【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造，具体为一种半导体晶圆片制造用反应管安装辅助装置及其辅助方法。
技术介绍
1、半导体扩散设备是集成电路制造的重要工艺设备，是一种要求能长时间连续工作，具有优异的控温精度及良好的可靠性、稳定性的自动控制设备，适用于集成电路制造过程中各种氧化、退火和薄膜生长等工艺；
2、石英反应管是半导体扩散设备中的重要内部部件，在其安装时，由于其体积较大，安装难度较高，用户操作耗时耗力，安装起来较为不便；为此，提供一种半导体晶圆片制造用反应管安装辅助装置及其辅助方法。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种半导体晶圆片制造用反应管安装辅助装置及其辅助方法，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的反应管安装时，由于其体积较大，安装难度较高，用户操作耗时耗力，安装起来较为不便的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种半导体晶圆片制造用反应管安装辅助装置，包括移动车台，所述移动车台的下方设置有多个万向轮，所述移动车台包括高台与低台，所述低台两侧的内壁上均设置有装配卡件，所述高台的外壁上开设有放置槽，所述放置槽内放置有反应管组件，所述反应管组件的前后两端均设置有用于限位夹持的夹持调节件，所述夹持调节件的下方设置有位移组件，所述位移组件的一端设置有驱动组件，所述低台的上方设置有用于和反应管组件组合装配的扩散设备装配件，所述扩散设备装配件的一端设置有升降组件，所述升降组件的两侧均设置有对移动车台位移限制的限位组件。
3、优选的，所述
4、优选的，所述放置槽的内部开设有多个装配槽，所述装配槽的内部设置有第一电动伸缩杆，且第一电动伸缩杆的伸缩端延伸至顶升槽口内。
5、优选的，所述扩散设备装配件包括装配管体，所述装配管体的上下两端均设置有对接装配端，所述对接装配端的外壁上开设有与环形卡条相匹配的环形卡槽，所述环形卡槽的内部对称开设有两个装配口，所述装配口的外壁上开设有第二通孔，所述装配管体的外壁上设置有弧形电磁铁，所述弧形电磁铁的外壁上设置有第二电动伸缩杆。
6、优选的，所述装配卡件包括上下两个夹具，所述夹具的外壁上开设有夹口，所述夹口之间设置有装配卡杆，所述夹具的一端设置有第二丝杠滑块，两个所述第二丝杠滑块分别装设在正向丝杠与反向丝杠的外壁上，所述正向丝杠与反向丝杠之间通过联轴器连接。
7、优选的，所述夹持调节件包括前后两个支撑架，所述支撑架的侧壁上设置有多个竖向间隔排列的电动伸缩臂，所述电动伸缩臂包括内伸缩件，所述内伸缩件的一端设置有弧形夹块，所述弧形夹块的内壁上粘接有橡胶垫块。
8、优选的，所述位移组件包括前后对称设置的第一滚珠丝杠与第二滚珠丝杠，所述第一滚珠丝杠与第二滚珠丝杠的外壁上均设置有第一丝杠滑块，所述驱动组件包括第一电机，所述第一电机的输出端设置有第一皮带轮，所述第一皮带轮的一侧通过皮带连接有第二皮带轮。
9、优选的，所述升降组件包括第三滚珠丝杠，所述第三滚珠丝杠的一侧设置有第四滚珠丝杠，所述第三滚珠丝杠与第四滚珠丝杠的外壁上均设置有第三丝杠滑块，且第二电动伸缩杆装设在第三丝杠滑块的外壁上，所述第三滚珠丝杠的上端设置有第三皮带轮，所述第三皮带轮的上端设置有第二电机，所述第四滚珠丝杠的上端设置有第四皮带轮，且第三皮带轮通过皮带与第四皮带轮连接。
10、优选的，所述低台的上表面设置有电磁铁定位台，所述移动车台两侧的外壁上均开设有限位槽，所述限位组件包括安装板，所述安装板的外壁上设置有电动缸，所述电动缸的伸缩端设置有与限位槽卡合限位的限位卡件。
11、优选的，一种半导体晶圆片制造用反应管安装辅助装置的辅助方法，包括以下步骤：
12、步骤一：将反应管主体摆放嵌入至放置槽内，通过万向轮将移动车台移动至升降组件内，电动缸向前伸展，将限位卡件插入至限位槽内，将移动车台限位固定；
13、步骤二：第二电机带动第三皮带轮与第三滚珠丝杠转动，通过皮带连接，带动第四皮带轮与第四滚珠丝杠处转动，通过转动将第三丝杠滑块降下，使扩散设备装配件降至低台的高度下，开启第二电动伸缩杆，第二电动伸缩杆将弧形电磁铁贴靠在装配管体处，弧形电磁铁通电产生磁性，吸附固定在装配管体处，第二电动伸缩杆再次向前伸展，使第二电动伸缩杆带动装配管体向前位移至低台的电磁铁定位台处，通过电磁铁定位台进行磁吸固定；
14、步骤三：开启第一电机带动第一皮带轮转动，通过皮带连接，带动第二皮带轮转动，使第一滚珠丝杠与第二滚珠丝杠处的第一丝杠滑块位移至反应管主体处；
15、步骤四：电动伸缩臂向前伸展，带动弧形夹块位移贴靠在反应管主体处，开启第一电动伸缩杆，第一电动伸缩杆向上伸展，使其伸缩端插入至顶升槽口内，带动反应管主体向上移动，将其装配端移出至槽外；
16、步骤五：反应管主体位移至装配管体上，将环形卡条与卡槽对齐，电动伸缩臂向后回缩，使环形卡条插嵌至卡槽内，同时，装配块插入至装配口内，使装配组合端与对接装配端组合；
17、步骤六：电磁铁定位台断电消磁，第二电动伸缩杆向前伸展，使装配卡杆插入至第一通孔与第二通孔内，将装配块限制卡合在装配口处，在插入后，夹具松开装配卡杆的端部，第二电动伸缩杆带动卡合后的反应管处向后回缩至升降组件内；
18、步骤七：第三滚珠丝杠与第四滚珠丝杠带动装配后的反应管主体上升，将位于下端的对接装配端暴露，电动缸回缩，松开车体，车体移出升降组件外部，内部预留下部空间，供用户后续装设底部反应管使用。
19、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
20、1、本专利技术通过移动车台装载所需安装的反应管，并带动反应管位移至扩散设备内，再通过第一电动伸缩杆向上将反应管顶出至槽外，在通过夹持调节件处对反应管进行夹持限位，之后通过驱动组件驱动位移组件带动反应管位移至扩散设备装配件处，通过向下插嵌卡合的方式将反应管与扩散设备装配件处组合，通过上述多个组件之间的设置，能够辅助用户进行反应管安装过程中的位移、组合等操作，降低操作难度，提高安装效率，解决了现有石英反应管安装时，由于其体积较大，安装难度较高，用户操作耗时耗力，安装起来较为不便的问题。
21、2、通过弧形电磁铁的设置，能够方便用户通过切换通电与断电状态，对装配管体处进行夹持与分离操作，第二电动伸缩杆的设置，用户调节弧形装配管体处的位置，并在该装配管体与反应管装配后，将其回缩至内部，通过装配卡杆能够插入贯穿第一通孔与第二通孔，从而能够进一步的提高反应管装配状态下的牢固性，使其装配组合端不易与对接装配端分离，后续通过夹具处还能够将装配卡杆拔出，实现对反应管与对接装配端的分离操作。
22、3、通过电动缸带动限位卡件进行伸缩移动，在伸展时，其插入本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种半导体晶圆片制造用反应管安装辅助装置，包括移动车台（1），所述移动车台（1）的下方设置有多个万向轮（103），其特征在于：所述移动车台（1）包括高台（101）与低台（102），所述低台（102）两侧的内壁上均设置有装配卡件（7），所述高台（101）的外壁上开设有放置槽（104），所述放置槽（104）内放置有反应管组件（2），所述反应管组件（2）的前后两端均设置有用于限位夹持的夹持调节件（3），所述夹持调节件（3）的下方设置有位移组件（4），所述位移组件（4）的一端设置有驱动组件（5），所述低台（102）的上方设置有用于和反应管组件（2）组合装配的扩散设备装配件（6），所述扩散设备装配件（6）的一端设置有升降组件（8），所述升降组件（8）的两侧均设置有对移动车台（1）位移限制的限位组件（9）。
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆片制造用反应管安装辅助装置，其特征在于：所述反应管组件（2）包括反应管主体（201），所述反应管主体（201）的下端设置有装配组合端（202），所述装配组合端（202）的下表面设置有环形卡条（203），所述环形卡条（203）的外壁上开
3.根据权利要求2所述的一种半导体晶圆片制造用反应管安装辅助装置，其特征在于：所述放置槽（104）的内部开设有多个装配槽（105），所述装配槽（105）的内部设置有第一电动伸缩杆（106），且第一电动伸缩杆（106）的伸缩端延伸至顶升槽口（204）内。
4.根据权利要求3所述的一种半导体晶圆片制造用反应管安装辅助装置，其特征在于：所述扩散设备装配件（6）包括装配管体（601），所述装配管体（601）的上下两端均设置有对接装配端（602），所述对接装配端（602）的外壁上开设有与环形卡条（203）相匹配的环形卡槽（603），所述环形卡槽（603）的内部对称开设有两个装配口（604），所述装配口（604）的外壁上开设有第二通孔（605），所述装配管体（601）的外壁上设置有弧形电磁铁（606），所述弧形电磁铁（606）的外壁上设置有第二电动伸缩杆（607）。
5.根据权利要求4所述的一种半导体晶圆片制造用反应管安装辅助装置，其特征在于：所述装配卡件（7）包括上下两个夹具（701），所述夹具（701）的外壁上开设有夹口（702），所述夹口（702）之间设置有装配卡杆（707），所述夹具（701）的一端设置有第二丝杠滑块（703），两个所述第二丝杠滑块（703）分别装设在正向丝杠（704）与反向丝杠（705）的外壁上，所述正向丝杠（704）与反向丝杠（705）之间通过联轴器（706）连接。
6.根据权利要求5所述的一种半导体晶圆片制造用反应管安装辅助装置，其特征在于：所述夹持调节件（3）包括前后两个支撑架（301），所述支撑架（301）的侧壁上设置有多个竖向间隔排列的电动伸缩臂（302），所述电动伸缩臂（302）包括内伸缩件（303），所述内伸缩件（303）的一端设置有弧形夹块（304），所述弧形夹块（304）的内壁上粘接有橡胶垫块。
7.根据权利要求6所述的一种半导体晶圆片制造用反应管安装辅助装置，其特征在于：所述位移组件（4）包括前后对称设置的第一滚珠丝杠（401）与第二滚珠丝杠（403），所述第一滚珠丝杠（401）与第二滚珠丝杠（403）的外壁上均设置有第一丝杠滑块（402），所述驱动组件（5）包括第一电机（501），所述第一电机（501）的输出端设置有第一皮带轮（502），所述第一皮带轮（502）的一侧通过皮带连接有第二皮带轮（503）。
8.根据权利要求7所述的一种半导体晶圆片制造用反应管安装辅助装置，其特征在于：所述升降组件（8）包括第三滚珠丝杠（801），所述第三滚珠丝杠（801）的一侧设置有第四滚珠丝杠（802），所述第三滚珠丝杠（801）与第四滚珠丝杠（802）的外壁上均设置有第三丝杠滑块（803），且第二电动伸缩杆（607）装设在第三丝杠滑块（803）的外壁上，所述第三滚珠丝杠（801）的上端设置有第三皮带轮（805），所述第三皮带轮（805）的上端设置有第二电机（804），所述第四滚珠丝杠（802）的上端设置有第四皮带轮（806），且第三皮带轮（805）通过皮带与第四皮带轮（806）连接。
9.根据权利要求8所述的一种半导体晶圆片制造用反应管安装辅助装置，其特征在于：所述低台（102）的上表面设置有电磁铁定位台（107），所述移动车台（1）两侧的外壁上均开设有限位槽（108），所述限位组件（9）包括安装板（...
【技术特征摘要】
1.一种半导体晶圆片制造用反应管安装辅助装置，包括移动车台（1），所述移动车台（1）的下方设置有多个万向轮（103），其特征在于：所述移动车台（1）包括高台（101）与低台（102），所述低台（102）两侧的内壁上均设置有装配卡件（7），所述高台（101）的外壁上开设有放置槽（104），所述放置槽（104）内放置有反应管组件（2），所述反应管组件（2）的前后两端均设置有用于限位夹持的夹持调节件（3），所述夹持调节件（3）的下方设置有位移组件（4），所述位移组件（4）的一端设置有驱动组件（5），所述低台（102）的上方设置有用于和反应管组件（2）组合装配的扩散设备装配件（6），所述扩散设备装配件（6）的一端设置有升降组件（8），所述升降组件（8）的两侧均设置有对移动车台（1）位移限制的限位组件（9）。
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆片制造用反应管安装辅助装置，其特征在于：所述反应管组件（2）包括反应管主体（201），所述反应管主体（201）的下端设置有装配组合端（202），所述装配组合端（202）的下表面设置有环形卡条（203），所述环形卡条（203）的外壁上开设有多个顶升槽口（204），所述环形卡条（203）的外壁上对称设置有两个装配块（205），所述装配块（205）的外壁上开设有第一通孔（206）。
3.根据权利要求2所述的一种半导体晶圆片制造用反应管安装辅助装置，其特征在于：所述放置槽（104）的内部开设有多个装配槽（105），所述装配槽（105）的内部设置有第一电动伸缩杆（106），且第一电动伸缩杆（106）的伸缩端延伸至顶升槽口（204）内。
4.根据权利要求3所述的一种半导体晶圆片制造用反应管安装辅助装置，其特征在于：所述扩散设备装配件（6）包括装配管体（601），所述装配管体（601）的上下两端均设置有对接装配端（602），所述对接装配端（602）的外壁上开设有与环形卡条（203）相匹配的环形卡槽（603），所述环形卡槽（603）的内部对称开设有两个装配口（604），所述装配口（604）的外壁上开设有第二通孔（605），所述装配管体（601）的外壁上设置有弧形电磁铁（606），所述弧形电磁铁（606）的外壁上设置有第二电动伸缩杆（607）。
5.根据权利要求4所述的一种半导体晶圆片制造用反应管安装辅助装置，其特征在于：所述装配卡件（7）包括上下两个夹具（701），所述夹具（701）的外壁上开设有夹口（702），所述夹口（702）之间设置有装配卡杆（...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾少俊，张敬展，周航，黄柱龙，
申请(专利权)人：鑫德斯特电子设备安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：
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