【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体领域，具体涉及一种电加热尾气处理系统。
技术介绍
1、废气处理装置的主要作用是处理和净化产生的废气，以减少对环境和人类健康的负面影响。这些装置通常用于工业生产、半导体厂、光伏厂，等废气处理设施等地方，工作原理是：先开启加热棒对反应腔内进行加热，当反应腔内温度达到工作温度时，将需要处理的废气送进反应腔内并通入氧气与其进行反应，当充分反应后，再将反应产物送进水箱内进行水洗处理，以确保后期排放的气体能符合环境法规和标准。
2、这种废气处理装置存在如下的缺陷：1.由于半导体工厂cvd、d i ff、i mp及清洗制程废气中含有大量氟离子及腐蚀性气体，对于现有不锈钢材质的反应腔有很强腐蚀，如果腐蚀损坏，需要更换整个反应腔，成本太高。2.加热棒位于反应腔内，与废气中含有的氟离子及腐蚀性气体直接接触，容易被腐蚀，维护保养周期短，加热棒工作寿命短。
技术实现思路
1、基于此，针对上述问题，本专利技术提供了一种电加热尾气处理系统。
2、本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
3、一种电加热尾气处理系统，包括水箱、和固定在水箱上的水洗塔和反应腔，所述水洗塔和反应腔的底部都与水箱相通，所述反应腔内部设有内衬罩，所述内衬罩内设有温度调节机构，所述反应腔的内壁与内衬罩外壁之间形成环绕内衬罩的废气通道，所述反应腔的顶部连接有与废气通道相通的进气口，在内衬罩内设于将温度调节机构包裹住的导热部件，在内衬罩上连接有与外部气源连接的进气管，在内衬罩上开有通气
4、采用上述技术方案，由于氮化铝为一种新型陶瓷材料，具有优良的热传导性、无毒、耐腐蚀以及与硅相匹配的热膨胀系数。这样，反应腔、内衬罩以及进气口均采用氮化铝材料制成具有耐腐蚀，延长使用寿命。而且氮化铝制成的内衬罩发热面的热均匀，可以减少因温度调节机构产生热量而引起的膨胀开裂，从而延长内衬罩的使用寿命。氮化铝的反应腔提高了的整体承载能力，增加了结构强度且不易开裂。此外，导热部件将温度调节机构包裹住，当温度调节机构产生热量时，利用氮化铝超高导热系数，能够使反应腔与内衬罩同步升温，快速达到工作温度，同时，避免了温度调节机构直接与废气接触，从而延长了温度调节机构的使用寿命。
5、在本专利技术具体实施方式中：所述反应腔、内衬罩以及进气口均采用将氮化铝粉末和粘合剂以质量比100:3～8均匀混合后分别加入对应模具内，并逐步施加压力到100～300mpa压制2～3分钟形成胚体，再通过1600℃～1800℃温度烧制2～10小时成型。
6、在本专利技术具体实施方式中：所述粘合剂采用甲苯和石蜡以重量比为3～5：1均匀混合。
7、在本专利技术具体实施方式中：所述温度调节机构采用加热盘管。
8、在本专利技术具体实施方式中：所述导热部件采用将氮化铝粉末加入对应模具内，并逐步施加压力到100～300mpa压制2～3分钟形成胚体，再通过1600℃～1800℃温度烧制2～10小时成型。
9、在本专利技术具体实施方式中：所述反应腔的壁厚为18mm～20mm，所述内衬罩的壁厚为12mm～13mm。
10、在本专利技术具体实施方式中：所述水洗塔内从上到下间隔设置有第一喷淋系统和第二喷淋系统，所述水洗塔顶部开有出气口。
11、在本专利技术具体实施方式中：所述反应腔外部套设有壳体，在壳体上套有保温套。
12、在本专利技术具体实施方式中：所述水箱的侧部连接有排水管。
13、综上所述，本专利技术中反应腔、内衬罩、进气口以及导热部件均采用氮化铝制成耐腐蚀，延长使用寿命。而且氮化铝制成的内衬罩和反应腔提高了整体承载能力，增加了结构强度且不易开裂。另外，导热部件将加热盘管包裹住，不仅避免了加热盘管直接与废气接触，延长加热盘管使用寿命，而且导热性能好，使反应腔与内衬罩同步升温，能快速达到工作温度。
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1.一种电加热尾气处理系统，包括水箱、水洗塔以及反应腔，所述水洗塔和反应腔的底部都与水箱相通，所述反应腔内部设有内衬罩，所述内衬罩内设有温度调节机构，所述反应腔的内壁与内衬罩外壁之间形成环绕内衬罩的废气通道，所述反应腔的顶部连接有与废气通道相通的进气口，其特征在于，在内衬罩内设于将温度调节机构包裹住的导热部件，在内衬罩上连接有与外部气源连接的进气管，在内衬罩上开有通气孔，所述导热部件内具有将通气孔和进气管相连通的气道，所述反应腔、内衬罩、进气口以及导热部件均采用氮化铝材质。
2.根据权利要求1所述的电加热尾气处理系统,其特征在于，所述反应腔、内衬罩以及进气口均采用将氮化铝粉末和粘合剂以质量比100:3～8均匀混合后分别加入对应模具内，并逐步施加压力到100～300MPa压制2～3分钟形成胚体，再通过1600℃～1800℃温度烧制2～10小时成型。
3.根据权利要求2所述的电加热尾气处理系统,其特征在于，所述粘合剂采用甲苯和石蜡以重量比为3～5：1均匀混合。
4.根据权利要求1所述的电加热尾气处理系统,其特征在于，所述温度调节机构采用加热盘管。<...
【技术特征摘要】
1.一种电加热尾气处理系统，包括水箱、水洗塔以及反应腔，所述水洗塔和反应腔的底部都与水箱相通，所述反应腔内部设有内衬罩，所述内衬罩内设有温度调节机构，所述反应腔的内壁与内衬罩外壁之间形成环绕内衬罩的废气通道，所述反应腔的顶部连接有与废气通道相通的进气口，其特征在于，在内衬罩内设于将温度调节机构包裹住的导热部件，在内衬罩上连接有与外部气源连接的进气管，在内衬罩上开有通气孔，所述导热部件内具有将通气孔和进气管相连通的气道，所述反应腔、内衬罩、进气口以及导热部件均采用氮化铝材质。
2.根据权利要求1所述的电加热尾气处理系统,其特征在于，所述反应腔、内衬罩以及进气口均采用将氮化铝粉末和粘合剂以质量比100:3～8均匀混合后分别加入对应模具内，并逐步施加压力到100～300mpa压制2～3分钟形成胚体，再通过1600℃～1800℃温度烧制2～10小时成型。
3.根据权利要求2所述的电加热尾气处理系统,其特征在于，所述粘合剂采用甲苯和石蜡以重...
【专利技术属性】
技术研发人员：马东，洪梦华，时昌杰，殷正壮，赵薇薇，
申请(专利权)人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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