【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体领域，特别涉及一种机械手臂形变检测方法、检测设备及晶圆传送装置。
技术介绍
1、在半导体集成电路的制造工艺中，晶圆在多个腔室之间的传送需要通过机械手臂。例如，进行晶圆的抓取，并将晶圆运输到下一工艺制程的加工机台上。
2、但是通过机械手臂传送晶圆时，若机械手臂形变，会导致晶圆在传送过程中存在刮伤、破片或掉片等风险，进而降低生产效率。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请的目的在于提供一种机械手臂形变检测方法、检测设备及晶圆传送装置，能够自动进行机械手臂的形变检测，从而降低晶圆在传送过程中存在刮伤、破片或掉片等风险概率，避免由于机械手臂的形变影响生产效率。
2、本申请提供了一种机械手臂形变检测方法，机械手臂包括机械柄和机械齿，所述方法包括：
3、在所述机械手臂沿着第一方向传送晶圆的过程中，控制发射器沿着固定角度发射第一光线；所述机械柄和所述机械齿沿所述第一方向排列；
4、控制接收器分别接收所述机械齿和所述机械柄在传送晶圆的过程中对第一光线反射的第二光线和第三光线；
5、根据所述接收器接收所述第二光线的位置和所述接收器接收所述第三光线的位置，确定所述机械柄和所述机械齿之间的垂直高度差。
6、可选地，所述控制接收器分别接收所述机械齿和所述机械柄在传送晶圆的过程中对第一光线反射的第二光线和第三光线包括：
7、在所述机械手臂沿着第一方向传送晶圆的过程中，所述机械齿和所述机械柄依次被所述第一光线
8、所述机械齿被所述第一光线照射时，控制所述接收器接收所述机械齿反射的第二光线；
9、所述机械柄被所述第一光线照射时，控制所述接收器接收所述机械柄反射的第三光线。
10、可选地，所述根据所述接收器接收所述第二光线的位置和所述接收器接收所述第三光线的位置确定所述机械柄和所述机械齿之间的垂直高度差包括：
11、根据所述接收器接收所述第二光线的位置和所述接收器的中心位置确定所述第二光线的第一偏移值；
12、根据所述接收器接收所述第三光线的位置和所述接收器的中心位置确定所述第三光线的第二偏移值；
13、根据所述第一偏移值和所述第二偏移值确定所述机械柄和所述机械齿之间的垂直高度差。
14、可选地，所述根据所述第一偏移值和所述第二偏移值确定所述机械柄和所述机械齿之间的垂直高度差包括：
15、根据所述第一偏移值和所述第二偏移值，结合所述固定角度以及所述发射器中心和所述接收器中心之间的距离值，确定所述机械柄和所述机械齿之间的垂直高度差。
16、可选地，所述机械齿包括第一机械齿和第二机械齿，所述发射器包括第一发射器和第二发射器，所述接收器包括第一接收器和第二接收器；
17、所述方法还包括：
18、在所述机械手臂沿着第一方向传送晶圆的过程中，控制所述第一发射器沿着所述固定角度发射第四光线，控制所述第二发射器沿着所述固定角度发射第五光线，所述第四光线照射所述第一机械齿，所述第五光线照射所述第二机械齿；
19、控制所述第一接收器分别接收所述第一机械齿在传送晶圆的过程中对第四光线反射的第六光线；
20、控制所述第二接收器分别接收所述第二机械齿在传送晶圆的过程中对第五光线反射的第七光线；
21、根据所述第一接收器接收所述第五光线的位置和所述第二接收器接收所述第七光线的位置确定所述第一机械齿和所述第二机械齿之间的偏移高度差。
22、可选地，所述固定角度为所述第一光线和所述发射器的法线之间的角度。
23、本申请提供了一种机械手臂形变检测设备，所述设备包括：发射器、接收器和控制器；
24、所述发射器设置在所述机械手臂上方或下方，用于在机械手臂沿着第一方向传送晶圆的过程中沿着固定角度发射第一光线；所述机械手臂包括机械柄和机械齿，所述机械柄和所述机械齿沿所述第一方向排列；
25、所述接收器用于分别接收所述机械齿和所述机械柄在传送晶圆的过程中对第一光线反射的第二光线和第三光线；
26、所述控制器用于控制所述发射器和所述接收器，并根据所述接收器接收所述第二光线的位置和所述接收器接收所述第三光线的位置确定所述机械柄和所述机械齿之间的垂直高度差。
27、可选地，所述设备还包括：透镜模组；
28、所述透镜模组用于聚焦所述第二光线和所述第三光线至所述检测器。
29、本申请提供了一种晶圆传送装置，所述装置包括上述任一所述的机械手臂形变检测设备，所述装置还包括：主体结构，所述主体结构内设置有传送腔室，至少一个所述机械手臂位于所述传送腔室内，所述机械手臂形变检测设备设置在所述主体结构上。
30、可选地，所述装置包括：至少一个开口，所述开口位于所述主体结构的侧面，所述机械手臂沿所述第一方向通过所述开口进行晶圆传送；所述机械手臂形变检测设备位于所述开口上方。本申请提供了一种机械手臂形变检测方法，机械手臂包括机械柄和机械齿，将晶圆放置在机械手臂的机械柄和机械齿上，以对晶圆进行传输，方法包括：在机械手臂沿着第一方向传送晶圆的过程中，机械柄和机械齿沿第一方向排列，也就是说，机械齿和机械柄是沿着晶圆传送的第一方向进行排列的。控制发射器沿着固定角度发射第一光线，这样就能够实现在机械齿和机械柄依次经过发射器时，都能够被第一光线照射到，方便后续对机械齿和机械柄的高度进行检测。控制接收器分别接收机械齿和机械柄在传送晶圆的过程中对第一光线反射的第二光线和第三光线，根据接收器接收第二光线的位置和接收器接收第三光线的位置能够确定二者光线的位置偏移值，进而确定机械柄和机械齿之间的垂直高度差，就可以通过垂直高度差确定机械手臂是否存在形变。由此可见，本申请能够自动实时进行机械手臂的形变检测，从而降低晶圆在传送过程中存在刮伤、破片或掉片等风险概率，避免由于机械手臂的形变影响生产效率。
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1.一种机械手臂形变检测方法，其特征在于，所述机械手臂包括机械柄和机械齿，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制接收器分别接收所述机械齿和所述机械柄在传送晶圆的过程中对所述第一光线反射的第二光线和第三光线包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述接收器接收所述第二光线的位置和所述接收器接收所述第三光线的位置确定所述机械柄和所述机械齿之间的垂直高度差包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一偏移值和所述第二偏移值确定所述机械柄和所述机械齿之间的垂直高度差包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述机械齿包括第一机械齿和第二机械齿，所述发射器包括第一发射器和第二发射器，所述接收器包括第一接收器和第二接收器；
6.根据权利要求1-5任意一项所述的方法，其特征在于，所述固定角度为所述第一光线和所述发射器的法线之间的角度。
7.一种机械手臂形变检测设备，其特征在于，所述设备包括：发射器、接收器和控制器；
8.根据权利要求7所述
9.一种晶圆传送装置，其特征在于，所述装置包括如权利要求7-8任一所述的机械手臂形变检测设备，所述装置还包括：主体结构，所述主体结构内设置有传送腔室，至少一个所述机械手臂位于所述传送腔室内，所述机械手臂形变检测设备设置在所述主体结构上。
10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述装置包括：至少一个开口，所述开口位于所述主体结构的侧面，所述机械手臂沿所述第一方向通过所述开口进行晶圆传送；所述机械手臂形变检测设备位于所述开口上方。
...【技术特征摘要】
1.一种机械手臂形变检测方法，其特征在于，所述机械手臂包括机械柄和机械齿，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制接收器分别接收所述机械齿和所述机械柄在传送晶圆的过程中对所述第一光线反射的第二光线和第三光线包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述接收器接收所述第二光线的位置和所述接收器接收所述第三光线的位置确定所述机械柄和所述机械齿之间的垂直高度差包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一偏移值和所述第二偏移值确定所述机械柄和所述机械齿之间的垂直高度差包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述机械齿包括第一机械齿和第二机械齿，所述发射器包括第一发射器和第二发射器，所述接收器包括第一接收器和第二接收器；
6.根据权利要求1-5任意一...
【专利技术属性】
技术研发人员：李宏，
申请(专利权)人：武汉楚兴技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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