【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉半导体制造，具体涉及一种炉管设备的石英点火装置安装治具及安装方法。
技术介绍
1、炉管设备是半导体制造过程中用于进行热处理的关键设备，主要功能是对硅片进行加热处理，以实现氧化、扩散、沉积等工艺过程。炉管设备中的一个关键组件是反应管(react tube)，用于容纳硅片并将其暴露在特定的化学气相环境中，以进行化学气相沉积(cvd)或其他热处理过程。反应管与点火装置(torch)相连，点火装置用于高温反应产生水蒸气并通入反应管内。点火装置为圆柱状管体，管道内通气体或化学品并在特定温度下发生反应，通常为石英材质，能够耐受高温并保持化学惰性。点火装置采用加热器(torchheater)对气体进行加热，加热器可调整并控制点火装置的温度，以便控制反应。
2、现有技术中，如图3、4所示，在安装炉管设备内的点火装置时，要求石英点火装置出气端6的接口61与反应管9的接口91做到密封固定，同时要保证点火装置与加热器7稳固连接。为了达到这一效果，安装时需要达到出气端接口61与反应管接口91的密封面处于平行状态，同时保持点火装置与侧边冷却板8存在间隙。因此，需要在安装过程中对反应管、点火装置以及加热器的角度进行多次调整。由于点火装置是石英材质较为沉重，形状为圆筒造型不易握持，且操作过程中需要反复调整，容易磕碰造成石英损坏，安装效率低且容易产生损耗。
技术实现思路
1、本专利技术为了解决现有技术中的缺陷，提出了一种炉管设备的石英点火装置安装治具及安装方法。
2、一种炉管设
3、优选地，所述治具的第一端在形状尺寸上与所述石英点火装置的进气加热端一致，所述治具的第二端在形状尺寸上与所述石英点火装置的出气端一致。
4、优选地，所述治具采用聚四氟乙烯材质。
5、一种炉管设备的石英点火装置安装方法，使用上文任一项所述的石英点火装置安装治具代替点火装置，包括如下步骤：
6、步骤s1：操作人员握持所述治具连接部的中间圆柱部，打开加热器上半部，将所述治具放置于炉管设备中石英点火装置的待安装位置，即将所述治具的所述第一端的对应于所述圆柱进气管的部分放置于所述加热器中的凹槽，将所述治具的第一端与进气通道对齐，所述第二端与反应管的接口初步对齐；
7、步骤s2：调整所述加热器的位置，使所述治具的所述第二端对应所述管口密封面的部分与所述反应管接口平行，同时使所述治具与上方和侧方的冷却板保持一定间隙；
8、步骤s3：当所述治具的所述第二端对应所述管口密封面的部分与所述反应管接口达到平行时，调整完成，将所述加热器位置固定；
9、步骤s4：取下所述治具，替换为所述石英点火装置，将所述出气端的所述管口密封面与所述反应管接口密封固定连接，所述出气端的进气口与设备管路连接，将所述加热器上半部关闭，并将所述氢气进口与所述氧气进口与炉管设备的进气通道连接，完成安装。
10、优选地，在步骤s2和步骤s3之间还具备步骤s2a：在反复调整所述加热器的位置仍不能使得所述治具的第二端的所述管口密封面与所述反应管接口平行，则通过轻微旋转所述反应管来调整所述反应管接口的位置。
11、优选地，步骤s2中，从上下、前后、左右六个方向上调整所述加热器的位置。
12、本专利技术具有如下有益效果：
13、本专利技术提出的一种炉管设备的石英点火装置安装治具及安装方法，使用与点火装置尺寸与结构近似的治具进行预安装及调试加热器角度，待加热器角度调整完毕后再将治具替换为点火装置。治具尺寸与点火装置匹配，可准确模拟点火装置安装时的状态；治具的连接部采用哑铃造型，易于握持，方便安装；采用聚四氟乙烯材质制作，轻便具有良好的耐磨性和低摩擦系数，调整位置时不易损坏加热器和反应管的接口，使用此治具与方法安装石英点火装置，能够减少损耗，提升安装效率。
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1.一种炉管设备的石英点火装置安装治具，所述石英点火装置包括进气加热端、出气端、和连接所述进气加热端和出气端的中空圆柱部，所述进气加热端包括圆柱进气管、氢气进口和氧气进口，所述出气端包括出气管及管口密封面，所述出气管中部设有进气口，其特征在于，所述治具包括第一端、第二端和连接所述第一端和第二端的连接部，所述第一端模拟所述石英点火装置的进气加热端，所述第二端模拟所述石英点火装置的出气端，所述连接部对应所述石英点火装置的中空圆柱部，构造为哑铃造型，所述连接部具有两端圆柱部及中间圆柱部，所述两端圆柱部的截面直径大于所述中间圆柱部的截面直径，且所述两端圆柱部的截面直径与所述石英点火装置中空圆柱部的截面直径一致。
2.根据权利要求1所述的一种炉管设备的石英点火装置安装治具，其特征在于，所述治具的第一端在形状尺寸上与所述石英点火装置的进气加热端一致，所述治具的第二端在形状尺寸上与所述石英点火装置的出气端一致。
3.根据权利要求1所述的一种炉管设备的石英点火装置安装治具，其特征在于，所述治具采用聚四氟乙烯材质。
4.一种炉管设备的石英点火装置安装方法，其特征
5.如权利要求4所述的一种炉管设备的石英点火装置安装方法，其特征在于，在步骤S2和步骤S3之间还具备步骤S2a：
6.如权利要求4所述的一种炉管设备的石英点火装置安装方法，其特征在于，步骤S2中，从上下、前后、左右六个方向上调整所述加热器的位置。
...【技术特征摘要】
1.一种炉管设备的石英点火装置安装治具，所述石英点火装置包括进气加热端、出气端、和连接所述进气加热端和出气端的中空圆柱部，所述进气加热端包括圆柱进气管、氢气进口和氧气进口，所述出气端包括出气管及管口密封面，所述出气管中部设有进气口，其特征在于，所述治具包括第一端、第二端和连接所述第一端和第二端的连接部，所述第一端模拟所述石英点火装置的进气加热端，所述第二端模拟所述石英点火装置的出气端，所述连接部对应所述石英点火装置的中空圆柱部，构造为哑铃造型，所述连接部具有两端圆柱部及中间圆柱部，所述两端圆柱部的截面直径大于所述中间圆柱部的截面直径，且所述两端圆柱部的截面直径与所述石英点火装置中空圆柱部的截面直径一致。
2.根据权利要求1所述的一种炉管设备的石英点火装置安装...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈曦明，冯凯，
申请(专利权)人：上海至纯半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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