【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅棒自动化检测设备领域，尤其涉及一种硅棒检测机构。
技术介绍
1、在将硅棒与晶托粘接切片之前，需对硅棒进行表面缺陷及外观尺寸检测。
2、现有技术中，有采用两个托辊承托硅棒，通过两个托辊转动带动硅棒旋转，以与位于上方的检测机构配合实现硅棒检测；该检测机构一般设置有至少一个，包括相机及驱动相机在三维空间进行移动的驱动组件。但是，这种检测方式适用于对圆柱形硅棒进行检测，而不能对方形硅棒进行全方位检测。也有采用托盘承托硅棒，通过驱动托盘沿直线移动，以与位于上方和/或两侧和/或两端的检测机构配合进行硅棒检测；虽然这种检测方式适用于方形硅棒，但是硅棒检测受托盘影响，无法实现对方形硅棒进行全方位检测。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提出一种硅棒检测机构，能够实现对轴向移动的硅棒进行全方位检测，检测精准度高。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、一种硅棒检测机构，包括机架，所述机架上连接有竖直的安装板，所述安装板一侧开设有用于硅棒沿轴向移动穿过的通孔；所述通孔的四周沿环向分布有八个相机检测组件，其中四个所述相机检测组件分别用于对硅棒的四个侧面进行光学图像采集，另外四个所述相机检测组件分别用于对硅棒的四个倒角斜面进行光学图像采集；各所述相机检测组件的图像采集位置沿所述通孔的中心轴线方向错开设置。
4、进一步地，所述相机检测组件包括滑座、工业相机、光源及驱动组件；所述滑座与所述安装板滑动连接，能够在所述驱动组件的驱动下朝向或远离所
5、进一步地，所述第一支架通过上下设置的两个第一锁紧螺丝与所述工业相机连接；所述第一支架上开设有第一弧形槽，所述第一弧形槽的中心轴线与上方所述第一锁紧螺丝的中心轴线共线；下方所述第一锁紧螺丝位于所述第一弧形槽内。
6、进一步地，所述第一支架在相应所述立柱上的安装位置沿所述滑座滑动方向可调。
7、进一步地，所述锁紧组件包括至少两个第二锁紧螺丝，所述第二支架上开设有上下相对设置的两个第二弧形槽，两个所述的第二弧形槽的中心轴线与所述光源的转动中心轴线共线；各所述第二锁紧螺丝分设于两个所述第二弧形槽内。
8、进一步地，所述第二支架在相应所述立柱上的安装位置沿所述滑座滑动方向可调。
9、进一步地，所述通孔的截面呈八边形。
10、本技术的有益效果为：
11、1、本技术的一种硅棒检测机构，硅棒沿通孔中心轴线方向穿过通孔，通过分设于通孔四周的八个相机检测组件对硅棒的四个侧面及四个倒角斜面进行光学图像采集；由于全方位采集了硅棒的图像信息，因而可根据图像信息准确计算硅棒的外观尺寸，并识别出硅棒两端棱边处、四个侧面及四个倒角斜面是否有表面缺陷。该硅棒检测机构实现了对轴向移动的硅棒进行全方位检测，并且检测精准度高。
12、2、本技术的一种硅棒检测机构，各相机检测组件的图像采集位置沿通孔的中心轴线方向错开设置，各相机检测组件之间互不干涉和影响。
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1.一种硅棒检测机构，其特征在于，包括机架(1)，所述机架(1)上连接有竖直的安装板(11)，所述安装板(11)一侧开设有用于硅棒(100)沿轴向移动穿过的通孔(111)；所述通孔(111)的四周沿环向分布有八个相机检测组件(2)，其中四个所述相机检测组件(2)分别用于对硅棒(100)的四个侧面进行光学图像采集，另外四个所述相机检测组件(2)分别用于对硅棒(100)的四个倒角斜面进行光学图像采集；各所述相机检测组件(2)的图像采集位置沿所述通孔(111)的中心轴线方向错开设置。
2.根据权利要求1所述的一种硅棒检测机构，其特征在于，所述相机检测组件(2)包括滑座(21)、工业相机(22)、光源(23)及驱动组件(24)；所述滑座(21)与所述安装板(11)滑动连接，能够在所述驱动组件(24)的驱动下朝向或远离所述通孔(111)中心移动；所述滑座(21)顶面设置有竖直的两个立柱(211)，所述工业相机(22)通过两个第一支架(25)连接于两个所述立柱(211)之间；两个所述立柱(211)的上端连接有两个第二支架(26)，所述光源(23)转动连接于两个所述第二支架(26)
3.根据权利要求2所述的一种硅棒检测机构，其特征在于，所述第一支架(25)通过上下设置的两个第一锁紧螺丝与所述工业相机(22)连接；所述第一支架(25)上开设有第一弧形槽(251)，所述第一弧形槽(251)的中心轴线与上方所述第一锁紧螺丝的中心轴线共线；下方所述第一锁紧螺丝位于所述第一弧形槽(251)内。
4.根据权利要求2或3所述的一种硅棒检测机构，其特征在于，所述第一支架(25)在相应所述立柱(211)上的安装位置沿所述滑座(21)滑动方向可调。
5.根据权利要求2所述的一种硅棒检测机构，其特征在于，所述锁紧组件包括至少两个第二锁紧螺丝，所述第二支架(26)上开设有上下相对设置的两个第二弧形槽(261)，两个所述的第二弧形槽(261)的中心轴线与所述光源(23)的转动中心轴线共线；各所述第二锁紧螺丝分设于两个所述第二弧形槽(261)内。
6.根据权利要求2或5所述的一种硅棒检测机构，其特征在于，所述第二支架(26)在相应所述立柱(211)上的安装位置沿所述滑座(21)滑动方向可调。
7.根据权利要求1所述的一种硅棒检测机构，其特征在于，所述通孔(111)的截面呈八边形。
...【技术特征摘要】
1.一种硅棒检测机构，其特征在于，包括机架(1)，所述机架(1)上连接有竖直的安装板(11)，所述安装板(11)一侧开设有用于硅棒(100)沿轴向移动穿过的通孔(111)；所述通孔(111)的四周沿环向分布有八个相机检测组件(2)，其中四个所述相机检测组件(2)分别用于对硅棒(100)的四个侧面进行光学图像采集，另外四个所述相机检测组件(2)分别用于对硅棒(100)的四个倒角斜面进行光学图像采集；各所述相机检测组件(2)的图像采集位置沿所述通孔(111)的中心轴线方向错开设置。
2.根据权利要求1所述的一种硅棒检测机构，其特征在于，所述相机检测组件(2)包括滑座(21)、工业相机(22)、光源(23)及驱动组件(24)；所述滑座(21)与所述安装板(11)滑动连接，能够在所述驱动组件(24)的驱动下朝向或远离所述通孔(111)中心移动；所述滑座(21)顶面设置有竖直的两个立柱(211)，所述工业相机(22)通过两个第一支架(25)连接于两个所述立柱(211)之间；两个所述立柱(211)的上端连接有两个第二支架(26)，所述光源(23)转动连接于两个所述第二支架(26)之间，并通过锁紧组件锁紧连接；所述光源(23)的转动中心方向与所述滑座(21...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹加花，王召友，谷建忠，钱汇斌，
申请(专利权)人：华方信智能科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：
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