【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在基板上形成涂布膜的涂布装置，特别涉及能够抑制涂布膜的结晶状态变得不均匀的情况且使其干燥的涂布装置。
技术介绍
1、近年来，在各种用途中使用在基板w上形成有均匀的薄膜的基板(称为涂布基板)。例如，在基板上形成均匀的膜厚的涂布膜的情况下，通过具有狭缝状的喷嘴的涂布装置来形成。例如，如图8所示，该涂布装置具有：载置基板w的载台100；以及具有喷出涂布液的狭缝状的喷嘴的涂布器101，一边从喷嘴的狭缝喷出涂布液，一边使基板w与涂布器101相对移动，由此在基板w上形成规定厚度的涂布膜c。
2、然后，所形成的涂布基板w在从涂布装置搬出后，通过与涂布装置不同的干燥装置102进行干燥(例如，参照下述专利文献1)。
3、现有技术文献
4、专利文献
5、专利文献1：日本特开2003-017402号公报
技术实现思路
1、专利技术所要解决的课题
2、但是，在上述涂布装置中，存在无法充分发挥所形成的涂布膜c的功能性的问题。即，在涂布膜c的材料中，存在例如钙钛矿太阳能电池的材料那样功能性依赖于结晶状态的材料。但是，即使如干燥装置102那样在干燥环境均匀的情况下干燥由涂布装置形成的涂布膜c，涂布膜c的结晶状态也会根据部位而不同，存在由于涂布膜c的结晶状态的不均匀性而损害其功能性的问题。
3、本专利技术是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种能够抑制所形成的涂布膜的结晶状态变得不均匀的情况的涂布装置。
4、用于解
5、为了解决所述问题，本专利技术的涂布装置包括：载置基板的载台；涂布器，其一边相对于载置于所述载台的基板相对地移动，一边从喷嘴喷出涂布液而在基板上形成涂布膜；以及干燥器，其使基板上的涂布膜干燥，其特征在于，根据基板上的涂布膜的干燥分布信息，对应于涂布膜的部位来调节所述干燥器的促进干燥的干燥促进力。
6、根据上述涂布装置，根据涂布膜的干燥分布信息，对应于涂布膜的部位来调节干燥促进力，因此能够在抑制涂布膜的结晶状态的不均匀性的情况下进行干燥。
7、即，由于能够根据干燥分布信息掌握对基板的涂布膜的部位的干燥状态，因此根据该干燥分布信息，对应于涂布膜的部位来调节干燥器的干燥促进力、即调节用于干燥的输出。具体而言，以在干燥相对地进展的部位减弱干燥促进力、在干燥相对地延迟的部位增强干燥促进力而进行干燥的方式进行调节。由此，作为涂布膜整体，通过抑制干燥状态的不均匀性，涂布膜的晶体容易大幅生长，能够抑制涂布膜的结晶状态变得不均匀的情况。
8、另外，也可以构成为根据所形成的涂布膜的干燥状态定期地更新所述干燥分布信息。
9、根据该结构，即使在涂布膜的干燥状态随着生产而变化的情况下，通过更新干燥分布信息，也能够与干燥状态的变化对应地抑制干燥状态的不均匀性。此外，干燥分布信息的更新的可以频度是每多片基板，也可以是每一片基板。
10、另外，也可以构成为，根据刚涂布后的涂布膜的干燥状态而取得所述干燥分布信息，利用根据所取得的所述干燥分布信息进行了调节的干燥促进力，使该基板的涂布膜干燥。
11、根据该结构，由于根据刚涂布后的涂布膜的干燥状态来取得干燥分布信息，因此能够根据刚形成涂布膜后的涂布膜的干燥状态来调节干燥促进力。因此，能够根据所形成的涂布膜，抑制干燥状态的不均匀性而使其干燥。
12、另外，也可以构成为，所述干燥器设置于所述涂布器，在刚形成涂布膜之后，一边基于所述干燥分布信息调节干燥促进力一边进行干燥。
13、根据该结构，能够在涂布液刚着液于基板之后立即基于干燥分布信息进行干燥，因此能够避免在刚着液之后由于自然干燥而使干燥状态变得不均匀的状态。
14、作为具体的所述干燥促进力的方式，也可以构成为，所述干燥器向涂布膜供给空气而使其干燥，所述干燥促进力通过调节所述干燥器的空气供给量来进行。
15、而且，作为具体的所述干燥促进力的方式，也可以构成为，所述干燥器向涂布膜供给空气而使其干燥，所述干燥促进力通过调节喷出空气的所述干燥器的供给口与涂布膜之间的距离来进行。
16、另外，也可以构成为，所述干燥器具有沿与涂布方向正交的宽度方向延伸的形状，其中所述涂布方向是所述涂布器为了形成涂布膜而在一个方向上移动的方向，所述干燥器的所述供给口具有在宽度方向上分割的划分部，按照每个所述划分部调节空气供给量。
17、根据该结构，由于干燥器的供给口具有在宽度方向上分割的划分部，所以能够通过调节从各划分部供给的空气供给量来调节干燥促进力。
18、另外，也可以构成为，通过按照每个所述划分部设定开口面积来调节所述干燥器的所述供给口的空气供给量。
19、根据该结构，通过对每个划分部适当地设定开口面积，能够调节从划分部供给的空气供给量。
20、专利技术效果
21、根据本专利技术的涂布装置，通过抑制涂布膜的干燥状态变得不均匀的情况，能够抑制所形成的涂布膜的结晶状态变得不均匀的情况。
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1.一种涂布装置，其具有：
2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，根据所形成的涂布膜的干燥状态定期地更新所述干燥分布信息。
3.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，根据刚涂布后的涂布膜的干燥状态而取得所述干燥分布信息，利用根据所取得的所述干燥分布信息进行了调节的干燥促进力，使该基板的涂布膜干燥。
4.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述干燥器设置于所述涂布器，在刚形成涂布膜之后，一边基于所述干燥分布信息调节干燥促进力一边进行干燥。
5.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述干燥器向涂布膜供给空气而使其干燥，所述干燥促进力通过调节所述干燥器的空气供给量来进行。
6.根据权利要求1或5所述的涂布装置，其特征在于，所述干燥器向涂布膜供给空气而使其干燥，所述干燥促进力通过调节喷出空气的所述干燥器的供给口与涂布膜之间的距离来进行。
7.根据权利要求5所述的涂布装置，其特征在于，所述干燥器具有沿与涂布方向正交的宽度方向延伸的形状，其中所述涂布方向是所述涂布器为了形成涂布膜而在一个方向上移动
8.根据权利要求7所述的涂布装置，其特征在于，通过按照每个所述划分部设定开口面积来调节所述干燥器的所述供给口的空气供给量。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种涂布装置，其具有：
2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，根据所形成的涂布膜的干燥状态定期地更新所述干燥分布信息。
3.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，根据刚涂布后的涂布膜的干燥状态而取得所述干燥分布信息，利用根据所取得的所述干燥分布信息进行了调节的干燥促进力，使该基板的涂布膜干燥。
4.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述干燥器设置于所述涂布器，在刚形成涂布膜之后，一边基于所述干燥分布信息调节干燥促进力一边进行干燥。
5.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述干燥器向涂布膜供给空气而使其干燥，所述干燥促进力通过调...
【专利技术属性】
技术研发人员：三好贵之，筏敏晃，伊藤俊文，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：
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