System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 硒化锌基底镀制DLC膜层的制备方法技术_技高网

硒化锌基底镀制DLC膜层的制备方法技术

技术编号:44425689 阅读:0 留言:0更新日期:2025-02-28 18:39
一种硒化锌基底镀制DLC膜层的制备方法包括步骤:S1,镀前镜片清洁;S2,镜片放入工装夹具,挂入腔体内,腔体的温度设定为130℃;S3,真空镀膜机启动,抽真空并腔体加热,真空度达到1.5×10<supgt;‑3</supgt;Pa且腔体的温度达到设定温度时,打开真空镀膜机的霍尔离子源进行清洗;S4,真空度达到1.0×10<supgt;‑3</supgt;Pa时,在镜片的需要镀制DLC膜层的面上依次镀制251nmGe/211nmZnS/667.6nmGe构成的介质层,均采用离子源辅助沉积且在腔体的设定温度下沉积;S5,镀制介质层完成后,腔体自然降温冷却,将工装夹具连同镜片取出;S6,检查产品的介质层的光洁度;S7,将陪镀片和光洁度检测合格的产品置于碳膜机的底板上;S8,碳膜机RF离子源进行清洗;S9,碳膜机镀制DLC膜层;S10,冷却,开门取出镜片。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及光学镀膜领域,更具体地涉及一种硒化锌基底镀制dlc膜层的制备方法。


技术介绍

1、硒化锌(znse)是一种非常好的红外材料,透光范围宽,对红外波长具有低吸收性,并可透射可见光,是制作红外透镜、窗口、输出耦合镜和扩束镜的优质材料,从0.5μm一直透到19μm,具有良好的成像特性和热冲击特性,由于硒化锌镜片用来做窗口片,需具备在恶劣环境下长时间正常的能力,如大气高速飞行、抗击异物摩擦、在阴雨潮湿天气抵抗雨水的浸泡及腐蚀等等。类金刚石(dlc)膜很好地解决了这些问题,但硒化锌基底直接镀制dlc膜层附着力较差。


技术实现思路

1、鉴于
技术介绍
中存在的问题,本公开的一目的在于提供一种硒化锌基底镀制dlc膜层的制备方法,其制备的硒化锌基底的陪镀片连同对应面上的含dlc膜层的膜系在8-12μm波段的单面透过率平均大于77.5%。

2、本公开的另一目的在于提供一种硒化锌基底镀制dlc膜层的制备方法,其制备的硒化锌基底的连同对应面上的含dlc膜层的膜系能够满足作为窗口片在各种恶劣环境下的使用、满足应用端的要求。

3、由此,一种硒化锌基底镀制dlc膜层的制备方法包括步骤:s1,镀前针对作为镜片的硒化锌基底的陪镀片和产品的需要镀制dlc膜层的面进行清洁;s2,将清洁处理好的镜片放入工装夹具,放好镜片的工装夹具挂入真空镀膜机的腔体内,腔体的温度设定为130℃;s3,真空镀膜机启动,抽真空并腔体加热,真空度达到1.5×10-3pa且腔体的温度达到设定温度时,打开真空镀膜机的霍尔离子源进行清洗,清洗时间为6min,霍尔离子源的阳极电压为220v、阳极电流为1.2-1.5a、中和电流为1.3-1.5a、中和气流量为10sccm、氩气流量占比为100%;s4,真空度达到1.0×10-3pa时,在镜片的需要镀制dlc膜层的面上依次镀制251nmge/211nmzns/667.6nmge构成的介质层,其中,ge、zns前的带有nm的数字为对应膜层的厚度,ge膜层采用电子束蒸发,zns膜层采用电阻加热蒸发,ge膜层的沉积速率为0.4nm/s,zns的沉积速率为0.6nm/s,介质层的各膜层均采用离子源辅助沉积且在腔体的设定温度下沉积;s5,镀制介质层完成后,腔体自然降温冷却至80℃以下,将工装夹具连同镜片取出;s6,将镀制好介质层的镜片取出,检查产品的介质层的光洁度;s7,将陪镀片和光洁度检测合格的产品以介质层向上置于碳膜机的底板上;s8,碳膜机抽真空达到1.2×10-3pa时,碳膜机开始rf离子源进行清洗,清洗时间3min,rf离子源的氩气流量为20sccm、功率为600-700w;s9,碳膜机真空达到8.0×10-4pa开始镀制dlc膜层,甲烷气体流量为160sccm,氩气流量为10sccm,rf电源的功率为1000w,沉积时间为3800s,dlc膜层的厚度为1200nm;s10,镀制dlc膜层完成后,碳膜机冷却50-60min,开门取出镜片。

4、本公开的有益效果如下:在根据本公开的硒化锌基底镀制dlc膜层的制备方法中,通过步骤s1至步骤s10、通过251nmge/211nmzns/667.6nmge构成的介质层打底来进行硒化锌基底的1200nmdlc膜层镀制,如测试过程所验证地,硒化锌基底的陪镀片连同对应面上的含dlc膜层的膜系(即介质层加dlc膜层)不仅能够实现在8-12μm波段的单面透过率平均大于77.5%(具体为77.81%),而且通过水泡试验、盐雾试验、粘接力试验、冷热冲击试验、恒温恒湿试验、恒温恒湿试验、耐摩擦试验(中度摩擦试验)、低温试验和高温试验,从而能够满足作为窗口片在各种恶劣环境下的使用,满足应用端的要求。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种硒化锌基底镀制DLC膜层的制备方法,其特征在于,包括步骤:

2.据权利要求1所述的硒化锌基底镀制DLC膜层的制备方法,其特征在于,

3.根据权利要求2所述的硒化锌基底镀制DLC膜层的制备方法,其特征在于,

4.根据权利要求1所述的硒化锌基底镀制DLC膜层的制备方法,其特征在于,

5.根据权利要求1所述的硒化锌基底镀制DLC膜层的制备方法,其特征在于,

6.根据权利要求1所述的硒化锌基底镀制DLC膜层的制备方法,其特征在于,

7.根据权利要求1所述的硒化锌基底镀制DLC膜层的制备方法,其特征在于,在步骤S4中,

8.根据权利要求1所述的硒化锌基底镀制DLC膜层的制备方法,其特征在于,

9.根据权利要求1所述的硒化锌基底镀制DLC膜层的制备方法,其特征在于,

10.根据权利要求1所述的硒化锌基底镀制DLC膜层的制备方法,其特征在于,

【技术特征摘要】

1.一种硒化锌基底镀制dlc膜层的制备方法,其特征在于,包括步骤:

2.据权利要求1所述的硒化锌基底镀制dlc膜层的制备方法,其特征在于,

3.根据权利要求2所述的硒化锌基底镀制dlc膜层的制备方法,其特征在于,

4.根据权利要求1所述的硒化锌基底镀制dlc膜层的制备方法,其特征在于,

5.根据权利要求1所述的硒化锌基底镀制dlc膜层的制备方法,其特征在于,

6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员:梁献波刘梦佳刘克武
申请(专利权)人:安徽光智科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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