑区域基于用户需求对所述目标表达式算法进行编辑修改生成修改后的表达式算法,在表达式参数设置区域设置编辑修改后的所述目标表达式算法的参数值;

15、基于语法规则解析器对修改后的所述表达式算法以及参数值进行解析处理,确定出解析结果;

16、若解析结果为成功,则基于修改后的表达式算法对所述待检测晶圆数据进行处理确定出所述待检测晶圆数据的结果值,以使根据所述结果值确定出待检测晶圆是否存在缺陷。

17、在一种可能的实施方式之中,在表达式编辑区域基于用户需求对所述目标表达式算法进行编辑修改,包括:

18、在对所述目标表达式算法进行编辑修改过程中,若所述编辑修改后的目标表达式算法不符合语法规则,则在所述表达式编辑区域进行错误提醒,并对语法规则错误的信息进行颜色标注。

19、在一种可能的实施方式之中,通过以下步骤构建所述第一参考表达式算法:

20、获取后台服务界面上传的代码文件,对所述代码文件进行验证和解析,确定出所述代码文件中的第一参考表达式算法;

21、在表达式管理页面基于所述第一参考表达式算法的算法名称对所述第一参考表达式算法进行添加,以使在拉框选项中对所述第一参考表达式算法的算法名称进行显示,在表达式编辑区域会显示所述第一参考表达式算法的定义内容。

22、本申请实施例还提供了一种表达式编辑装置,所述表达式编辑装置包括:

23、检测模块,用于获取待检测晶圆数据,检测表达式编辑器页面的下拉框选项中的多个第一参考表达式算法中是否存在待检测晶圆数据相对应的表达式算法;

24、表达式算法组合模块,用于若不存在,则在下拉框选项中的多个第一参考表达式算法中筛选出多个第二参考表达式算法,对多个所述第二参考表达式算法进行组合运算以及解析处理,确定出所述待检测晶圆数据的目标表达式算法;

25、处理模块,用于基于所述目标表达式算法对所述待检测晶圆数据进行处理确定出所述待检测晶圆数据的结果值,以使根据所述结果值确定出待检测晶圆是否存在缺陷。

26、在一种可能的实施方式之中,表达式算法组合模块在用于所述对多个所述第二参考表达式算法进行组合运算以及解析处理,确定出所述待检测晶圆数据的目标表达式算法时,表达式算法组合模块具体用于:

27、基于用户选择的条件判断和/或操作运算符对多个所述第二参考表达式算法进行组合运算确定出组合后的表达式算法;

28、基于语法规则解析器对所述组合后的表达式算法进行解析处理,确定出解析结果;

29、基于所述解析结果确定出所述组合后的表达式算法是否为目标表示算法。

30、本申请实施例还提供一种电子设备,包括:处理器、存储器和总线,所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令,当电子设备运行时,所述处理器与所述存储器之间通过总线通信,所述机器可读指令被所述处理器执行时执行如上述的表达式编辑方法的步骤。

31、本申请实施例还提供一种计算机可读存储介质,该计算机可读存储介质上存储有计算机程序,该计算机程序被处理器运行时执行如上述的表达式编辑方法的步骤。

32、本申请实施例提供的一种表达式编辑方法、装置、电子设备及存储介质,所述表达式编辑方法包括:获取待检测晶圆数据,检测表达式编辑器页面的下拉框选项中的多个第一参考表达式算法中是否存在待检测晶圆数据相对应的表达式算法;若不存在,则在下拉框选项中的多个第一参考表达式算法中筛选出多个第二参考表达式算法,对多个所述第二参考表达式算法进行组合运算以及解析处理,确定出所述待检测晶圆数据的目标表达式算法;基于所述目标表达式算法对所述待检测晶圆数据进行处理确定出所述待检测晶圆数据的结果值,以使根据所述结果值确定出待检测晶圆是否存在缺陷。通过将统一格式的表达式算法直接输入表达式编辑器页面的面板上,对表达式算法进行组合运算得到晶圆数据的目标表达式算法,对目标表达算法进行快速解析,从而更准确的确定出晶圆数据的缺陷,提高产品的质量。

33、为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂,下文本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种表达式编辑方法,其特征在于,所述表达式编辑方法包括:

2.根据权利要求1所述的表达式编辑方法,其特征在于,所述对多个所述第二参考表达式算法进行组合运算以及解析处理,确定出所述待检测晶圆数据的目标表达式算法,包括:

3.根据权利要求2所述的表达式编辑方法,其特征在于,所述基于所述解析结果确定出所述组合后的表达式算法是否为目标表示算法,包括:

4.根据权利要求1所述的表达式编辑方法,其特征在于,在下拉框选项中的多个第一参考表达式算法中筛选出多个第二参考表达式算法,对多个所述第二参考表达式算法进行组合运算以及测试处理,确定出所述待检测晶圆数据的目标表达式算法之后,所述表达式编辑方法还包括:

5.根据权利要求4所述的表达式编辑方法,其特征在于,在表达式编辑区域基于用户需求对所述目标表达式算法进行编辑修改,包括:

6.根据权利要求1所述的表达式编辑方法,其特征在于,通过以下步骤构建所述第一参考表达式算法:

7.一种表达式编辑装置,其特征在于,所述表达式编辑装置包括:

8.根据权利要求7所述的表达式编辑装置,其特征在于,表达式算法组合模块在用于所述对多个所述第二参考表达式算法进行组合运算以及解析处理,确定出所述待检测晶圆数据的目标表达式算法时,表达式算法组合模块具体用于:

9.一种电子设备,其特征在于,包括:处理器、存储器和总线,所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令,当电子设备运行时,所述处理器与所述存储器之间通过所述总线进行通信,所述机器可读指令被所述处理器运行时执行如权利要求1至6任一所述的表达式编辑方法的步骤。

10.一种计算机可读存储介质,其特征在于,所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序,所述计算机程序被处理器运行时执行如权利要求1至6任一所述的表达式编辑方法的步骤。

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【技术特征摘要】

1.一种表达式编辑方法,其特征在于,所述表达式编辑方法包括:

2.根据权利要求1所述的表达式编辑方法,其特征在于,所述对多个所述第二参考表达式算法进行组合运算以及解析处理,确定出所述待检测晶圆数据的目标表达式算法,包括:

3.根据权利要求2所述的表达式编辑方法,其特征在于,所述基于所述解析结果确定出所述组合后的表达式算法是否为目标表示算法,包括:

4.根据权利要求1所述的表达式编辑方法,其特征在于,在下拉框选项中的多个第一参考表达式算法中筛选出多个第二参考表达式算法,对多个所述第二参考表达式算法进行组合运算以及测试处理,确定出所述待检测晶圆数据的目标表达式算法之后,所述表达式编辑方法还包括:

5.根据权利要求4所述的表达式编辑方法,其特征在于,在表达式编辑区域基于用户需求对所述目标表达式算法进行编辑修改,包括:

6.根据权利要求1所述的表达...

【专利技术属性】
技术研发人员:倪小平倪一宁
申请(专利权)人:赛美特信息集团股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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