【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及检查方法、检查装置及层叠体的制造方法。
技术介绍
1、液晶显示装置、有机el显示装置等中使用的偏振板一般通过将偏振片夹持于2片保护膜而构成。为了将偏振板粘贴于显示装置，在一个保护膜层叠粘合剂层，并进一步在粘合剂层层叠剥离膜。另外，经常在另一个保护膜也贴合保护其表面的剥离膜(表面保护膜)。偏振板被以像这样层叠有剥离膜的状态流通运送，在显示装置的制造工序中贴合于显示装置时将剥离膜剥离。
2、但是，偏振板在其制造阶段中在偏振片与保护膜之间混入异物、或残留气泡、或者保护膜具有相位差膜的功能的情况下会有存在取向缺陷的情况(以下有时将这些异物、气泡及取向缺陷统一称作“缺陷”)。在将存在缺陷的偏振板贴合于显示装置的情况下，会有该缺陷的部位被以亮点的形式观察到、或在缺陷的部位图像看起来扭曲的情况。特别是，以亮点的形式观察到的缺陷在该显示装置的黑显示时容易被观察到。
3、因而，在将偏振板向显示装置贴合的前阶段(具备剥离膜的状态的偏振板)中，进行用于检测该偏振板的缺陷的检查。该缺陷的检查通常为利用了偏振板的偏振轴的光检查。具体而言，如专利文献1中所示，在作为被检查物的偏振板与光源之间设置偏振滤光片后，使该偏振板或偏振滤光片沿平面方向旋转，将它们各自的偏振轴方向设为特定的关系。在偏振轴方向之间相互正交的情况下(即构成正交尼克尔棱镜的配置的情况下)，通过了偏振滤光片的直线偏振光不通过偏振板。然而，若在偏振板存在缺陷，则在该部位直线偏振光发生透射，因此通过检测到该光而判明缺陷的存在。另一方面，在偏振板与偏振滤光片的偏
4、现有技术文献
5、专利文献
6、专利文献1：日本特开平9-229817号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的课题
2、在偏振板为圆偏振板的情况下，可以考虑以使观察视野变暗的方式相对于圆偏振板进一步配置相位差滤光片，检测在缺陷部位产生的亮点。
3、圆偏振板通常也被以层叠有剥离膜的状态流通运送。因此，在检查圆偏振板的情况下，以层叠有剥离膜的状态被检查。剥离膜是在将圆偏振板向显示装置安装时被剥下的膜，所以剥离膜的相位差没有受到严格的管理。因此，有时因存在于剥离膜的相位差而使观察视野不能充分地变暗，缺陷的检测精度降低。
4、因而，本专利技术的目的在于，提供一种能够提高圆偏振板的缺陷的检测精度的技术。
5、用于解决课题的手段
6、[1]一个实施方式的检查方法对具备第1圆偏振板以及剥离膜的膜状的层叠体所具有的上述第1圆偏振板有无缺陷进行检查，上述第1圆偏振板具有第1直线偏振板和层叠于上述第1直线偏振板的第1相位差膜，上述剥离膜层叠于上述第1相位差膜且由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂形成，该检查方法具备：照射工序，在包含规定波长的检查波长范围内使波长随时间变化的同时或者使波长随空间变化的状态下向上述层叠体照射检查光；检测工序，检测从被照射了上述检查光的上述层叠体的上述剥离膜侧输出的上述检查光；以及判定工序，基于上述检测工序的检测结果判定上述第1圆偏振板有无缺陷，在将上述规定波长设为λ[nm]、将n设为1以上的整数的情况下，上述规定波长是因上述规定波长的光透射上述剥离膜而产生nλ的第1相位差或(n+1/2)λ的第2相位差的波长。
7、上述[1]中记载的检查方法中，在包含规定波长的检查波长范围内使波长随时间变化的同时或者使波长随空间变化的状态下向上述层叠体照射检查光。因此，能够可靠地取得对规定波长的光的检测结果。在将上述规定波长设为λ[nm]、将n设为1以上的整数的情况下，上述规定波长是因上述规定波长的光透射上述剥离膜而产生nλ的第1相位差或(n+1/2)λ的第2相位差的波长。由此，剥离膜对规定波长的光的影响减少。因此，在第1圆偏振板存在缺陷的情况下，能够精度优良地检测出缺陷。
8、[2]在上述[1]中记载的检查方法中，上述规定波长是因上述规定波长的光透射上述剥离膜而产生上述第1相位差的波长，上述检查波长范围可以为500nm以上且550nm以下的波长。
9、在利用pet系树脂形成剥离膜的情况下，在上述检查波长范围中，容易存在因透射剥离膜而在光中产生第1相位差的规定波长。因此，通过使检查波长范围为上述[2]中记载的范围，在第1圆偏振板存在有缺陷的情况下，能够精度优良地检测出缺陷。
10、[3]在上述[2]中记载的检查方法中，上述照射工序中，从上述剥离膜侧对上述层叠体照射从第2直线偏振板侧通过具有上述第2直线偏振板和第2相位差膜的第2圆偏振板的上述检查光，上述检测工序中，使由上述第1圆偏振板反射后透射上述剥离膜的上述检查光从第3相位差膜侧通过具有第3直线偏振板和上述第3相位差膜的第3圆偏振板后进行检测，上述第2圆偏振板及上述第3圆偏振板可以是均为左旋或均为右旋的圆偏振板并且为与第1圆偏振板旋转方向相反的圆偏振板。
11、[4]在上述[2]中记载的检查方法中，上述照射工序中，从上述剥离膜侧对上述层叠体照射从第4直线偏振板侧通过具有上述第4直线偏振板和第4相位差膜的第4圆偏振板的上述检查光，上述检测工序中，使由上述第1圆偏振板反射后透射上述剥离膜的上述检查光从上述第4相位差膜侧通过上述第4圆偏振板后进行检测，上述第4圆偏振板可以为与上述第1圆偏振板旋转方向相反的圆偏振板。
12、[5]在上述[2]中记载的检查方法中，上述照射工序中，从上述第1圆偏振板侧对上述层叠体照射上述检查光，上述检测工序中，使依照上述第1圆偏振板及上述剥离膜的顺序透射上述层叠体的上述检查光从检测用相位差膜侧通过具有检测用直线偏振板和上述检测用相位差膜的检测用圆偏振板后进行检测，上述检测用圆偏振板可以为与上述第1圆偏振板旋转方向相反的圆偏振板。
13、上述[3]、[4]及[5]各自记载的检查方法中，检测部的检测区域(例如观察区域)暗。另一方面，在第1圆偏振板存在有缺陷的情况下，缺陷表现为亮点的形式。因此，易于检测出缺陷。
14、[6]在上述[1]中记载的检查方法中，上述规定波长是因上述规定波长的光透射上述剥离膜而产生上述第2相位差的波长，上述检查波长范围可以为570nm以上且630nm以下的波长。
15、在利用pet系树脂形成剥离膜的情况下，在上述检查波长范围中，容易存在因透射剥离膜而在光中产生第2相位差的规定波长。因此，通过使检查波长范围为上述[6]中记载的范围，在第1圆偏振板存在有缺陷的情况下，能够精度优良地检测出缺陷。
16、[7]在上述[6]中记载的检查方法中，上述照射工序中，从上述剥离膜侧对上述层叠体照射从第2直线偏振板侧通过具本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种检查方法，其是对具备第1圆偏振板以及剥离膜的膜状的层叠体所具有的所述第1圆偏振板有无缺陷进行检查的检查方法，所述第1圆偏振板具有第1直线偏振板和层叠于所述第1直线偏振板的第1相位差膜，所述剥离膜层叠于所述第1相位差膜且由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂形成，所述检查方法具备：
2.根据权利要求1所述的检查方法，其中，
3.根据权利要求2所述的检查方法，其中，
4.根据权利要求2所述的检查方法，其中，
5.根据权利要求2所述的检查方法，其中，
6.根据权利要求1所述的检查方法，其中，
7.根据权利要求6所述的检查方法，其中，
8.根据权利要求6所述的检查方法，其中，
9.根据权利要求6所述的检查方法，其中，
10.根据权利要求1～9中任一项所述的检查方法，其中，
11.一种层叠体的制造方法，所述制造方法具备利用权利要求1所述的检查方法检查所述层叠体所具有的所述第1圆偏振板有无缺陷的工序。
12.一种检查装置，其是对具备第1圆偏振板以及剥离膜的膜状的层
13.根据权利要求12所述的检查装置，其中，
14.根据权利要求13所述的检查装置，其进一步具备：
15.根据权利要求13所述的检查装置，其具备：
16.根据权利要求13所述的检查装置，其进一步具备具有检测用直线偏振板和检测用相位差膜的检测用圆偏振板，
17.根据权利要求12所述的检查装置，其中，
18.根据权利要求17所述的检查装置，其进一步具备：
19.根据权利要求17所述的检查装置，其具备：
20.根据权利要求17所述的检查装置，其进一步具备具有检测用直线偏振板和检测用相位差膜的检测用圆偏振板，
21.根据权利要求12～20中任一项所述的检查装置，其进一步具备使所述层叠体沿着规定方向移动的移动机构，
...【技术特征摘要】
1.一种检查方法，其是对具备第1圆偏振板以及剥离膜的膜状的层叠体所具有的所述第1圆偏振板有无缺陷进行检查的检查方法，所述第1圆偏振板具有第1直线偏振板和层叠于所述第1直线偏振板的第1相位差膜，所述剥离膜层叠于所述第1相位差膜且由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂形成，所述检查方法具备：
2.根据权利要求1所述的检查方法，其中，
3.根据权利要求2所述的检查方法，其中，
4.根据权利要求2所述的检查方法，其中，
5.根据权利要求2所述的检查方法，其中，
6.根据权利要求1所述的检查方法，其中，
7.根据权利要求6所述的检查方法，其中，
8.根据权利要求6所述的检查方法，其中，
9.根据权利要求6所述的检查方法，其中，
10.根据权利要求1～9中任一项所述的检查方法，其中，
11.一种层叠体的制造方法，所述制造方法具备利用权利要求1所述的检查方法检查所述层叠体所具有的所述第1圆偏振板有无缺陷的工序。
12.一种检查装置，其是对具备第1圆...
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