System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种大尺寸石英坩埚及其制备方法技术_技高网

一种大尺寸石英坩埚及其制备方法技术

技术编号:44451546 阅读:0 留言:0更新日期:2025-02-28 18:56
本发明专利技术公开了一种大尺寸石英坩埚的制备方法,具体涉及石英坩埚技术领域,本发明专利技术在石英坩埚的不透明层上加入氧化锆/硅碳复合材料层,有效增强了坩埚的机械强度和抗热震性能,使其在大尺寸情况下依然具备足够的结构稳定性,透明层的设计不仅确保了坩埚的透光性和耐热性,还为坩埚在扩展尺寸后提供了额外的强度支持,使坩埚能够在尺寸扩大到30‑44寸同时,仍保持优异的耐高温、耐腐蚀性能,满足了大尺寸石英坩埚使用时的稳定性以及使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及石英坩埚,具体地,涉及一种大尺寸石英坩埚及其制备方法


技术介绍

1、石英坩埚是一种由高纯度石英材料制成的容器,广泛应用于半导体、光伏、化学实验等领域。由于石英具有极高的熔点和良好的化学稳定性,因此石英坩埚可在高温条件下使用,且不与大多数物质发生反应,石英坩埚耐热冲击性强,能够快速加热和冷却,确保实验过程安全可靠,是实验室和工业生产中常用的重要器具。

2、常规石英坩埚的尺寸规格一般在12-28寸,而规格大于30寸的石英坩埚的机械强度往往难以满足高温工作环境的要求,坩埚在高温下容易发生变形或破裂,是因为随着坩埚尺寸的增大,受热不均和热应力的影响会加剧,导致结构稳定性下降,最终缩短其使用寿命。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种大尺寸石英坩埚及其制备方法,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种大尺寸石英坩埚的制备方法,包括以下步骤:

3、s1、将石英砂、粘结剂和增强材料按照8:1.5:0.5的比例放入搅拌机中进行混合,搅拌时间约为20-30分钟并添加去离子水,获取不透明层混合物;

4、s2、采用压制设备将不透明层混合物进行压制成型,施加压力为35mpa,保持2分钟后进行脱模处理并进行自然干燥,获取厚度为5-6mm的不透明层;

5、s3、在不透明层上涂覆氧化锆/硅碳复合材料层并进行自然干燥,厚度控制在4-5mm,获取复合增强层;

6、s4、将石英粉末和粘结剂按照9:1的比例放入搅拌机中进行混合,搅拌时间约为20-30分钟并添加去离子水,获取透明层混合物;

7、s5、将透明层混合物均匀涂覆在复合增强层的表面进行自然干燥,厚度控制在3-4mm,获取初始石英坩埚;

8、s6、将初始坩埚放入高温炉中烧结,并自然冷却至室温,控制冷却速率在20℃/h以内,获取石英坩埚;

9、s7、在石英坩埚的透明层内壁涂覆耐高温涂料,形成厚度约为2mm的涂层。

10、优选的,所述s3中,复合增强层的制备包括以下步骤:

11、s31、将氧化锆粉末和硅碳粉末按照7:3的比例投入球磨机进行3h的均匀混合,获取混合物;

12、s32、将自然干燥后的不透明层内壁进行打磨,使其内壁平整无明显凹凸;

13、s33、采用注射设备将混合物涂覆在不透明层上,并辊动涂抹均匀,厚度控制在5-10mm。

14、优选的,所述s2中,在模具表面涂抹脱模剂,脱模剂为石墨粉末。

15、优选的,所述s1和所述s4中,石英砂的粒度为80-100目,粘结剂的粒度小于100目。

16、优选的,所述s1和所述s4中,搅拌机内混合物的含水量在5-7%之间。

17、优选的,所述s1和所述s4中,石英砂和石英粉末的纯度均≥99.998%。

18、优选的,所述s6中,炉内温度设定为1600℃以上,采用分阶段升温,保持恒温2-4小时。

19、优选的,所述s7中,耐高温涂料选用硅酸盐涂料。

20、与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:本专利技术在石英坩埚的不透明层上加入氧化锆/硅碳复合材料层,有效增强了坩埚的机械强度和抗热震性能,使其在大尺寸情况下依然具备足够的结构稳定性,透明层的设计不仅确保了坩埚的透光性和耐热性,还为坩埚在扩展尺寸后提供了额外的强度支持,使坩埚能够在尺寸扩大到30-44寸同时,仍保持优异的耐高温、耐腐蚀性能,满足了大尺寸石英坩埚使用时的稳定性以及使用寿命。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种大尺寸石英坩埚的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种大尺寸石英坩埚的制备方法,其特征在于:所述S3中,复合增强层的制备包括以下步骤:

3.根据权利要求1所述的一种大尺寸石英坩埚的制备方法,其特征在于:所述S2中,在模具表面涂抹脱模剂,脱模剂为石墨粉末。

4.根据权利要求1所述的一种大尺寸石英坩埚的制备方法,其特征在于:所述S1和所述S4中,石英砂的粒度为80-100目,粘结剂的粒度小于100目。

5.根据权利要求1所述的一种大尺寸石英坩埚的制备方法,其特征在于:所述S1和所述S4中,搅拌机内混合物的含水量在5-7%之间。

6.根据权利要求1所述的一种大尺寸石英坩埚的制备方法,其特征在于:所述S1和所述S4中,石英砂和石英粉末的纯度均≥99.998%。

7.根据权利要求1所述的一种大尺寸石英坩埚的制备方法,其特征在于:所述S6中,炉内温度设定为1600℃以上,采用分阶段升温,保持恒温2-4小时。

8.根据权利要求1所述的一种大尺寸石英坩埚的制备方法,其特征在于:所述S7中,耐高温涂料选用硅酸盐涂料。

9.一种大尺寸石英坩埚,其特征在于:经权利要求1-8任意一项所述的制备方法制备得到。

...

【技术特征摘要】

1.一种大尺寸石英坩埚的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种大尺寸石英坩埚的制备方法,其特征在于:所述s3中,复合增强层的制备包括以下步骤:

3.根据权利要求1所述的一种大尺寸石英坩埚的制备方法,其特征在于:所述s2中,在模具表面涂抹脱模剂,脱模剂为石墨粉末。

4.根据权利要求1所述的一种大尺寸石英坩埚的制备方法,其特征在于:所述s1和所述s4中,石英砂的粒度为80-100目,粘结剂的粒度小于100目。

5.根据权利要求1所述的一种大尺寸石英坩埚的制备方法,其特征在于:所述s1和所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:王国栋王新河杨海东谢登坤杨圣稳叶鹏程
申请(专利权)人:江苏新煜达新材料科技有限公司
类型:发明
国别省市:

相关技术
    暂无相关专利
网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1