【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及材料表面处理技术，尤其是一种航空液压泵合金钢分油盖离子注入方法。
技术介绍
1、离子注入是一种新型的表面处理技术，它是利用离子源中产生的离子(气体和金属)在高压电场作用下，以极大地速度入射到待处理工件材料表面，在这个过程中将引起金属表面晶格原子发生级联碰撞，导致晶格高度畸变，或呈非晶态结构，表面摩擦系数减少，同时可与基本原子混合，形成硬化相，从而有效的提高工件表面的硬度、耐磨性、耐腐蚀性和抗疲劳等多种功能，最终提高工件的使用寿命。该技术是一种高能量输入的动力学过程，因此获得的表面层组织相不受传统的合金化规则等物理冶金因素的制约，可获得其他方法得不到的新合金相，在基体中进行原子级混合，可以形成固溶体、化合物和新型合金。离子注入层不会像镀层和涂层那样发生开裂、起皮和脱落现象，注入后不需要再进行再加工和热处理，因此非常适宜精密工件及成型刀具等工件的最后表面处理，是一种清洁、无污染、无毒性的环保型工艺。
2、分油盖是航空液压泵中的组成零件之一，是航空柱塞式液压泵关键摩擦副-配流副，材料为25cr3moa、38crmoala。在液压泵制动时，分油盖与转子在高速运行中摩擦，分油盖为液压泵中的高压受力零件，对分油盖的硬度和耐磨性能要求较高，因此在分油盖摩擦面获取一层高硬度、高耐磨的改性层具有重要的意义。而现有技术或公开技术关于25cr3moa、38crmoala材质及航空柱塞式液压泵分油盖的离子注入工艺均无从参考。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是针对航空液压泵分油
2、本专利技术的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种航空液压泵合金钢分油盖离子注入方法，其特征是包括以下步骤：
3、a、清洗坯件：将分油盖产品在180号汽油中浸泡30min后进行擦洗，在空气中晾干，用无水乙醇擦拭分油盖待注入面，晾干后用丙酮清洗待注入面。
4、b、吹干。
5、c、装炉：将水冷夹具安装在离子注入机的真空室内，并将待注入的分油盖装入水冷夹具中。
6、d、抽真空：抽真空至(1.0～1.2)×10-3pa后，供气。
7、e、参数设定：包括清洗参数设定和注入参数设定。
8、a.清洗参数包括抑制电压/电流、引出电压/电流、弧压/弧流、灯丝电流以及清洗时间。
9、b.注入参数包括抑制电压/电流、引出电压/电流、弧压/弧流、灯丝电流以及实际注入时间。
10、f、清洗阶段：打开电源，设置流量、灯丝电流，调节电弧电压、引出电压、抑制电压以及加速电压。
11、g、注入阶段：控制灯丝电流、调节电弧电压、引出电压、抑制电压以及加速电压，并间隙式注入。
12、h、程序运行结束：关闭头部电源、抑制电源和加速电源开关。
13、i、出炉。待分子泵控制窗口显示“待机”后出炉，关闭分子泵和机械泵，得到合格品。
14、前述的航空液压泵合金钢分油盖离子注入方法中，作为优选，步骤f中，清洗阶段：打开头部电源、抑制电源和加速电源开关，设置流量为7sccm，灯丝电流为8～15a之间，调节电弧电压为(69.5～70.5)v之间，引出电压调至(0.30～0.36)kv之间，抑制电压调至(1.0～1.2)kv之间，加速电压为(19.5～20.5)kv之间，清洗时间为5min。
15、前述的航空液压泵合金钢分油盖离子注入方法中，作为优选，步骤g中，注入阶段：灯丝电流为8～15a之间，调节电弧电压为(69.5～70.5)v之间，引出电压调至(0.30～0.36)kv之间，抑制电压调至(1.0～1.2)kv之间，加速电压为(69.5～70.5)kv之间，间隙式注入，注入时间为5min，间隔20min，总共注入75min。
16、前述的航空液压泵合金钢分油盖离子注入方法中，作为优选，所述清洗坯件后进行检查，以注入面无斑迹为准。
17、前述的航空液压泵合金钢分油盖离子注入方法中，作为优选，所述水冷夹具根据被加工坯件型号、规格参数定制夹具大小、夹持部形状，水冷夹具中设有循环流动水冷却道。
18、前述的航空液压泵合金钢分油盖离子注入方法中，作为优选，所述步骤d中，抽真空后把氮气灌入炉膛，在高电压冲击下，将氮离子注入坯件表面。
19、本技术方案针对25cr3moa、38crmoala材质的航空液压泵分油盖表面硬度低、耐磨性能差等现状，设计离子注入工艺。根据材料表面特点制定清洗、注入参数，通过合理的流程，溶济优选配置，进行高效快速低成本坯件前处理；通过水冷夹具的设计使被处理零件得到过程中的冷却；在真空状态下将氮离子均匀全方位注入坯件表面；由于持续注入时，大量的能量会导致坯件发热，虽水冷夹具在持续冷却坯件，但持续注入过程水冷夹具的冷却效果并不能达到工艺要求，如果此时坯件温度过高，则会导致注入面上的氮化层遭到破坏(即本产品注入前存在的一层氮化层)，本方法的间隙式注入工步设计，避免了坯件注入面因温度过高发生变形，防止平面度变化，满足工艺要求。
20、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：通过航空液压泵分油盖摩擦面上离子注入工艺获得改性层，极大地提高了分油盖硬度，相对提升了产品耐磨性能，延长了使用寿命；工艺过程稳定可靠，保证产品平面度等精度不受影响；在注入层宏观形貌呈金黄色且颜色均匀，无花斑，硬度提高比例高于10％，涂层厚度优。
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1.一种航空液压泵合金钢分油盖离子注入方法，其特征是包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的航空液压泵合金钢分油盖离子注入方法，其特征是，步骤F中，清洗阶段：打开头部电源、抑制电源和加速电源开关，设置流量为7sccm，灯丝电流为8～15A之间，调节电弧电压为(69.5～70.5)V之间，引出电压调至(0.30～0.36)KV之间，抑制电压调至(1.0～1.2)kV之间，加速电压为(19.5～20.5)kV之间，清洗时间为5min。
3.根据权利要求1所述的航空液压泵合金钢分油盖离子注入方法，其特征是，步骤G中，注入阶段：灯丝电流为8～15A之间，调节电弧电压为(69.5～70.5)V之间，引出电压调至(0.30～0.36)KV之间，抑制电压调至(1.0～1.2)kV之间，加速电压为(69.5～70.5)kV之间，间隙式注入，注入时间为5min，间隔20min，总共注入75min。
4.根据权利要求1所述的航空液压泵合金钢分油盖离子注入方法，其特征在于，所述清洗坯件后进行检查，以注入面无斑迹为准。
5.根据权利要求1所述的航空液压泵合
6.根据权利要求1所述的航空液压泵合金钢分油盖离子注入方法，其特征是，所述步骤D中，抽真空后把氮气灌入炉膛，在高电压冲击下，将氮离子注入坯件表面。
...【技术特征摘要】
1.一种航空液压泵合金钢分油盖离子注入方法，其特征是包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的航空液压泵合金钢分油盖离子注入方法，其特征是，步骤f中，清洗阶段：打开头部电源、抑制电源和加速电源开关，设置流量为7sccm，灯丝电流为8～15a之间，调节电弧电压为(69.5～70.5)v之间，引出电压调至(0.30～0.36)kv之间，抑制电压调至(1.0～1.2)kv之间，加速电压为(19.5～20.5)kv之间，清洗时间为5min。
3.根据权利要求1所述的航空液压泵合金钢分油盖离子注入方法，其特征是，步骤g中，注入阶段：灯丝电流为8～15a之间，调节电弧电压为(69.5～70.5)v之间，引出电压调至(0.30～...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨亚，杨枭，杨先，林钰，肖波，滕海山，
申请(专利权)人：中航力源液压股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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