【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜，尤其涉及镀膜监控系统及真空镀膜设备。
技术介绍
1、真空镀膜设备具有从单室间歇式真空镀膜设备发展到多室连续式真空镀膜设备的趋势。镀膜监控系统作为真空镀膜设备的重要组成之一，可用于在镀膜过程中同步检测镀膜工件的镀膜厚度，以确保镀膜设备的镀膜性能。现有技术中的镀膜光学监控系统通常由膜厚检测组件、托盘、监控片以及监控片安装治具等结构组成。监控片固定设置于监控片安装治具，且具有多个监控点位。通过转动监控片安装治具能带动监控片的监控点位逐一暴露出来，以使镀膜材料穿过托盘的通孔向监控片的某一监控点位处镀膜。膜厚检测组件则用于检测前述监控点位处的膜厚，并依据前述监控点位处的膜厚判定镀膜工件的镀膜厚度是否达到要求；在完成一个膜层镀制后，通常需更换监控点位，以保证膜厚监控的有效性。
2、现有技术中，在完成一定数量的膜层镀制后，如监控片上的监控点位均已被使用，则需更换监控片，以保证监控片上的监控点位能够监测输送至真空镀膜设备内的下一批镀膜工件的镀膜效果。但更换监控片通常需要破真空，这将不利于连续真空镀膜。尤其在连续式真空镀膜设备中，如采取破真空更换监控片的方式，将导致镀膜效率明显下降；如采取将镀膜工件架和监控片作为整体进行不破真空自动化搬送的方式，将导致镀膜监控系统的稳定性显著降低。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供镀膜监控系统及真空镀膜设备，以解决现有技术中镀膜监控系统存在的上述问题。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、镀膜监
4、监控片，所述监控片包括多个沿径向和周向分布的监控点位，在薄膜沉积源的作用下所述监控点位处能被沉积薄膜；
5、监控点位选择单元，所述监控点位选择单元包括第一通孔，所述第一通孔用于选择性地使至少一个所述监控点位暴露于所述薄膜沉积源的作用区域；当监控点位暴露于所述薄膜沉积源的作用区域时，监控点位处于被监控状态，当监控点位未暴露于所述薄膜沉积源的作用区域时，监控点位处于非监控状态；
6、投光受光单元，所述投光受光单元至少用于向处于所述被监控状态的监控点位投射光，以及接收并检测来自所述监控点位的光。
7、作为上述镀膜监控系统的一种优选方案，所述镀膜监控系统还包括第一驱动机构，所述监控点位选择单元还包括依次间隔分布于所述监控片靠近所述薄膜沉积源的一侧的第一遮挡结构和第二遮挡结构；
8、所述第一驱动机构能驱动所述监控片、所述第一遮挡结构和所述第二遮挡结构中的至少任意两个绕定轴线转动，以使所述第一遮挡结构和所述第二遮挡结构能配合形成所述第一通孔，所述定轴线与所述监控片的旋转轴线、所述第一遮挡结构的旋转轴线和所述第二遮挡结构的旋转轴线均共线。
9、作为上述镀膜监控系统的一种优选方案，所述第一遮挡结构设有n个第二通孔，n个所述第二通孔沿所述第一遮挡结构的径向间隔分布，所述第一驱动机构能带动所述监控片、所述第一遮挡结构和所述第二遮挡结构中的至少任意两个绕旋转轴转动，以使每个所述第二通孔能依次成为所述第一通孔，n为大于1的正整数。
10、作为上述镀膜监控系统的一种优选方案，n个所述第二通孔沿所述第一遮挡结构的周向间隔分布；
11、所述第二遮挡结构设有第三通孔，所述第三通孔的长度沿所述第二遮挡结构的径向延伸，每个所述第二通孔能依次与所述第三通孔贯通形成所述第一通孔。
12、作为上述镀膜监控系统的一种优选方案，n个所述第二通孔分布于同一条直线上，所述直线为过所述第一遮挡结构的旋转中心点的任意一条线；
13、所述第二遮挡结构设有n个第三通孔，n个所述第三通孔沿所述第二遮挡结构的周向间隔分布；
14、n个所述第三通孔与n个所述第二通孔一一对应设置，所述第三通孔能与所述第二通孔贯通形成所述第一通孔。
15、作为上述镀膜监控系统的一种优选方案，所述投光受光单元包括投光受光组，所述投光受光组包括光输出传导头和光接收传导头，所述光输出传导头用于将光源发出的光传送至所述监控片，所述光接收传导头用于将所述监控片反射或透射的光传送至探测器；
16、所述投光受光组的数量为n个，n个所述投光受光组和n个所述第二通孔一一对应设置。
17、作为上述镀膜监控系统的一种优选方案，n个所述第二通孔分布于同一条直线上，所述直线为过所述第一遮挡结构的旋转中心点的任意一条线；
18、所述投光受光单元包括投光受光组，所述投光受光组包括光输出传导头和光接收传导头，所述光输出传导头用于将光源发出的光传送至所述监控片，所述光接收传导头用于将所述监控片反射或透射的光传送至探测器；
19、所述镀膜监控系统还包括第二驱动机构，所述第二驱动机构包括第一平移驱动机构，所述投光受光组连接于所述第一平移驱动机构的输出端，所述第一平移驱动机构能带动所述投光受光组平移。
20、作为上述镀膜监控系统的一种优选方案，所述镀膜监控系统还包括第三驱动机构，所述第三驱动机构包括设置于镀膜室的旋转驱动机构，以及连接于所述旋转驱动机构的输出端的第二平移驱动机构；
21、所述投光受光单元包括投光受光组，所述投光受光组包括光输出传导头和光接收传导头，所述光输出传导头用于将光源发出的光传送至所述监控片，所述光接收传导头用于将所述监控片反射或透射的光传送至探测器；
22、所述投光受光组连接于所述第二平移驱动机构的输出端，所述旋转驱动机构能带动所述第二平移驱动机构和所述投光受光组同步绕所述定轴线转动，所述第二平移驱动机构能带动所述投光受光组平移。
23、作为上述镀膜监控系统的一种优选方案，所述旋转驱动机构包括固定设置于所述镀膜室的旋转驱动件，以及第一旋转传动件，所述旋转驱动件的输出轴与所述第一旋转传动件的输入端传动连接，所述第一旋转传动件的输出端与所述第二平移驱动机构连接，所述旋转驱动件能带动所述第一旋转传动件、所述第二平移驱动机构和所述投光受光组同步绕所述定轴线转动。
24、作为上述镀膜监控系统的一种优选方案，所述旋转驱动机构还包括第一齿轮传动组件，所述第一齿轮传动组件包括第一齿轮和第一齿圈，所述旋转驱动件的输出轴与所述第一齿轮传动连接，所述第一齿圈的外周与所述第一齿轮啮合，所述第一齿圈转动连接于所述镀膜室且沿周向与所述第一旋转传动件连接。
25、作为上述镀膜监控系统的一种优选方案，所述第二平移驱动机构包括设置于所述旋转驱动机构的输出端的第二平移驱动件，所述第二平移驱动件的输出端与所述投光受光组传动连接，所述第二平移驱动件能带动所述投光受光组平移。
26、作为上述镀膜监控系统的一种优选方案，所述监控片的多个监控点位形成n个监控点位组，n个所述监控点位组沿所述监控片的径向间隔分布，每个所述监控点位组均包括多个沿所述监控片的周向间隔分布的监控点位，n为大于1的正整数。
27、作为上述镀膜监控系统的一种优选方案，所述第二通孔为锥形孔，所述第本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.镀膜监控系统，其特征在于，包括:
2.根据权利要求1所述的镀膜监控系统，其特征在于，所述镀膜监控系统还包括第一驱动机构，所述监控点位选择单元还包括依次间隔分布于所述监控片(1)靠近所述薄膜沉积源的一侧的第一遮挡结构(3)和第二遮挡结构(4)；
3.根据权利要求2所述的镀膜监控系统，其特征在于，所述第一遮挡结构(3)设有N个第二通孔(31)，N个所述第二通孔(31)沿所述第一遮挡结构(3)的径向间隔分布，所述第一驱动机构能带动所述监控片(1)、所述第一遮挡结构(3)和所述第二遮挡结构(4)中的至少任意两个绕旋转轴转动，以使每个所述第二通孔(31)能依次成为所述第一通孔，N为大于1的正整数。
4.根据权利要求3所述的镀膜监控系统，其特征在于，N个所述第二通孔(31)沿所述第一遮挡结构(3)的周向间隔分布；
5.根据权利要求3所述的镀膜监控系统，其特征在于，N个所述第二通孔(31)分布于同一条直线上，所述直线为过所述第一遮挡结构(3)的旋转中心点的任意一条线；
6.根据权利要求3-5任一项所述的镀膜监控系统，其特征在于，所
7.根据权利要求3所述的镀膜监控系统，其特征在于，N个所述第二通孔(31)分布于同一条直线上，所述直线为过所述第一遮挡结构(3)的旋转中心点的任意一条线；
8.根据权利要求3-5任一项所述的镀膜监控系统，其特征在于，所述镀膜监控系统还包括第三驱动机构(5)，所述第三驱动机构(5)包括设置于镀膜室的旋转驱动机构，以及连接于所述旋转驱动机构的输出端的第二平移驱动机构(51)；
9.根据权利要求8所述的镀膜监控系统，其特征在于，所述旋转驱动机构包括固定设置于所述镀膜室的旋转驱动件，以及第一旋转传动件(52)，所述旋转驱动件的输出轴与所述第一旋转传动件(52)的输入端传动连接，所述第一旋转传动件(52)的输出端与所述第二平移驱动机构(51)连接，所述旋转驱动件能带动所述第一旋转传动件(52)、所述第二平移驱动机构(51)和所述投光受光组同步绕所述定轴线转动。
10.根据权利要求9所述的镀膜监控系统，其特征在于，所述旋转驱动机构还包括第一齿轮传动组件，所述第一齿轮传动组件包括第一齿轮和第一齿圈，所述旋转驱动件的输出轴与所述第一齿轮传动连接，所述第一齿圈的外周与所述第一齿轮啮合，所述第一齿圈转动连接于所述镀膜室且沿周向与所述第一旋转传动件(52)连接。
11.根据权利要求8所述的镀膜监控系统，其特征在于，所述第二平移驱动机构(51)包括设置于所述旋转驱动机构的输出端的第二平移驱动件，所述第二平移驱动件的输出端与所述投光受光组传动连接，所述第二平移驱动件能带动所述投光受光组平移。
12.根据权利要求1所述的镀膜监控系统，其特征在于，所述监控片(1)的多个监控点位(111)形成N个监控点位组(11)，N个所述监控点位组(11)沿所述监控片(1)的径向间隔分布，每个所述监控点位组(11)均包括多个沿所述监控片(1)的周向间隔分布的监控点位(111)，N为大于1的正整数。
13.根据权利要求3-5任一项所述的镀膜监控系统，其特征在于，所述第二通孔(31)为锥形孔，所述第二通孔(31)的大端朝向所述第二遮挡结构(4)，所述第二通孔(31)的小端朝向所述监控片(1)。
14.根据权利要求2-5任一项所述的镀膜监控系统，其特征在于，所述第一驱动机构能驱动所述第一遮挡结构(3)和/或所述第二遮挡结构(4)绕所述定轴线转动形成所述第一通孔；
15.根据权利要求3-5任一项所述的镀膜监控系统，其特征在于，所述第一遮挡结构(3)包括托盘，所述第二遮挡结构(4)包括防护罩，N个所述第二通孔(31)设置于所述托盘，且所述托盘可拆卸设置于镀膜室内；
16.根据权利要求15所述的镀膜监控系统，其特征在于，所述监控片驱动机构(6)包括设置于所述镀膜室的监控片驱动件(61)，以及第二旋转传动件(62)，所述监控片驱动件(61)的输出轴与所述第二旋转传动件(62)的输入端传动连接，所述第二旋转传动件(62)的输出端与所述监控片(1)可拆卸连接，所述监控片驱动件(61)能带动所述第二旋转传动件(62)和所述监控片(1)同步绕所述定轴线转动。
17.根据权利要求16所述的镀膜监控系统，其特征在于，所述监控片驱动机构(6)还包括第二齿轮传动组件(63)，所述第二齿轮...
【技术特征摘要】
1.镀膜监控系统，其特征在于，包括:
2.根据权利要求1所述的镀膜监控系统，其特征在于，所述镀膜监控系统还包括第一驱动机构，所述监控点位选择单元还包括依次间隔分布于所述监控片(1)靠近所述薄膜沉积源的一侧的第一遮挡结构(3)和第二遮挡结构(4)；
3.根据权利要求2所述的镀膜监控系统，其特征在于，所述第一遮挡结构(3)设有n个第二通孔(31)，n个所述第二通孔(31)沿所述第一遮挡结构(3)的径向间隔分布，所述第一驱动机构能带动所述监控片(1)、所述第一遮挡结构(3)和所述第二遮挡结构(4)中的至少任意两个绕旋转轴转动，以使每个所述第二通孔(31)能依次成为所述第一通孔，n为大于1的正整数。
4.根据权利要求3所述的镀膜监控系统，其特征在于，n个所述第二通孔(31)沿所述第一遮挡结构(3)的周向间隔分布；
5.根据权利要求3所述的镀膜监控系统，其特征在于，n个所述第二通孔(31)分布于同一条直线上，所述直线为过所述第一遮挡结构(3)的旋转中心点的任意一条线；
6.根据权利要求3-5任一项所述的镀膜监控系统，其特征在于，所述投光受光单元(2)包括投光受光组，所述投光受光组包括光输出传导头和光接收传导头，所述光输出传导头用于将光源发出的光传送至所述监控片(1)，所述光接收传导头用于将所述监控片(1)反射或透射的光传送至探测器；
7.根据权利要求3所述的镀膜监控系统，其特征在于，n个所述第二通孔(31)分布于同一条直线上，所述直线为过所述第一遮挡结构(3)的旋转中心点的任意一条线；
8.根据权利要求3-5任一项所述的镀膜监控系统，其特征在于，所述镀膜监控系统还包括第三驱动机构(5)，所述第三驱动机构(5)包括设置于镀膜室的旋转驱动机构，以及连接于所述旋转驱动机构的输出端的第二平移驱动机构(51)；
9.根据权利要求8所述的镀膜监控系统，其特征在于，所述旋转驱动机构包括固定设置于所述镀膜室的旋转驱动件，以及第一旋转传动件(52)，所述旋转驱动件的输出轴与所述第一旋转传动件(52)的输入端传动连接，所述第一旋转传动件(52)的输出端与所述第二平移驱动机构(51)连接，所述旋转驱动件能带动所述第一旋转传动件(52)、所述第二平移驱动机构(51)和所述投光受光组同步绕所述定轴线转动。
10.根据权利要求9所述的镀膜监控系统，其特征在于，所述旋转驱动机构还包括第一齿轮传动组件，所述第一齿轮传动组件包括第一齿轮和第一齿圈，所述旋转驱动件的输出轴与所述第一齿轮传动连接，所述第一齿圈的外...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄永长，龙汝磊，吴萍，薛聪颖，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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