【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及还原炉控制领域，特别涉及一种还原炉智能控制系统。
技术介绍
1、还原炉智能控制系统是一种进行多晶硅加工控制的系统，在多晶硅生产过程中，改良西门子法是生产多晶硅较为成熟的技术之一，随着多晶硅行业的发展，不断优化工艺、降本增效已经逐渐成为产生竞争优势的方法，随着科技的不断发展，人们对于还原炉智能控制系统的制造工艺要求也越来越高。
2、现有的还原炉控制系统在使用时存在一定的弊端，传统还原炉多采用人工经验调节，不利于还原炉的精细化调整，存在温度波动大、反应速率不可控、能耗高，产品质量不稳定等问题，通过智能控制可以提高炉内环境的稳定性、产品质量的优劣以及安全生产，有效的保证炉内反应过程顺利进行，减少产品质量异常，为此，我们提出一种还原炉智能控制系统。
技术实现思路
1、解决的技术问题：针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种还原炉智能控制系统，通过精准控制，缩短还原炉运行时间，提高产量；稳定控制工艺参数，减少波动，提升产品致密料比例；减少人工干预，降低人力成本，提高系统自动化水平，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
2、技术方案：为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为：一种还原炉智能控制系统，包括模拟参数模块、数据采集模块、数据处理模块与智能控制执行模块，所述模拟参数模块连接数据采集模块，所述数据采集模块连接数据处理模块，所述数据处理模块连接智能控制执行模块，所述模拟参数模块包括伏安曲线参数、还原炉内气场温度参数与理论功率参数，所述数据采集模块包括氢气数
3、作为本申请一种优选的技术方案，还包括控制装置，所述控制装置连接有控制面板以及与控制面板连接的数据分析模块、尾气温度检测模块、逻辑处理模块与执行模块。
4、作为本申请一种优选的技术方案，所述数据分析模块、尾气温度检测模块、逻辑处理模块与执行模块均连接数据采集处理模块，所述数据采集处理模块连接数据通讯模块，所述数据通讯模块连接中央处理模块，所述中央处理模块连接显示模块与智能控制模块。
5、作为本申请一种优选的技术方案，所述模拟参数模块通过计算模拟出伏安曲线、还原炉内气场温度、理论功率参数。
6、作为本申请一种优选的技术方案，所述数据采集模块实时采集还原炉运行参数，包括氢气、tcs实时数据，还采集工艺数据，包括电流、电压、功率曲线、尾气温度以及炉体水温度。
7、作为本申请一种优选的技术方案，所述数据处理模块负责接收并处理来自数据采集模块的数据，运用计算技术进行初步处理，并将监测数据集成到中央控制中心，建立数据汇总和处理机制进行深度分析。
8、作为本申请一种优选的技术方案，所述智能控制执行模块基于大数据分析与人工智能算法构建预测模型与优化算法，根据实时数据及历史数据预测还原炉运行状态，并生成最优控制策略，接收智能控制层的指令，通过调节还原炉的电流、氢气、tcs流量控制系统，实现对还原炉运行状态的精确控制。
9、作为本申请一种优选的技术方案，所述模拟参数模块、数据采集模块、数据处理模块与智能控制执行模块组成的控制系统建立还原炉温度、功率、反应速率关键参数，导入apc控制计算模块，通过pid调节电流大小、氢气、三氯氢硅进料量，最终在dcs界面形成逻辑模块，根据还原炉内的反应情况，调整apc的沉积速率预测模块，调整apc功率计算模块，根据预测结果及实时数据，动态调整控制策略，进行还原炉运行状态的快速调整。
10、有益效果：与现有技术相比，本专利技术提供了一种还原炉智能控制系统，具备以下有益效果：该一种还原炉智能控制系统，提高生产效率：通过精准控制，缩短还原炉运行时间，提高产量；
11、提升产品质量：稳定控制工艺参数，减少波动，提升产品致密料比例；
12、降低运维成本：减少人工干预，降低人力成本，提高系统自动化水平，整个还原炉智能控制系统结构简单，操作方便，使用的效果相对于传统方式更好。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种还原炉智能控制系统，包括模拟参数模块、数据采集模块、数据处理模块与智能控制执行模块，其特征在于：所述模拟参数模块连接数据采集模块，所述数据采集模块连接数据处理模块，所述数据处理模块连接智能控制执行模块，所述模拟参数模块包括伏安曲线参数、还原炉内气场温度参数与理论功率参数，所述数据采集模块包括氢气数据、TCS实时数据、功率曲线数据、电流数据、电压数据、尾气温度数据与炉体水温度数据，所述数据处理模块包括数据接收模块、数据计算模块、中央控制中心、数据汇总模块、处理机制模块与深度分析模块，所述智能控制执行模块包括数据分析模块、人工智能算法、预测模型优化、最优控制策略、指令接收模块与运行控制模块。
2.根据权利要求1所述的一种还原炉智能控制系统，其特征在于：还包括控制装置，所述控制装置连接有控制面板以及与控制面板连接的数据分析模块、尾气温度检测模块、逻辑处理模块与执行模块。
3.根据权利要求2所述的一种还原炉智能控制系统，其特征在于：所述数据分析模块、尾气温度检测模块、逻辑处理模块与执行模块均连接数据采集处理模块，所述数据采集处理模块连接数据通讯模块，所述数
4.根据权利要求1所述的一种还原炉智能控制系统，其特征在于：所述模拟参数模块通过计算模拟出伏安曲线、还原炉内气场温度、理论功率参数。
5.根据权利要求1所述的一种还原炉智能控制系统，其特征在于：所述数据采集模块实时采集还原炉运行参数，包括氢气、TCS实时数据，还采集工艺数据，包括电流、电压、功率曲线、尾气温度以及炉体水温度。
6.根据权利要求1所述的一种还原炉智能控制系统，其特征在于：所述数据处理模块负责接收并处理来自数据采集模块的数据，运用计算技术进行初步处理，并将监测数据集成到中央控制中心，建立数据汇总和处理机制进行深度分析。
7.根据权利要求1所述的一种还原炉智能控制系统，其特征在于：所述智能控制执行模块基于大数据分析与人工智能算法构建预测模型与优化算法，根据实时数据及历史数据预测还原炉运行状态，并生成最优控制策略，接收智能控制层的指令，通过调节还原炉的电流、氢气、TCS流量控制系统，实现对还原炉运行状态的精确控制。
8.根据权利要求1所述的一种还原炉智能控制系统，其特征在于：所述模拟参数模块、数据采集模块、数据处理模块与智能控制执行模块组成的控制系统建立还原炉温度、功率、反应速率关键参数，导入APC控制计算模块，通过PID调节电流大小、氢气、三氯氢硅进料量，最终在DCS界面形成逻辑模块，根据还原炉内的反应情况，调整APC的沉积速率预测模块，调整APC功率计算模块，根据预测结果及实时数据，动态调整控制策略，进行还原炉运行状态的快速调整。
...【技术特征摘要】
1.一种还原炉智能控制系统，包括模拟参数模块、数据采集模块、数据处理模块与智能控制执行模块，其特征在于：所述模拟参数模块连接数据采集模块，所述数据采集模块连接数据处理模块，所述数据处理模块连接智能控制执行模块，所述模拟参数模块包括伏安曲线参数、还原炉内气场温度参数与理论功率参数，所述数据采集模块包括氢气数据、tcs实时数据、功率曲线数据、电流数据、电压数据、尾气温度数据与炉体水温度数据，所述数据处理模块包括数据接收模块、数据计算模块、中央控制中心、数据汇总模块、处理机制模块与深度分析模块，所述智能控制执行模块包括数据分析模块、人工智能算法、预测模型优化、最优控制策略、指令接收模块与运行控制模块。
2.根据权利要求1所述的一种还原炉智能控制系统，其特征在于：还包括控制装置，所述控制装置连接有控制面板以及与控制面板连接的数据分析模块、尾气温度检测模块、逻辑处理模块与执行模块。
3.根据权利要求2所述的一种还原炉智能控制系统，其特征在于：所述数据分析模块、尾气温度检测模块、逻辑处理模块与执行模块均连接数据采集处理模块，所述数据采集处理模块连接数据通讯模块，所述数据通讯模块连接中央处理模块，所述中央处理模块连接显示模块与智能控制模块。
4.根据权利要求1所述的一种还原炉智能控制系统，其特征在于：所述模拟参数模块通过计算模拟出伏安曲线、还原炉内气场温度...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨昊，国栋，陈建宇，丁军博，于金禄，
申请(专利权)人：弘元能源科技包头有限公司，
类型：发明
国别省市：
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