样品定位设备制造技术

一种样品定位台（４），其用于相对于光学检测装置（２）定位待检测的样品（８）。所述样品定位台包括：基本上平面的第一主体（１８），待检测的样品可以携带在该第一主体上；和第二主体（２０），所述第二主体通过设置在所述第一主体和所述第二主体之间的至少一个刚性轴承（４３，４５）和至少一个弹柔性轴承（４７）直接连接到所述第一主体上。所述至少一个刚性轴承和至少一个弹柔性轴承基本上彼此相对地布置。通过所述轴承使得所述第一主体和第二主体在基本上平行于所述基本上平面的第一主体的平面的方向上对彼此预加载。所述台还包括电机传动的驱动系统（９８），其可操作地朝着从位置输入装置接收的需求相对位置将第一主体和第二主体相对于彼此在第一平面内驱动。所述台还包括位置传感装置，所述位置传感装置用于提供所述第一主体和所述第二主体的相对位置的测量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种样品定位台，例如用于定位用于通过光学检测设备例如 显微镜或者分光镜检测的样品的台。
技术介绍
可以采用样品定位台例如来相对于显微镜和分光镜定位样品，这些定位 台可以包括放置待检测的样品的板。基本上平面的板通常安装在至少一个托 架上，使得该板可以在至少一个基本上水平的自由度上相对于托架移动。板 和托架通常具有相配合的支承构件，使得板和托架可以在动力驱动机构的控 制下在至少一个自由度中相对于彼此移动。板或者托架可以通过轴承连接到 另一托架上，这便于板在另一个自由度上移动。板的定位的准确性和可重复 性是重要的，以为其使得样品相对于例如检测装置精确和可重复的定位。已知使用电机来响应于从电子输入装置接收的信号驱动样品定位台的 板和托架相对于彼此移动。用于驱动该台的电机的使用是有利的，原因很多。 例如，它们能够使得台的移动自动化(例如，样品被检测或者可以自动放置 在多个不同的位置使得可以获得样品的装配)。电机的使用还可提供更准确 的台定位。电机还可便于当操作者不能接近台时使得台运动。确保在板和托架的轴承之间很少或者没有间隙是重要的；板和托架的轴 承之间在尺寸上提供很少或者不提供运动自由度，除非想使得板和托架运 动。当板和托架仅仅通过配合的支承构件的相互作用被保持在一起时，尤其 如此。还重要的是，确保配合的支承构件之间的作用力不会变得太大使得难 以使板和托架相对于彼此运动，这可导致太多的载荷置于驱动机构上设置导 致支承构件压碎。这些不希望的情况可由于制造的不精确而发生。已知提供可调节的轴 承，其位置可以在对台进行操作之前例如通过调节螺钉来设置，以便避免上 述情况。还已知在板和托架指尖提供弹簧加载的轴承，其补偿台中的任何不 均一性，由此避免了调节轴承的需要。6轴承的台比所有的轴承是刚性的台更 不精确，提供更少的可重复运动。本专利技术涉及对样品定位台的改进，具体地说，提供在台的可动主体之间 延伸和偏压的具有刚性和柔性轴承的样品定位台，其中电机传动的驱动系统被构造成在刚性轴承附近作用在主体上，用于提供主体的相对位置的测量的 位置测量装置定位成距离刚性轴承比距离弹柔性轴承更近。
技术实现思路
因此，根据根本专利技术的一个方面，提供一种样品定位台，其用于相对于光学检测装置定位待检测的样品，所述样品定位台包括基本上平面的第一 主体，待检测的样品可以携带在该第一主体上；第二主体，所述第二主体通 过设置在所述第一主体和所述第二主体之间的至少一个刚性轴承和至少一 个弹柔性轴承连接到所述第一主体上，所述至少一个刚性轴承和至少一个弹 柔性轴承基本上彼此相对地布置，并且通过所述轴承使得所述第一主体和第 二主体在基本上平行于所述基本上平面的第 一主体的平面的方向上对彼此 预加载，并且通过所述轴承所述第一主体相对于所述第二主体的运动被限制 到与所述第一主体的平面基本上平行的第一平面；电机传动的驱动系统，其 可操作地朝着从位置输入装置接收的需求相对位置将第一主体和第二主体 相对于彼此在第一平面内驱动，其中，所述电机传动的驱动系统在距离所述 至少一个刚性轴承比距离所述至少一个弹柔性轴承更近的位置在所述台上 施加驱动力；以及位置传感装置，所述位置传感装置位于所述第一主体和所 述第二主体的至少一个上，并且距离所述至少一个刚性轴承比距离所述至少 一个弹柔性轴承更近，所述位置传感装置用于提供所述第一主体和所述第二 主体的相对位置的测量。有利的是，将电机传动的驱动系统构造成使得其在距离刚性轴承比距离 柔性轴承更近的位置作用在主体上，并且将位置传感装置定位在距离刚性轴 承比距离柔性轴承更近的位置，改进了台的运动的准确性和可重复性。可以通过轴承将第一主体和第二主体的相对运动限制到位于与第一主 体的平面基本上平行的第一自由度。第一自由度可以是线性自由度。任选性 地，第一自由度可以是旋转自由度。承和滚子轴承，例如交叉滚子轴承。例如，刚性轴承和性柔轴承中的至少一 个可包括滚子轴承，例如球轴承，其位于第一主体和第二主体的轨道之间。优选的是，至少一个刚性轴承和至少一个弹柔性轴承中的每个包括位于 第一主体上的第一支承结构和位于第二主体上的第二支承结构，它们协作形 成轴承。该支承结构可包括便于主体在第一平面相对运动的支承部分。该支 承结构还可包括支座，支承部分通过该支座安装到第一主体和第二主体之一 上。例如，第一支承结构和第二支承结构可包括位于第一主体和第二主体之 一上的轨道和第一主体和第二主体的另一个上的滑行器，用于与轨道协作配 合。应当理解，轨道可以是主体之一上的任何合适的结构，其限定了主体的 另一个上的滑行器跟随的路径。该轨道的轮廓可以例如是由齿的。在这种情 况下，滑行器可以是齿轮形状，使得轨道和滑行器类似于齿条和齿轮机构的 接合。优选的是，轨道是光滑的。在这种情况下，滑行器可以被构造成接合 轨道，使得其沿着轨道滑动。任选的是，滑行器可以是滚子，其沿着轨道滚 动。例如，滑行器可以是轮。应当理解，不同轴承类型的结合可以用于至少 一个刚性轴承和至少 一个 弹性可压缩的轴承。例如，至少一个刚性轴承可以是滑动轴承，至少一个弹 性可压缩的轴承可以是滚子轴承。优选的是，相同类型的轴承用于至少一个 刚性轴承和至少一个弹性可压缩的轴承的每一个。优选的是，至少一个刚性 轴承和至少 一 个弹性可压缩的轴承每个都包括轨道和沿着轨道滚动的滚子。 优选的是，用于至少一个刚性轴承的轨道和用于至少一个弹柔性轴承的轨道 设置在相同的主体上，例如第一主体。因此，优选的是，用于至少一个刚性 轴承的滑行器和用于至少一个弹柔性轴承的滑行器设置在相同的主体上，例 如第二主体上。在第一自由度是旋转自由度的实施方式中，至少一个刚性轴 承的滑行器与至少一个弹柔性轴承接合相同的轨道。可以通过第一主体或者第二主体中的至少一个凹槽设置轨道。可以通过 第一主体或者第二主体中的至少一个突起设置轨道。垂直于轨道的长度方向 的轨道轮廓可以是弯曲的，例如至少一部分是椭圆形，优选至少一部分是圆 弧形，例如半圆形。轨道可以设置成第一主体和第二主体的一体的部分。例 如，轨道和其设置的主体可以是一个整体。轨道也可以设置成单独的部件， 其安装在第一主体和第二主体之一上。例如，第一主体和第二主体之一可以 包括用于轨道的支座。优选的是，该支座基本上沿着轨道的长度支撑轨道。第一主体相对于第二主体的运动通过轴承限制到基本上平行于第一主 体的平面的第一平面。因此，第一主体和第二主体在垂直于第一主体的平面 的运动通过轴承被限制。第一主体和第二主体上的协作配合形成至少一个刚 性轴承和至少一个弹柔性轴承的支承结构可包括配合的结构，其防止第一主 体和第二主体在垂直于第一主体的平面内相对于彼此运动。例如，支承结构 可以具有相互接合的结构，例如突起和沟槽布置，其防止第一主体和第二主 体在垂直于第一主体的平面内相对于彼此运动。任选的是，第一主体和第二 主体上的协作配合形成至少一个刚性轴承和至少一个弹柔性轴承的支承结 构可以被构造成在预载荷的作用下摩擦接合，以便通过轴承防止第一主体和第二主体在垂直于第一主体的平面内相对于;f皮此运动。应当理解，至少一个刚性轴承可以允许第一主体和第二主体在第一自由 度相对运动，但是足够刚性以便防止在所有其他自由度相对本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种样品定位台，其用于相对于光学检测装置定位待检测的样品，所述样品定位台包括：　基本上平面的第一主体，待检测的样品可以携带在该第一主体上；　第二主体，所述第二主体通过设置在所述第一主体和所述第二主体之间的至少一个刚性轴承和至少一 个弹柔性轴承直接连接到所述第一主体上，所述至少一个刚性轴承和至少一个弹柔性轴承基本上彼此相对地布置，并且通过所述轴承使得所述第一主体和第二主体在基本上平行于所述基本上平面的第一主体的平面的方向上对彼此预加载，并且通过所述轴承所述第一主体相对于所述第二主体的运动被限制到与所述第一主体的平面基本上平行的第一平面；　电机传动的驱动系统，其可操作地朝着从位置输入装置接收的需求相对位置将第一主体和第二主体相对于彼此在第一平面内驱动，其中，所述电机传动的驱动系统在距离所述至少一个刚 性轴承比距离所述至少一个弹柔性轴承更近的位置在所述台上施加驱动力；以及　位置传感装置，所述位置传感装置位于所述第一主体和所述第二主体的至少一个上，并且距离所述至少一个刚性轴承比距离所述至少一个弹柔性轴承更近，所述位置传感装置用于提供所 述第一主体和所述第二主体的相对位置的测量。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：维克托戈登斯廷普森，布赖恩约翰爱德华史密斯，安德鲁马克伍尔弗雷，迈克尔杰克逊希尔，
申请(专利权)人：瑞尼斯豪公司，
类型：发明
国别省市：GB[英国]