【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种抛光液供液自动切换系统，属于硅片生产加工。
技术介绍
1、随着生产现场产品的不断更新迭代，加工产品呈现多样化趋势，抛光机在进行硅片抛光加工时，按照当初机台选型时所规定的加工能力已经不能满足实际的生产需求。根据抛光机的出厂设定工况，每个抛光桌面指定一种类型的抛光液，这会导致机台加工产品单一，如果要实现一机多用，进行两种以上产品的加工时，只能在原有的一对一的抛光液供液系统中按照加工产品的工艺要求进行抛光液的更换，这不但影响生产效率，而且抛光液的混合污染对加工产品有着致命的伤害，特别容易造成工艺异常，出现产品质量问题。如何实现一台抛光机在不停机且不会造成工艺污染的情况下加工多种产品的问题急需解决，因此专利技术一种抛光液自动切换系统，以满足上述生产需求。
技术实现思路
1、鉴于上述问题，本专利技术提供一种抛光液供液自动切换系统，以解决现有技术存在的问题，实现一台抛光机加工不同种类产品的功能，改变了抛光机单一加工的缺陷，实现一机多用。
2、为实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、一种抛光液供液自动切换系统，包括两组抛光液液站、三个抛光机桌面、两端分别与抛光液液站和抛光机桌面相连接的供液管路及阀门，该系统中第一组抛光液液站包括粗抛液a与精抛液a两个供液储液装置，第二组抛光液液站包括粗抛液b、精抛液b及精抛液c三个供液储液装置；
4、当加工第一种产品时，使用第一组抛光液液站给抛光机供液，此时第一组抛光液液站的粗抛液a供给抛光机桌面t
5、当加工第二种产品时，使用第二组抛光液液站给抛光机供液，此时第二组抛光液液站的粗抛液b供给抛光机桌面tb1，精抛液b供给抛光机桌面tb2和tb1，精抛液c供给抛光机桌面tb3，第一组抛光液液站不给抛光机供液；
6、两组抛光液液站的各供液管路均设有抛光液循环支路，在各供液管路不给抛光机供液的情况下进行抛光液内循环动作。
7、进一步地，粗抛液a的供液管路包括到抛光机桌面tb1方向的第一供液支路和到抛光机桌面tb2方向的第二供液支路；粗抛液a通过供液泵从粗抛液a供液储液装置输出，依次经过第一手动控制阀、供液泵、过滤器进入第一供液支路，然后经过第二手动控制阀、第一气动控制阀、第二气动控制阀和第三手动控制阀进入抛光机桌面tb1；
8、粗抛液a通过供液泵从粗抛液a供液储液装置输出，依次经过第一手动控制阀、供液泵、过滤器进入第二供液支路，然后再经过第二手动控制阀、第一气动控制阀、第二气动控制阀和第三手动控制阀进入抛光机桌面tb2；
9、精抛液a通过供液泵从精抛液a供液储液装置输出，依次经过第一手动控制阀、供液泵、过滤器、第二手动控制阀、第一气动控制阀、第二气动控制阀和第三手动控制阀进入抛光机桌面tb3。
10、进一步地，所述第一组抛光液液站的粗抛液a供液储液装置到抛光机桌面之间设有粗抛液a回液管路，该粗抛液a回液管路从抛光机桌面tb1和tb2引出，粗抛液a回液管路上设有转换阀，粗抛液a从抛光机桌面tb1和tb2流出后经过转换阀进入粗抛液a排放管道排走或进入粗抛液a回液管路流到粗抛液a供液储液装置。
11、其中，所述转换阀用于在抛光机加工初级阶段将从抛光机桌面tb1和tb2流出的粗抛液a与纯水混合液排入排放管道；待初级加工阶段结束后，将纯的粗抛液a排入回收管道实现粗抛液的回收。
12、进一步地，粗抛液b通过供液泵从粗抛液b供液储液装置输出，依次经过第一手动控制阀、供液泵、过滤器、第二手动控制阀、第一气动控制阀、第二气动控制阀和第三手动控制阀进入抛光机桌面tb1；
13、精抛液b的供液管路包括到抛光机桌面tb1方向的第一供液支路和到抛光机桌面tb2方向的第二供液支路；精抛液b通过供液泵从精抛液b供液储液装置输出，依次经过第一手动控制阀、供液泵、过滤器、第二手动控制阀、第一气动控制阀进入第一供液支路，然后再经过第二气动控制阀和第三手动控制阀进入抛光机桌面tb1；
14、精抛液b通过供液泵从精抛液b供液储液装置输出，依次经过第一手动控制阀、供液泵、过滤器、第二手动控制阀、第一气动控制阀进入第二供液支路，然后再经过第二气动控制阀和第三手动控制阀进入抛光机桌面tb2；
15、精抛液c通过供液泵从精抛液c供液储液装置输出，依次经过第一手动控制阀、供液泵、过滤器、第二手动控制阀、第一气动控制阀、第二气动控制阀、和第三手动控制阀进入抛光机桌面tb3。
16、进一步地，所述抛光液循环支路设在供液管路供液泵出口与抛光液供液储液装置之间，在循环支路上设有手动控制阀。
17、进一步地，精抛液供液储液装置到抛光机桌面之间不再设有精抛液回液管路，抛光机桌面tb3设有排液管路，精抛液在抛光机桌面tb3随着加工直接排走；当抛光机桌面tb2供给精抛液b时，精抛液b通过转换阀排入排放管道。
18、进一步地，所述第二组抛光液液站供液时，抛光机桌面tb1供给粗抛液b和精抛液b两种抛光液，抛光机桌面tb1设有排液管路，在加工时粗抛液b和精抛液b通过转换阀排入排放管道。
19、本专利技术的有益效果：
20、本专利技术的抛光液供液自动切换系统具有两组抛光液液站，根据现场实际加工产品，目前两组抛光液单独使用便可以满足生产需求，当加工第一种产品时，使用第一组抛光液液站给抛光机供液，第二组抛光液液站进行抛光液的内循环；当加工第二种产品时，使用第二组抛光液液站给抛光机供液，第一组抛光液液站进行抛光液的内循环。两组液站可自动进行供液系统的切换，实现在不停机的情况下，随时切换加工产品，提高了机台效率，同时避免产品出现工艺异常导致的质量下降问题。
21、当一组抛光液液站进行供液时，该组液站供液管路上的阀门打开，循环支路阀门关闭，另一组不供液的抛光液液站只有循环支路阀门打开，进行抛光液内循环动作，而供液管路上的阀门是关闭的。每组抛光液液站的供液管路上，在供液泵之后均设有多级阀门控制，能保证不供液的那一组液站不会因为供液管路阀门损坏而造成抛光液的供给混液问题。
22、本专利技术的抛光液供液自动切换系统，还满足两组抛光液液站同时工作，根据工艺要求设定，例如使用第一组抛光液液站粗抛液a供液储液装置给抛光机桌面tb1供给粗抛液a，使用第二组抛光液液站精抛液b供液储液装置给抛光机桌面tb2供给精抛液b，使用第一组抛光液液站精抛液a供液储液装置给抛光机桌面tb3供给精抛液a，根据此工艺能实现第三种产品的加工生产。因此，本专利技术所提供的技术方案能够实现大于两种产品的加工工况，满足产线多产品生产要求。
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1.一种抛光液供液自动切换系统，其特征在于：所述抛光液供液自动切换系统包括两组抛光液液站、三个抛光机桌面、两端分别与抛光液液站和抛光机桌面相连接的供液管路及阀门，该系统中第一组抛光液液站（5）包括粗抛液A与精抛液A两个供液储液装置，第二组抛光液液站（6）包括粗抛液B、精抛液B及精抛液C三个供液储液装置；
2.根据权利要求1所述的抛光液供液自动切换系统，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的抛光液供液自动切换系统，其特征在于：所述第一组抛光液液站（5）的粗抛液A供液储液装置（20）到抛光机桌面之间设有粗抛液A回液管路，该粗抛液A回液管路从抛光机桌面TB1和TB2引出，粗抛液A回液管路上设有转换阀，粗抛液A从抛光机桌面TB1和TB2流出后经过转换阀进入粗抛液A排放管道排走或进入粗抛液A回液管路流到粗抛液A供液储液装置。
4.根据权利要求3所述的抛光液供液自动切换系统，其特征在于：所述转换阀用于在抛光机加工初级阶段将从抛光机桌面TB1和TB2流出的粗抛液A与纯水混合液排入排放管道；待初级加工阶段结束后，将纯的粗抛液A排入回收管道实现粗抛液的回收。p>
5.根据权利要求1所述的抛光液供液自动切换系统，其特征在于：
6.根据权利要求1所述的抛光液供液自动切换系统，其特征在于：所述抛光液循环支路设在供液管路供液泵出口与抛光液供液储液装置之间，在循环支路上设有手动控制阀。
7.根据权利要求2或5所述的抛光液供液自动切换系统，其特征在于：精抛液供液储液装置到抛光机桌面之间不再设有精抛液回液管路，抛光机桌面TB3设有排液管路，精抛液在抛光机桌面TB3随着加工直接排走；当抛光机桌面TB2供给精抛液B时，精抛液B通过转换阀排入排放管道。
8.根据权利要求1或5所述的抛光液供液自动切换系统，其特征在于：所述第二组抛光液液站供液时，抛光机桌面TB1供给粗抛液B和精抛液B两种抛光液，抛光机桌面TB1设有排液管路，在加工时粗抛液B和精抛液B通过转换阀排入排放管道。
...【技术特征摘要】
1.一种抛光液供液自动切换系统，其特征在于：所述抛光液供液自动切换系统包括两组抛光液液站、三个抛光机桌面、两端分别与抛光液液站和抛光机桌面相连接的供液管路及阀门，该系统中第一组抛光液液站（5）包括粗抛液a与精抛液a两个供液储液装置，第二组抛光液液站（6）包括粗抛液b、精抛液b及精抛液c三个供液储液装置；
2.根据权利要求1所述的抛光液供液自动切换系统，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的抛光液供液自动切换系统，其特征在于：所述第一组抛光液液站（5）的粗抛液a供液储液装置（20）到抛光机桌面之间设有粗抛液a回液管路，该粗抛液a回液管路从抛光机桌面tb1和tb2引出，粗抛液a回液管路上设有转换阀，粗抛液a从抛光机桌面tb1和tb2流出后经过转换阀进入粗抛液a排放管道排走或进入粗抛液a回液管路流到粗抛液a供液储液装置。
4.根据权利要求3所述的抛光液供液自动切换系统，其特征在于：所述转换阀用于在抛光机加工初级阶段将从抛光机桌面t...
【专利技术属性】
技术研发人员：张荣彬，陈信，邵秋生，蒙德强，于兴瑞，程怀璋，王玥，张清洋，
申请(专利权)人：山东有研艾斯半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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