System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种单晶炉管道清洁装置制造方法及图纸_技高网

一种单晶炉管道清洁装置制造方法及图纸

技术编号:44413027 阅读:2 留言:0更新日期:2025-02-25 10:27
本发明专利技术属于管道清洁技术领域,具体的说是一种单晶炉管道清洁装置,包括密封环管,所述密封环管固定安装于管道顶端的正下方,密封环管的底部固定安装有架板,架板的内壁固定安装有旋转气缸,架板的内部转动连接有伸缩气缸;通过当控机按钮接触到管道内壁时,触位杆停止移动,此时挤块挤压同位块向外移动,同位块向外移动时推动卡块在限滑盒内向上移动,从而带动推块从校滑板内壁滑出,当推块完成从校滑板内滑出时,推块失去滑轴的限位力,在复位弹簧弹性力的作用下,推块便会带动轴杆和触位杆复位,通过复位调节清灰刀和轴杆的位置,可使本装置与管口内壁保持一定的距离,防止高温对本装置的侵蚀,提高本装置的安全性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于管道清洁,具体的说是一种单晶炉管道清洁装置


技术介绍

1、单晶炉管道系统通常包括排气管道、抽真空装置(如干泵和软管)、漏流检测装置等组件。排气管道系统通过将单晶炉内的气体排出,实现抽真空功能,并且可以通过调节干泵电源频率来调整抽真空功率,从而提高抽真空的精度和效率。此外,排气管道上还安装有温度报警器,用于监测排气管内的温度和硅液漏流情况。

2、单晶炉管道清洁装置是一种用于清理单晶炉内管道的设备,其主要目的是清除沉积在管道内的挥发物、粉尘和其他杂质,以确保单晶炉的正常运行和提高产品质量。

3、在单晶炉的停炉拆清过程中,氧化物的堆积会堵塞主真空管道与炉底盘连接处的排气口,影响拉晶过程中的抽空,现有技术通过摆动气缸进行摆动运动清理氧化物,但是由于清理动作需要伸入炉室内,因此在拉晶过程中,热场带来的高温会对管道清洁装置带来损伤,影响其使用寿命,并且现有技术单一的直线运动对于堆积已久的氧化物的清洁不全面,效率低,同时现有技术需要使用较多高温材料,成本较高。

4、为此,本专利技术提供一种单晶炉管道清洁装置。


技术实现思路

1、为了弥补现有技术的不足,解决
技术介绍
中所提出的至少一个技术问题。

2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:本专利技术所述的一种单晶炉管道清洁装置,包括密封环管,所述密封环管固定安装于管道顶端的正下方,密封环管的底部固定安装有架板,架板的底端固定安装有旋转气缸,架板的内部转动连接有伸缩气缸,旋转气缸的输出端与伸缩气缸的底部固定连接,伸缩气缸的输出端固定安装有转位杆,转位杆的外壁固定安装有隔离盘,隔离盘的外壁与密封环管的内壁转动连接,转位杆的顶部固定安装有除物箱,除物箱的顶部固定安装有环箱,环箱的顶部设置有多个碎物盒,多个碎物盒的外部均设置有清灰刀,除物箱的内部设置有除渣机构,除渣机构包括真空抽尘器,除渣机构用于带动真空抽尘器将清灰刀清洁下的氧化物进行收集输送出管道外,环箱的内部设置有衡距机构,衡距机构包括轴杆,衡距机构用于带动轴杆对管道进行衡距测量,使清灰刀贴近管道的同时又使本装置与管道的管壁保持一定距离,多个碎物盒的内部均设置有碎物组件,碎物组件用于对清灰刀清洁下来的氧化物进行破碎;

3、当管道内氧化物需要清理时,通过驱动伸缩气缸将除物箱移动到需要清理的管口的正下方,此时驱动除渣机构用于带动真空抽尘器运作,随后继续驱动伸缩气缸使除物箱继续上移,上移时环箱顶部的清灰刀对管口内的氧化层进行破碎,当氧化层被破碎时,驱动衡距机构带动多个碎物盒和清灰刀进行移动,使清灰刀贴合于管口的内壁,同时衡距机构保证多个碎物盒始终置于清灰刀的侧下方,使碎物盒与管口保持一定的距离,当两者调整完成时,驱动旋转气缸通过转位杆带动除物箱进行转动,使清灰刀对管口的内壁进行刮动清理,当氧化物受到刮动清理掉落下时,氧化物在真空抽尘器的抽动下便会进入到碎物盒内,碎物盒内的碎物组件对进入到碎物盒内的氧化物进行破碎,最终经过除渣机构排到装置外部,通过多个清灰刀对管口的内壁进行转动刮动清理,可加快清洁效率,通过衡距机构使本装置于管口的内壁始终保持一段距离,可防止拉晶过程中,热场带来的高温会对管道清洁装置带来损伤,影响其使用寿命,可极大的保证本装置的安全性,通过除渣机构将清洁下的氧化物输送出管道外,可防止氧化物掉落于管道内,造成堆积影响拉晶效果。

4、优选的,衡距机构还包括衡距电机,衡距电机固定安装于环箱的内壁中间位置,衡距电机的输出端固定安装有矩板,矩板的顶部对称固定安装有多个圆轴,多个圆轴的外壁均转动连接有铰接杆,多个铰接杆的一端均固定安装有滑轴,环箱的内壁固定安装有多个矩盒,多个滑轴分别置于多个矩盒内且多个滑轴的外壁分别与多个矩盒的内壁滑动连接,多个滑轴的两端均与环箱的内壁滑动连接,多个滑轴的顶部分别与多个碎物盒的底部固定连接,多个碎物盒的底部均与环箱的顶部滑动连接,矩板的外壁分别能够与多个矩盒的内壁滑动连接,当需要对管口的内壁进行清洁时,通过驱动衡距电机带动矩板进行转动,矩板在转动时带动铰接杆进行转动,从而推动滑轴在矩盒内滑动,滑轴在移动时带动碎物盒在环箱顶部进行移动,从而带动清灰刀贴合于管口的内壁,便于后续对管口内的氧化物进行刮除,通过多个清灰刀进行移动调整位置,可使本装置适用于不同直径的管口,起到自适应不同尺径管道的作用。

5、优选的,矩盒的内部对称固定安装有校滑板,轴杆的数量有两个,滑轴的外壁与两个校滑板的内侧滑动连接,两个校滑板的内壁均滑动连接有推块,两个推块的外壁分别与两个轴杆的一端固定连接,两个轴杆的外壁分别与两个校滑板的内壁滑动连接,两个推块的一侧与两个校滑板的内壁之间均设置有复位弹簧,复位弹簧置于轴杆的外部,两个轴杆的另一端均固定安装有控机按钮,当滑轴在矩盒内移动时,通过校滑板的限位,滑轴便会在矩盒内推动推块移动,当推块在移动时,推块带动轴杆挤压复位弹簧移动,当轴杆一端的控机按钮接触到管道内壁时,控机按钮控制衡距电机停止驱动,此时,清灰刀贴合于管口的内壁,碎物盒置于清灰刀的侧下方,起到调节清灰刀位置的作用。

6、优选的,两个轴杆的外壁均固定安装有矩块,两个轴杆的另一端外壁均滑动连接有触位杆,两个触位杆的外壁均固定安装有挤块,两个触位杆的一端与两个矩块的一侧之间均设置有承压弹簧,承压弹簧置于轴杆的外部,当轴杆移动时,轴杆带动触位杆移动,当触位杆接触到管口内壁时,触位杆受到反推力,便会挤压承压弹簧向反方向移动,当轴杆端面上的控机按钮接触到管口内壁时,此时,触位杆停止移动,防止轴杆暴露于装置外部,拉晶过程时,热场带来的高温会对轴杆造成损伤,起到保护轴杆的作用。

7、优选的,两个校滑板的外壁均固定安装有限滑盒,两个限滑盒的内壁均滑动连接有卡块,两个卡块的顶端与两个限滑盒的内壁之间均设置有回块弹簧,两个推块的内壁均对称开设有槽口,两个槽口的一端均固定安装有同位块,卡块的外壁分别能够与两个槽口的内壁卡接,两个挤块分别能够与两个同位块的内侧滑动连接,当触位杆反向移动时,触位杆带动挤块移动,当控机按钮接触到管道内壁时,触位杆停止移动,此时挤块通过移动挤压同位块向外移动,同位块向外移动时推动卡块挤压回块弹簧在限滑盒内向上移动,从而带动推块从校滑板内壁滑出,当推块完成从校滑板内滑出时,此时推块便会失去滑轴的限位阻挡力,在复位弹簧弹性力的作用下,推块便会从校滑板的一端滑向另一端,从而带动轴杆和触位杆复位,起到复位轴杆的作用,通过复位调节清灰刀,可使本装置与管口内壁保持一定的距离,防止高温对本装置的侵蚀,提高本装置的安全性。

8、优选的,滑轴的外壁对称固定安装有连接杆,矩盒的内壁对称转动连接有齿轮,矩盒的内壁对称滑动连接有齿杆一和齿杆二,齿轮的齿牙分别能够与齿杆一和齿杆二上的齿牙啮合,两个齿杆二的顶部均固定安装有复块体,两个复块体的内壁分别能够与两个同位块的外壁滑动连接,当清洁完成时,衡距电机带动滑轴进行复位,滑轴便会通过连接杆带动齿杆一移动,齿杆一移动时通过啮合驱动齿轮转动从而带动齿杆二移动,当滑轴移动时,齿杆二移动向本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶炉管道清洁装置,其特征在于:包括密封环管(1),所述密封环管(1)固定安装于管道顶端的正下方,密封环管(1)的底部固定安装有架板(101),架板(101)的底端固定安装有旋转气缸(5),架板(101)的内部转动连接有伸缩气缸(3),旋转气缸(5)的输出端与伸缩气缸(3)的底部固定连接,伸缩气缸(3)的输出端固定安装有转位杆(4),转位杆(4)的外壁固定安装有隔离盘(102),隔离盘(102)的外壁与密封环管(1)的内壁转动连接,转位杆(4)的顶部固定安装有除物箱(2),除物箱(2)的顶部固定安装有环箱(9),环箱(9)的顶部设置有多个碎物盒(6),多个碎物盒(6)的外部均设置有清灰刀(8),除物箱(2)的内部设置有除渣机构,除渣机构包括真空抽尘器(201),除渣机构用于带动真空抽尘器(201)将清灰刀(8)清洁下的氧化物进行收集输送出管道外,环箱(9)的内部设置有衡距机构,衡距机构包括轴杆(76),衡距机构用于带动轴杆(76)对管道进行衡距测量,使清灰刀(8)贴近管道的同时又使本装置与管道的管壁保持一定距离,多个碎物盒(6)的内部均设置有碎物组件,碎物组件用于对清灰刀(8)清洁下来的氧化物进行破碎。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉管道清洁装置,其特征在于:衡距机构还包括衡距电机(13),衡距电机(13)固定安装于环箱(9)的内壁中间位置,衡距电机(13)的输出端固定安装有矩板(10),矩板(10)的顶部对称固定安装有多个圆轴(15),多个圆轴(15)的外壁均转动连接有铰接杆(11),多个铰接杆(11)的一端均固定安装有滑轴(12),环箱(9)的内壁固定安装有多个矩盒(7),多个滑轴(12)分别置于多个矩盒(7)内且多个滑轴(12)的外壁分别与多个矩盒(7)的内壁滑动连接,多个滑轴(12)的两端均与环箱(9)的内壁滑动连接,多个滑轴(12)的顶部分别与多个碎物盒(6)的底部固定连接,多个碎物盒(6)的底部均与环箱(9)的顶部滑动连接,矩板(10)的外壁分别能够与多个矩盒(7)的内壁滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉管道清洁装置,其特征在于:矩盒(7)的内部对称固定安装有校滑板(73),轴杆(76)的数量有两个,滑轴(12)的外壁与两个校滑板(73)的内侧滑动连接,两个校滑板(73)的内壁均滑动连接有推块(74),两个推块(74)的外壁分别与两个轴杆(76)的一端固定连接,两个轴杆(76)的外壁分别与两个校滑板(73)的内壁滑动连接,两个推块(74)的一侧与两个校滑板(73)的内壁之间均设置有复位弹簧(7601),复位弹簧(7601)置于轴杆(76)的外部,两个轴杆(76)的另一端均固定安装有控机按钮(77)。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉管道清洁装置,其特征在于:两个轴杆(76)的外壁均固定安装有矩块(7103),两个轴杆(76)的另一端外壁均滑动连接有触位杆(71),两个触位杆(71)的外壁均固定安装有挤块(7101),两个触位杆(71)的一端与两个矩块(7103)的一侧之间均设置有承压弹簧(7102),承压弹簧(7102)置于轴杆(76)的外部。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉管道清洁装置,其特征在于:两个校滑板(73)的外壁均固定安装有限滑盒(7502),两个限滑盒(7502)的内壁均滑动连接有卡块(75),两个卡块(75)的顶端与两个限滑盒(7502)的内壁之间均设置有回块弹簧(7501),两个推块(74)的内壁均对称开设有槽口(7401),两个槽口(7401)的一端均固定安装有同位块(7402),卡块(75)的外壁分别能够与两个槽口(7401)的内壁卡接,两个挤块(7101)分别能够与两个同位块(7402)的内侧滑动连接。

6.根据权利要求5所述的一种单晶炉管道清洁装置,其特征在于:滑轴(12)的外壁对称固定安装有连接杆(7204),矩盒(7)的内壁对称转动连接有齿轮(72),矩盒(7)的内壁对称滑动连接有齿杆一(7201)和齿杆二(7202),齿轮(72)的齿牙分别能够与齿杆一(7201)和齿杆二(7202)上的齿牙啮合,两个齿杆二(7202)的顶部均固定安装有复块体(7203),两个复块体(7203)的内壁分别能够与两个同位块(7402)的外壁滑动连接。

7.根据权利要求6所述的一种单晶炉管道清洁装置,其特征在于:多个碎物盒(6)的外壁均固定安装有槽块(802),多个清灰刀(8)的底端分别与多个槽块(802)的内壁滑动连接,多个清灰刀(8)的底端与多个槽块(802)的内壁之间均设置有推刀弹簧(803),多个清灰刀(8)的顶部均固定安装有破灰刀(801)。

8.根据权利要求7所述的一种单晶炉...

【技术特征摘要】

1.一种单晶炉管道清洁装置,其特征在于:包括密封环管(1),所述密封环管(1)固定安装于管道顶端的正下方,密封环管(1)的底部固定安装有架板(101),架板(101)的底端固定安装有旋转气缸(5),架板(101)的内部转动连接有伸缩气缸(3),旋转气缸(5)的输出端与伸缩气缸(3)的底部固定连接,伸缩气缸(3)的输出端固定安装有转位杆(4),转位杆(4)的外壁固定安装有隔离盘(102),隔离盘(102)的外壁与密封环管(1)的内壁转动连接,转位杆(4)的顶部固定安装有除物箱(2),除物箱(2)的顶部固定安装有环箱(9),环箱(9)的顶部设置有多个碎物盒(6),多个碎物盒(6)的外部均设置有清灰刀(8),除物箱(2)的内部设置有除渣机构,除渣机构包括真空抽尘器(201),除渣机构用于带动真空抽尘器(201)将清灰刀(8)清洁下的氧化物进行收集输送出管道外,环箱(9)的内部设置有衡距机构,衡距机构包括轴杆(76),衡距机构用于带动轴杆(76)对管道进行衡距测量,使清灰刀(8)贴近管道的同时又使本装置与管道的管壁保持一定距离,多个碎物盒(6)的内部均设置有碎物组件,碎物组件用于对清灰刀(8)清洁下来的氧化物进行破碎。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉管道清洁装置,其特征在于:衡距机构还包括衡距电机(13),衡距电机(13)固定安装于环箱(9)的内壁中间位置,衡距电机(13)的输出端固定安装有矩板(10),矩板(10)的顶部对称固定安装有多个圆轴(15),多个圆轴(15)的外壁均转动连接有铰接杆(11),多个铰接杆(11)的一端均固定安装有滑轴(12),环箱(9)的内壁固定安装有多个矩盒(7),多个滑轴(12)分别置于多个矩盒(7)内且多个滑轴(12)的外壁分别与多个矩盒(7)的内壁滑动连接,多个滑轴(12)的两端均与环箱(9)的内壁滑动连接,多个滑轴(12)的顶部分别与多个碎物盒(6)的底部固定连接,多个碎物盒(6)的底部均与环箱(9)的顶部滑动连接,矩板(10)的外壁分别能够与多个矩盒(7)的内壁滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉管道清洁装置,其特征在于:矩盒(7)的内部对称固定安装有校滑板(73),轴杆(76)的数量有两个,滑轴(12)的外壁与两个校滑板(73)的内侧滑动连接,两个校滑板(73)的内壁均滑动连接有推块(74),两个推块(74)的外壁分别与两个轴杆(76)的一端固定连接,两个轴杆(76)的外壁分别与两个校滑板(73)的内壁滑动连接,两个推块(74)的一侧与两个校滑板(73)的内壁之间均设置有复位弹簧(7601),复位弹簧(7601)置于轴杆(76)的外部,两个轴杆(76)的另一端均固定安装有控机按钮(77)。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉管道清洁装置,其特征在于:两个轴杆(76)的外壁均固定安装有矩块(7103),两个轴杆(76)的另一端外壁均滑动连接有触位杆(71),两个触位杆(71)的外壁均固定安装有挤块(7101),两个触位杆(71)的一端与两个矩块(7103)的一侧之间均设置有承压弹簧(7102),承压弹簧(7102)置于轴杆(76)的外部。

5.根据权利要求4所述的一种单晶...

【专利技术属性】
技术研发人员:曹玉宝薛金鑫李锋伟江佳飞华洪涛王嘉田宇
申请(专利权)人:连城凯克斯科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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