【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉,特别涉及一种坩埚。
技术介绍
1、随着n型电池片,尤其是隧穿氧化层钝化接触太阳能电池(tunnel oxidepassivated contact solar cell,topcon)快速放量,n型硅片需求大幅提升。而n型硅片对晶体品质和氧碳含量要求较高,要求更高的少子寿命和更低的氧含量。但在拉制单晶的过程中,常会出现氧含量超标不合格的现象,会导致出现同心圆、黑心片等不合格的硅片,进而降低了电池的转换效率。
2、硅片中的氧主要来源于石英坩埚在加热的过程与硅液发生反应,致使氧融入到硅当中,降低单晶内的氧含量可有效提高单晶及电池片的品质。但是目前使用的碳碳坩埚制备的单晶并不能满足低氧的需求。
技术实现思路
1、有鉴于此,本技术提供一种坩埚,用以解决坩埚不能提供降氧功能,导致拉制单晶的效率不高的问题。
2、为解决上述技术问题,本技术提供一种坩埚,应用于单晶炉,坩埚包括:
3、埚体,包括形成为具有上端开口和下端开口的筒状埚邦以及设置在埚邦的底部以密封埚邦的下端开口的埚底,埚体为碳碳材质;
4、多个气流加速组件,设置在埚邦的外侧壁上,气流加速组件为中空的结构,包括进气口、出气口和连通进气口和出气口的纵向气流通道,进气口邻近埚邦的上端开口,出气口邻近埚底,进气口的口径面积小于出气口的口径面积。
5、在本技术的一个实施例中,气流加速组件包括:
6、直筒部,直筒部纵向布置且上端直径等于下端直径,直筒部的上端形
7、扩展部,扩展部纵向布置且上端直径小于下端直径,扩展部的上端与直筒部的下端连接,扩展部的下端形成出气口。
8、在本技术的一个实施例中,扩展部的直径从上端到下端逐渐递增。
9、在本技术的一个实施例中,扩展部的直径变化率从上端到下端保持相等或逐渐递增。
10、在本技术的一个实施例中,多个气流加速组件沿埚邦的周向均匀的布置在埚邦的外周上。
11、在本技术的一个实施例中,直筒部贴附于埚邦的外侧壁上且上端与埚邦的上端开口齐平,下端与埚邦的下端开口齐平。
12、在本技术的一个实施例中,扩展部的高度小于埚底的高度。
13、在本技术的一个实施例中,直筒部和扩展部为一体成型。
14、在本技术的一个实施例中,气流加速组件为碳碳材质。
15、在本技术的一个实施例中,气流加速组件与埚体一体成型。
16、本技术的上述技术方案的有益效果如下:
17、本技术实施例的坩埚,通过在埚邦的外周壁设置多个气流加速组件,气流加速组件的进气口的口径面积小于出气口的口径面积,实现了对进气口位置处的气流速度进行加速,进气口邻近埚邦的上端开口,通过气流加速组件,可以实现对埚邦上端开口处熔融硅液表面的附近的气流加速,从而可以降低熔融硅液表面的氧含量,从而对拉制的单晶硅实现降氧功能。相对于传统碳碳坩埚不能提供降氧功能,导致拉制单晶效率不高,本技术可以在埚邦加热时提高埚体内硅液表面的气体的流通速度,有效降低单晶内的氧含量,进一步提升拉晶效率。
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1.一种坩埚,应用于单晶炉,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的坩埚,其特征在于,所述气流加速组件包括:
3.根据权利要求2所述的坩埚,其特征在于,所述扩展部的直径从上端到下端逐渐递增。
4.根据权利要求3所述的坩埚,其特征在于,所述扩展部的直径变化率从上端到下端保持相等或逐渐递增。
5.根据权利要求2-4任一项所述的坩埚,其特征在于,多个所述气流加速组件沿所述埚邦的周向均匀的布置在所述埚邦的外周上。
6.根据权利要求5所述的坩埚,其特征在于,所述直筒部贴附于所述埚邦的外侧壁上且上端与所述埚邦的上端开口齐平,下端与所述埚邦的下端开口齐平。
7.根据权利要求6所述的坩埚,其特征在于,所述扩展部的高度小于所述埚底的高度。
8.根据权利要求2所述的坩埚,其特征在于,所述直筒部和所述扩展部为一体成型。
9.根据权利要求1所述的坩埚,其特征在于,所述气流加速组件为碳碳材质。
10.根据权利要求1所述的坩埚,其特征在于,所述气流加速组件与所述埚体一体成型。
【技术特征摘要】
1.一种坩埚,应用于单晶炉,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的坩埚,其特征在于,所述气流加速组件包括:
3.根据权利要求2所述的坩埚,其特征在于,所述扩展部的直径从上端到下端逐渐递增。
4.根据权利要求3所述的坩埚,其特征在于,所述扩展部的直径变化率从上端到下端保持相等或逐渐递增。
5.根据权利要求2-4任一项所述的坩埚,其特征在于,多个所述气流加速组件沿所述埚邦的周向均匀的布置在所述埚邦的外周上。
6.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨超,宋克冉,杨西虎,颜玉峰,孙须良,
申请(专利权)人:曲靖晶澳光伏科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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