【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及拉晶工艺，特别涉及一种拉晶炉及其高效调节拉晶炉内氧气浓度的方法。
技术介绍
1、芯片的制造都是从单晶硅开始；单晶硅的生成的一个重要工艺为拉晶；拉晶一般都是采用拉晶炉。拉晶炉是一种在惰性气体环境中，对多晶硅等材料进行加热融化后采用直拉法生长单晶的设备；其工作过程主要包括：配料、融化、拉晶、收尾等步骤；在拉晶过程中，氧含量的有效控制，能保证拉晶的质量。如何实现高效调节拉晶炉内的氧气浓度是亟需解决的技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术目的之一在于提供了一种拉晶炉及其高效调节拉晶炉内氧气浓度的方法，实现高效调节拉晶炉内的氧气浓度。
2、本专利技术实施例提供的一种拉晶炉，包括：主炉室、附炉室、拉晶头、坩埚、真空系统和保护气充入系统；还包括：
3、碳化硅棒加热组件，固定设置在主炉室的侧壁。
4、优选的，碳化硅棒加热组件设置为多个且均布设置在坩埚外周。
5、优选的，保护气充入系统包括：气体存储装置和加压输送装置；其中，气体存储装置用于存储保护气，加压输送装置用于对保护气进行加压并输入附炉室上端的第一进气口。
6、优选的，真空系统包括：真空泵组、真空室和三通电控阀；其中，三通电控阀的一进气端与设置在主炉室下端的第二进气口连通，另一进气端与设置在附炉室上端的第三进气口连通，出气端与真空室连通；真空泵组与真空室连通。
7、优选的，碳化硅棒加热组件包括：固定结构和主体；其中，固定结构一端与主炉室的侧壁固定连接，另一
8、主体内部设置有容纳腔，底部插接设置有落料盒；上端面和侧面开设有多个通风口；在容纳腔的两端设置有碳化硅棒的连接座。
9、优选的，固定结构配置为可伸缩结构。
10、优选的，在附炉室内位于第一进气口和第三进气口下方均布设置有多个布风板；布风板中部开设可容拉晶头穿过的通孔。
11、优选的，拉晶炉，还包括：纯化回收模块，与真空室连通，用于对保护气进行纯化回收。
12、优选的，纯化回收模块包括：依次配置的过滤单元、除氧单元、干燥单元和脱氮单元；其中，过滤单元去除回收气体中的颗粒杂质；除氧单元用于采用催化氧化工艺去除回收气体中的氧气；干燥单元用于去除回收气体中的水汽；脱氮单元用于去除回收气体中的氮气。
13、本专利技术还提供一种高效调节拉晶炉内氧气浓度的方法，应用于上述任一拉晶炉；包括：
14、在将材料放置到坩埚内且关闭主炉室的舱门后，控制真空系统工作对主炉室和附炉室内的空气进行真空处理；
15、当真空处理完成后，通过保护气充入系统向主炉室和附炉室内充入保护气；
16、在保护气通过过程中控制碳化硅棒加热组件工作。
17、本专利技术的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本专利技术而了解。本专利技术的目的和其他优点可通过在所写的说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
18、下面通过附图和实施例，对本专利技术的技术方案做进一步的详细描述。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种拉晶炉，包括：主炉室、附炉室、拉晶头、坩埚、真空系统和保护气充入系统；其特征在于，还包括：
2.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，碳化硅棒加热组件设置为多个且均布设置在坩埚外周。
3.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，保护气充入系统包括：气体存储装置和加压输送装置；其中，气体存储装置用于存储保护气，加压输送装置用于对保护气进行加压并输入附炉室上端的第一进气口。
4.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，真空系统包括：真空泵组、真空室和三通电控阀；其中，三通电控阀的一进气端与设置在主炉室下端的第二进气口连通，另一进气端与设置在附炉室上端的第三进气口连通，出气端与真空室连通；真空泵组与真空室连通。
5.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，碳化硅棒加热组件包括：固定结构和主体；其中，固定结构一端与主炉室的侧壁固定连接，另一端与主体固定连接；
6.如权利要求5所述的拉晶炉，其特征在于，固定结构配置为可伸缩结构。
7.如权利要求5所述的拉晶炉，其特征在于，在附炉室内位于第一进气口和第三进气口下方均布设
8.如权利要求5所述的拉晶炉，其特征在于，还包括：纯化回收模块，与真空室连通，用于对保护气进行纯化回收。
9.如权利要求8所述的拉晶炉，其特征在于，纯化回收模块包括：依次配置的过滤单元、除氧单元、干燥单元和脱氮单元；其中，过滤单元去除回收气体中的颗粒杂质；除氧单元用于采用催化氧化工艺去除回收气体中的氧气；干燥单元用于去除回收气体中的水汽；脱氮单元用于去除回收气体中的氮气。
10.一种高效调节拉晶炉内氧气浓度的方法，应用于如权利要求1至9任一项所述的拉晶炉；其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种拉晶炉，包括：主炉室、附炉室、拉晶头、坩埚、真空系统和保护气充入系统；其特征在于，还包括：
2.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，碳化硅棒加热组件设置为多个且均布设置在坩埚外周。
3.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，保护气充入系统包括：气体存储装置和加压输送装置；其中，气体存储装置用于存储保护气，加压输送装置用于对保护气进行加压并输入附炉室上端的第一进气口。
4.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，真空系统包括：真空泵组、真空室和三通电控阀；其中，三通电控阀的一进气端与设置在主炉室下端的第二进气口连通，另一进气端与设置在附炉室上端的第三进气口连通，出气端与真空室连通；真空泵组与真空室连通。
5.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，碳化硅棒加热组件包括：固定结构和主体；其中，固定结构一端与主炉室的侧壁固定...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈丽芳，陈健，王泽东，
申请(专利权)人：曲靖阳光新能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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