【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光学，具体而言，涉及一种光学器件。
技术介绍
1、键合工艺是指通过化学和物理作用将硅片与玻璃、玻璃与玻璃或其它材料紧密地结合起来的方法。如今，键合工艺已大量运用于光学、半导体等市场领域。
2、现有的键合工艺得到的光学器件通常为纯玻璃材料，且玻璃的表面需要非常平整，使得制备得到的光学器件的功能较为单一，且键合加工对于玻璃平整度的要求较高，导致生产效率较低。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种光学器件，其镀设有图形膜层，丰富了光学功能，同时平坦层的设置降低了对于基板平整度的要求，提高了生产效率。
2、本技术的实施例是这样实现的：
3、本技术的一方面，提供一种光学器件，包括键合为一体结构的第一基板和第二基板，第一基板的键合面镀设有图形膜层；图形膜层背离第一基板的一面镀设有平坦层，第一基板设有图形膜层的一面与第二基板的板面相互键合。
4、可选地，第一基板靠近第二基板的板面上开设有凹槽，图形膜层镀设于凹槽的底面上。
5、可选地，平坦层镀设于图形膜层背离第一基板的一面，以填平凹槽。
6、可选地，图形膜层的镀设面积小于第一基板的板面面积。
7、可选地，平坦层设置于图形膜层背离第一基板的一面，且覆设第一基板的板面。
8、可选地，第一基板和第二基板均为玻璃基板。
9、可选地，第一基板为玻璃基板，第二基板为硅片基板。
10、可选地，平坦层为二氧化硅层、氮氧化硅层或铌
11、本技术的有益效果包括：
12、本申请提供了一种光学器件，包括键合为一体结构的第一基板和第二基板，第一基板的键合面镀设有图形膜层；图形膜层背离第一基板的一面镀设有平坦层，第一基板设有图形膜层的一面与第二基板的板面相互键合。上述设计得到的光学器件，其镀设有图形膜层，丰富了光学功能，同时平坦层的设置降低了对于基板平整度的要求，提高了生产效率。
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1.一种光学器件，其特征在于，包括键合为一体结构的第一基板(110)和第二基板(120)，所述第一基板(110)的键合面镀设有图形膜层(130)；所述图形膜层(130)背离所述第一基板(110)的一面镀设有平坦层(140)，所述第一基板(110)设有所述图形膜层(130)的一面与所述第二基板(120)的板面相互键合。
2.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，所述第一基板(110)靠近所述第二基板(120)的板面上开设有凹槽，所述图形膜层(130)镀设于所述凹槽的底面上。
3.根据权利要求2所述的光学器件，其特征在于，所述平坦层(140)镀设于所述图形膜层(130)背离所述第一基板(110)的一面，以填平所述凹槽。
4.根据权利要求1～3任一项所述的光学器件，其特征在于，所述图形膜层(130)的镀设面积小于所述第一基板(110)的板面面积。
5.根据权利要求4所述的光学器件，其特征在于，所述平坦层(140)设置于所述图形膜层(130)背离所述第一基板(110)的一面，且覆设所述第一基板(110)的板面。
6.根据权利
7.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，所述第一基板(110)为玻璃基板，所述第二基板(120)为硅片基板。
8.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，所述平坦层(140)为二氧化硅层、氮氧化硅层或铌硅氧化层。
...【技术特征摘要】
1.一种光学器件，其特征在于，包括键合为一体结构的第一基板(110)和第二基板(120)，所述第一基板(110)的键合面镀设有图形膜层(130)；所述图形膜层(130)背离所述第一基板(110)的一面镀设有平坦层(140)，所述第一基板(110)设有所述图形膜层(130)的一面与所述第二基板(120)的板面相互键合。
2.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，所述第一基板(110)靠近所述第二基板(120)的板面上开设有凹槽，所述图形膜层(130)镀设于所述凹槽的底面上。
3.根据权利要求2所述的光学器件，其特征在于，所述平坦层(140)镀设于所述图形膜层(130)背离所述第一基板(110)的一面，以填平所述凹槽。
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【专利技术属性】
技术研发人员：张幸洁，王栩冬，任江，徐恩国，陈奕桦，
申请(专利权)人：浙江水晶光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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