【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种单晶炉用过滤装置。
技术介绍
1、在单晶硅生产过程中，会产生大量的高温挥发物，需要及时过滤和处理，避免进入到真空泵，否则会污染真空泵油，影响真空泵的性能和安全，而且真空泵油的更换和废油处理也非常困难，真空泵效能的下降又直接会影响单晶炉的产量和产品质量。因此，必须对进入真空泵的气体首先进行过滤处理。
2、当前，过滤装置种类繁多，但普遍存在过滤效率不高、过滤时间短等问题，造成生产成本居高不下，且一旦运行时间过长，积压灰尘较多，不易清理，存在安全隐患，因此许多公司直接选择不使用过滤器，真空泵的使用寿命就会很短。
3、鉴于上述现有技术的缺陷，需要提供一种能够方便高效进行滤芯清理、安全且过滤效率高、过滤时间长的单晶炉真空过滤装置。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术的目的在于提供一种单晶炉用过滤装置，该装置易于清理，安全性能高，并且可以提高过滤装置的过滤时间和过滤效率。
2、本技术采用如下技术方案实现上述目的。
3、本技术提供一种单晶炉用过滤装置，包括过滤本体和清灰单元；其中，
4、所述清灰单元设置在所述过滤本体的底部；所述清灰单元内设置有积尘腔，所述积尘腔内设置有清扫设备，用于将灰尘清扫至过滤本体的过滤区中。
5、在本技术中，单晶炉用过滤装置主要由过滤本体和清灰单元组成。清灰单元内设置有清扫设备，能够将灰尘清扫至过滤本体的过滤区中过滤。这样能够易于清理，能提高安全性能。
6、根据本技术所述的单
7、在本技术中，过滤本体包括上筒体、主筒体和法兰套筒。在上筒体和主筒体之间增加了法兰套筒，这样增加了过滤面积，提高了过滤效率和过滤时长。
8、根据本技术所述的单晶炉用过滤装置，优选地，还包括软管、集尘主管道和集尘分管道；所述集尘主管道横向设置，并位于所述过滤本体的上方；所述集尘分管道垂直于所述集尘主管道设置；所述集尘分管道远离所述集尘主管道的一端与所述软管的一端相连；所述软管的另一端与清灰单元的侧部相连。
9、根据本技术所述的单晶炉用过滤装置，优选地，所述积尘腔为中空腔体结构，其上设置有清灰口，所述积尘腔通过所述清灰口与所述过滤本体相连通。
10、根据本技术所述的单晶炉用过滤装置，优选地，所述清扫设备包括上吹扫机构、下吹扫机构、驱动机构和转轴；所述上吹扫机构设置在所述下吹扫机构的上方；所述驱动机构设置在所述上吹扫机构和下吹扫机构的靠近所述软管的一侧；所述转轴设置在所述上吹扫机构和所述下吹扫机构之间，所述转轴横向设置，所述转轴的一端分别与所述上吹扫机构和所述下吹扫机构连接，另一端与所述驱动机构连接；所述驱动机构设置为通过所述转轴带动所述下吹扫机构旋转将灰尘连续缓慢移动到所述清灰口。
11、根据本技术所述的单晶炉用过滤装置，优选地，所述上吹扫机构远离所述驱动机构的一端通过第一管道与吹气管相连，所述吹气管将压缩空气输入至所述上吹扫机构中，将灰尘从清灰口吹至所述过滤本体的过滤区进行过滤。
12、在本技术中，清扫设备设置在积尘腔内，其主要包括上吹扫机构和下吹扫机构，上吹扫机构可以设置为管状结构，下吹扫机构可以设置为桨状叶片结构。上吹扫机构固定，通过压缩空气吹起的方式进行吹扫，下吹扫机构可活动，通过驱动机构和转轴带动下吹扫机构转动对灰尘进行清扫，上吹扫机构和下吹扫机构同时进行能更好的清灰。
13、根据本技术所述的单晶炉用过滤装置，优选地，所述清灰单元还包括二次氧化机构；所述二次氧化机构设置在所述积尘腔的侧部。
14、根据本技术所述的单晶炉用过滤装置，优选地，所述二次氧化机构包括主动进气阀、被动进气阀和第二管道；所述第二管道的一端与所述积尘腔相连，另一端与所述软管相连；所述主动进气阀和被动进气阀顺次设置在第二管道上，且所述主动进气阀靠近所述积尘腔。
15、在本技术中，还设置有二次氧化机构，其主要包括主动进气阀和被动进气阀。在设备停炉后，将泵停止运行，使灰尘净化一定的时间后然后打开被动进气阀被动进气一段时间后关闭，再打开主动进气阀主动进气一段时间后关闭。被动进气的时间可以为30～100min，优选为40～80min，更优选为45～60min。主动进气的时间可以为100～200min，优选为120～180min，更优选为140～160min。这样能使灰尘中的物质充分氧化，并降低灰尘的温度，防止灰尘燃烧和爆炸，进一步地提高安全性。
16、根据本技术所述的单晶炉用过滤装置，优选地，所述过滤区内设置有过滤袋。
17、根据本技术所述的单晶炉用过滤装置，优选地，还包括移动部件；所述移动部件设置在所述清灰单元的底部。移动部件可以万向轮，这样方便装置的移动和应用。
18、本技术的单晶炉用过滤装置易于清理，安全性能高，并且可以提高过滤装置的过滤时间和过滤效率。同时结构简单、易于操作。
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1.一种单晶炉用过滤装置，其特征在于，包括过滤本体和清灰单元；其中，
2.根据权利要求1所述的单晶炉用过滤装置，其特征在于，所述过滤本体包括上筒体、主筒体和法兰套筒；所述法兰套筒设置在所述上筒体和主筒体之间。
3.根据权利要求2所述的单晶炉用过滤装置，其特征在于，还包括软管、集尘主管道和集尘分管道；所述集尘主管道横向设置，并位于所述过滤本体的上方；所述集尘分管道垂直于所述集尘主管道设置；所述集尘分管道远离所述集尘主管道的一端与所述软管的一端相连；所述软管的另一端与清灰单元的侧部相连。
4.根据权利要求3所述的单晶炉用过滤装置，其特征在于，所述上吹扫机构远离所述驱动机构的一端通过第一管道与吹气管相连，所述吹气管将压缩空气输入至所述上吹扫机构中，将灰尘从清灰口吹至所述过滤本体的过滤区进行过滤。
5.根据权利要求4所述的单晶炉用过滤装置，其特征在于，所述清灰单元还包括二次氧化机构；所述二次氧化机构设置在所述积尘腔的侧部。
6.根据权利要求5所述的单晶炉用过滤装置，其特征在于，所述二次氧化机构包括主动进气阀、被动进气阀和第二管道
7.根据权利要求1～6任一项所述的单晶炉用过滤装置，其特征在于，所述过滤区内设置有过滤袋。
8.根据权利要求1所述的单晶炉用过滤装置，其特征在于，还包括移动部件；所述移动部件设置在所述清灰单元的底部。
...【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用过滤装置，其特征在于，包括过滤本体和清灰单元；其中，
2.根据权利要求1所述的单晶炉用过滤装置，其特征在于，所述过滤本体包括上筒体、主筒体和法兰套筒；所述法兰套筒设置在所述上筒体和主筒体之间。
3.根据权利要求2所述的单晶炉用过滤装置，其特征在于，还包括软管、集尘主管道和集尘分管道；所述集尘主管道横向设置，并位于所述过滤本体的上方；所述集尘分管道垂直于所述集尘主管道设置；所述集尘分管道远离所述集尘主管道的一端与所述软管的一端相连；所述软管的另一端与清灰单元的侧部相连。
4.根据权利要求3所述的单晶炉用过滤装置，其特征在于，所述上吹扫机构远离所述驱动机构的一端通过第一管道与吹气管相连，所述吹气管将压缩空气输入至所述上吹扫机...
【专利技术属性】
技术研发人员：张二东，周涛，王新强，
申请(专利权)人：双良硅材料包头有限公司，
类型：新型
国别省市：
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