【技术实现步骤摘要】
本申请是有关一种电性测试，特别是指一种用于集成光路的测试装置。
技术介绍
1、利用光子取代电子在集成电路里面进行运算，利用光做为数据传输，并将尺寸缩小到芯片等级是未来无可避免的趋势。集成光路又称作光学电子集成电路(optoelectronic integrated circuits,oeic)，适用于高效能数据交换、长距离互连、5g设施及运算设备等。集成光路与集成电路相同，无论在封装前或封装后都需经过测试，才能进行良品筛选，并且获取各种电气特性参数。然而，目前欠缺能满足客制化设计的集成光路或光子芯片的测试设备。有鉴于此，如何提供一种测试装置，以配合集成光路的设计进行测试实为当下亟需解决的课题。
技术实现思路
1、本申请的目的在提供一种可根据待测试的集成光路的不同设计提供多样化测试型态的测试装置。
2、为达到上述目的，本申请提供的技术方案如下：
3、根据本申请的一个方面，本申请提供一种测试装置，所述测试装置电连接于测试机台，所述集成光路包括至少一光侦测组件及光源模块。所述测试装置包括：电路板，电连接于所述测试机台；底座，设置于所述电路板上，并包括载板及框体，且所述载板包括一承载面，所述框体设置于所述承载面的周围，且所述集成光路设置于所述承载面上；第一光传输组件，设置于所述框体的一侧，并包括第一传输部，且所述第一传输部位于所述承载面的第一垂直层级；以及第二光传输组件，设置于所述框体的另一侧，并包括第二传输部，且所述第二传输部位于所述承载面的第二垂直层级，所述第二
4、较佳地，所述框体包括框壁及盖板，所述盖板设置于所述框壁上，且所述框壁位于所述载板及所述盖板之间。所述第一光传输组件设置于所述框壁上，所述第二光传输组件设置于所述盖板上。
5、较佳地，所述第一光传输组件还包括第一光纤、第一接头及第一连接器，且所述第一连接器设置于所述框壁，所述第一接头固定于所述第一光纤的一端，并可插拔地连接于所述第一连接器。所述第一光纤包括所述第一传输部，所述集成光路包括第一光波导，且所述第一光纤平行并面对于所述第一光波导。
6、较佳地，第一传输部用以传输一测试光信号，且所述测试光信号由所述第一传输部直接射向所述第一光波导，并由所述光侦测组件所侦测，或所述第一传输部用以传输所述光源模块产生的出光信号。
7、较佳地，所述第二光传输组件包括第二光纤、第二接头及第二连接器，所述第二连接器设置于所述盖板与所述框壁之间，所述第二接头固定于所述第二光纤的一端，并可插拔地连接于所述第二连接器，且所述第二光纤包括所述第二传输部，所述第二连接器包括光通道，并且所述集成光路包括第二光波导。所述第二传输部用以传输测试光信号，所述测试光信号由所述集成光路的上方经所述光通道射向所述第二光波导，并由所述光侦测组件所侦测，或所述第二传输部用以传输所述光源模块产生的出光信号。
8、较佳地，所述第二光传输组件的第二连接器包括反射壁，所述反射壁相对所述第二光纤与所述承载面形成锐角，且所述反射壁包括反射系数大于空气的反射材料，所述第二传输部所传输的测试光信号经由所述反射壁反射至所述第二光波导，或所述出光信号经由所述反射壁反射至所述第二传输部。
9、较佳地，所述盖板包括嵌槽，所述嵌槽包括倾斜部，所述倾斜部相对所述第二光纤与所述承载面形成锐角，且所述倾斜部包括反射系数大于空气的反射材料。所述第二连接器的部分嵌入所述嵌槽，且所述光通道接触所述倾斜部，所述第二传输部所传输的测试光信号经由所述倾斜部反射至所述第二光波导，或所述出光信号经由所述倾斜部反射至所述第二传输部。
10、较佳地，所述测试装置还包括第三光传输组件，设置于所述盖板上，且所述第三光传输组件包括第三传输部。所述第三传输部位于所述承载面的第三垂直层级，所述第三垂直层级的高度不同于所述第一垂直层级或所述第二垂直层级的高度。
11、较佳地，所述第三光传输组件包括第三光纤、第三接头及第三连接器，且所述第三连接器设置于所述盖板，所述第三接头固定于所述第三光纤的一端，并可插拔地连接于所述第三连接器，并且所述第三光纤包括所述第三传输部，所述集成光路包括第三光波导。所述第三传输部倾斜于所述承载面，用以传输测试光信号，且所述测试光信号由所述集成光路的上方直接射向所述第三光波导，并由所述光侦测组件所侦测，或所述第三传输部用以传输所述光源模块产生的出光信号。
12、较佳地，所述第三接头包括光栅结构。
13、较佳地，所述测试装置还包括第四光传输组件，设置于所述底座上，且所述第四光传输组件包括第四光纤、第四接头、第四连接器及内接光纤。所述第四接头固定于所述第四光纤的一端，并可插拔地连接于所述第四连接器，所述内接光纤的一端连接于所述第四连接器，另一端连接于所述集成光路。
14、较佳地，所述第四连接器设置在所述载板，所述内接光纤的另一端可插拔地连接于所述集成光路，且所述第四光纤通过所述内接光纤传输测试光信号至所述集成光路，或通过所述内接光纤接收所述光源模块产生的出光信号。
15、本申请的有益效果为：在本申请提供的测试装置中，利用所述第一光学组件、所述第二光学组件、所述第三光学组件及/或所述第四光学组件的配合，且所述多个光学组件设在所述底座的承载面的不同垂直层级，形成多种不同方向的光耦合型态，进而实现对各式集成光路的设计的电性测试所需，解决现有单一测试设备无法对不同集成光路的设计进行测试的问题。
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1.一种用于集成光路的测试装置，所述测试装置电连接于测试机台，所述集成光路包括至少一光侦测组件及光源模块，其特征在于，所述测试装置包括：
2.如权利要求1所述的用于所述集成光路的测试装置，其特征在于，所述框体包括框壁及盖板，所述盖板设置于所述框壁上，且所述框壁位于所述载板及所述盖板之间，其中所述第一光传输组件设置于所述框壁上，所述第二光传输组件设置于所述盖板上。
3.如权利要求2所述的用于所述集成光路的测试装置，其特征在于，所述第一光传输组件还包括第一光纤、第一接头及第一连接器，且所述第一连接器设置于所述框壁，所述第一接头固定于所述第一光纤的一端，并可插拔地连接于所述第一连接器，其中所述第一光纤包括所述第一传输部，所述集成光路包括第一光波导，且所述第一光纤平行并面对于所述第一光波导。
4.如权利要求3所述的用于所述集成光路的测试装置，其特征在于，所述第一传输部用以传输测试光信号，且所述测试光信号由所述第一传输部直接射向所述第一光波导，并由所述光侦测组件所侦测，或所述第一传输部用以传输所述光源模块产生的出光信号。
5.如权利要求2所述
6.如权利要求5所述的用于所述集成光路的测试装置，其特征在于，所述第二光传输组件的第二连接器包括反射壁，所述反射壁相对所述第二光纤与所述承载面形成锐角，且所述反射壁包括反射系数大于空气的反射材料，所述第二传输部所传输的测试光信号经由所述反射壁反射至所述第二光波导，或所述出光信号经由所述反射壁反射至所述第二传输部。
7.如权利要求5所述的用于所述集成光路的测试装置，其特征在于，所述盖板包括嵌槽，所述嵌槽包括倾斜部，所述倾斜部相对所述第二光纤与所述承载面形成锐角，且所述倾斜部包括反射系数大于空气的反射材料，其中所述第二连接器的部分嵌入所述嵌槽，且所述光通道接触所述倾斜部，所述第二传输部所传输的测试光信号经由所述倾斜部反射至所述第二光波导，或所述出光信号经由所述倾斜部反射至所述第二传输部。
8.如权利要求2所述的用于所述集成光路的测试装置，还包括第三光传输组件，设置于所述盖板上，且所述第三光传输组件包括第三传输部，其中所述第三传输部位于所述承载面的第三垂直层级，所述第三垂直层级的高度不同于所述第一垂直层级或所述第二垂直层级的高度。
9.如权利要求8所述的用于所述集成光路的测试装置，其特征在于，所述第三光传输组件包括第三光纤、第三接头及第三连接器，且所述第三连接器设置于所述盖板，所述第三接头固定于所述第三光纤的一端，并可插拔地连接于所述第三连接器，并且所述第三光纤包括所述第三传输部，所述集成光路包括第三光波导，其中所述第三传输部倾斜于所述承载面，用以传输测试光信号，且所述测试光信号由所述集成光路的上方直接射向所述第三光波导，并由所述光侦测组件所侦测，或所述第三传输部用以传输所述光源模块产生的出光信号。
10.如权利要求8所述的用于所述集成光路的测试装置，其特征在于，所述第三接头包括光栅结构。
11.如权利要求2所述的用于所述集成光路的测试装置，还包括第四光传输组件，设置于所述底座上，且所述第四光传输组件包括第四光纤、第四接头、第四连接器及内接光纤，其中所述第四接头固定于所述第四光纤的一端，并可插拔地连接于所述第四连接器，所述内接光纤的一端连接于所述第四连接器，另一端连接于所述集成光路。
12.如权利要求11所述的用于所述集成光路的测试装置，其特征在于，所述第四连接器设置在所述载板，所述内接光纤的所述另一端可插拔地连接于所述集成光路，且所述第四光纤通过所述内接光纤传输测试光信号至所述集成光路，或通过所述内接光纤接收所述光源模块产生的出光信号。
...【技术特征摘要】
1.一种用于集成光路的测试装置，所述测试装置电连接于测试机台，所述集成光路包括至少一光侦测组件及光源模块，其特征在于，所述测试装置包括：
2.如权利要求1所述的用于所述集成光路的测试装置，其特征在于，所述框体包括框壁及盖板，所述盖板设置于所述框壁上，且所述框壁位于所述载板及所述盖板之间，其中所述第一光传输组件设置于所述框壁上，所述第二光传输组件设置于所述盖板上。
3.如权利要求2所述的用于所述集成光路的测试装置，其特征在于，所述第一光传输组件还包括第一光纤、第一接头及第一连接器，且所述第一连接器设置于所述框壁，所述第一接头固定于所述第一光纤的一端，并可插拔地连接于所述第一连接器，其中所述第一光纤包括所述第一传输部，所述集成光路包括第一光波导，且所述第一光纤平行并面对于所述第一光波导。
4.如权利要求3所述的用于所述集成光路的测试装置，其特征在于，所述第一传输部用以传输测试光信号，且所述测试光信号由所述第一传输部直接射向所述第一光波导，并由所述光侦测组件所侦测，或所述第一传输部用以传输所述光源模块产生的出光信号。
5.如权利要求2所述的用于所述集成光路的测试装置，其特征在于，所述第二光传输组件包括第二光纤、第二接头及第二连接器，所述第二连接器设置于所述盖板与所述框壁之间，所述第二接头固定于所述第二光纤的一端，并可插拔地连接于所述第二连接器，且所述第二光纤包括所述第二传输部，所述第二连接器包括光通道，并且所述集成光路包括第二光波导，其中所述第二传输部用以传输测试光信号，所述测试光信号由所述集成光路的上方经所述光通道射向所述第二光波导，并由所述光侦测组件所侦测，或所述第二传输部用以传输所述光源模块产生的一出光信号。
6.如权利要求5所述的用于所述集成光路的测试装置，其特征在于，所述第二光传输组件的第二连接器包括反射壁，所述反射壁相对所述第二光纤与所述承载面形成锐角，且所述反射壁包括反射系数大于空气的反射材料，所述第二传输部所传输的测试光信号经由所述反射壁反射至所述第二光波导，或所述出光信号经由所述反射壁反射至所述第二传输部。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：郑志吰，李鑫垚，
申请(专利权)人：台湾中华精测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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