【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于单晶炉，具体的说是一种单晶炉拉晶装置。
技术介绍
1、随着半导体行业和光伏行业的发展，对单晶硅提出了更大的市场需求，目前直拉法生长单晶硅是目前生产单晶硅最广泛的应用技术，直拉法生长单晶硅时，单晶炉为核心生产设备，单晶炉包括加热器、坩埚和提拉头，通过加热器对放在坩埚中的硅料加热至熔体，提拉头提拉头将籽晶浸入硅熔体中，在籽晶下方生长并提拉单晶棒。
2、公开号为cn114232071b的一项专利公开了一种单晶炉拉晶装置，通过工艺进行第一次放肩，在晶棒的尺寸大于夹持空间之后再通过工艺将晶棒缩颈从而得到夹持部，在驱动下提升外轴和托板，从而将晶棒的夹持部被夹持在每个夹块上，之后再通过工艺要求对晶棒进行第二次放肩，并以预设的速度进行拉晶，从而使得拉制出的晶棒的重量作用于托板上，减小细晶的受力，减小细晶由于负载过重而导致断裂的可能。解决了现有技术中在大直径晶棒生长过程中细晶容易断裂的技术问题；达到减小细晶断裂的可能的技术效果。
3、上述现有技术中，在拉晶时，一般使用石墨夹头夹持籽晶，由籽晶引出细晶，随后经过放肩收肩形成圆柱状的粗晶棒，在大直径晶棒拉出过程中，需要驱动石墨夹头带动籽晶不断向上移动，拉出后的粗晶棒的全部重量都施加在细晶上，由于籽晶和细晶直径较为细小，容易在大负载、高晶转过程中出现折断，导致晶棒掉落，发生生产安全事故。
4、为此，本专利技术提供一种单晶炉拉晶装置。
技术实现思路
1、为了弥补现有技术的不足，解决
技术介绍
中所提出的至少一个技
2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本专利技术所述的一种单晶炉拉晶装置，包括圆筒，所述圆筒下端转动连接有两个弧形板，所述圆筒内滑动设置有第一圆柱杆，所述第一圆柱杆下端通过第三圆板固接有圆柱块，所述圆柱块下端安装有石墨夹头，所述第三圆板下端设有夹持组件，所述夹持组件包括第三圆板下端四周通过伸缩组件连接的夹持板，两个所述弧形板下端放置有单晶加热炉。
3、优选的，所述圆筒内部滑动连接有第二圆板，所述第二圆板下端转动连接有第一圆板，所述第一圆板下端与第一圆柱杆固接。
4、优选的，所述伸缩组件包括与第三圆板固接的第二圆柱杆，所述第二圆柱杆下端内部分别滑动连接有第三圆柱杆，所述第三圆柱杆下端分别与夹持板固接。
5、优选的，所述第三圆板下端转动连接有第四圆板，所述第四圆板边缘分别开设有若干弧形孔，所述第二圆柱杆分别能够在弧形孔内滑动。
6、优选的，所述圆筒下端固接有第一圆环，所述第一圆环一侧固接有第一固定块，两个所述弧形板下端设有第三圆环，所述第三圆环一侧固接有第二固定块，所述第一固定块与第二固定块之间共同固接有第四圆柱杆，两个所述弧形板分别能够在第四圆柱杆外侧转动。
7、优选的，所述圆柱块外侧滑动连接有第五圆板，所述第五圆板边缘分别设有腰形孔，所述第二圆柱杆分别能够在腰形孔内滑动。
8、优选的，所述第三圆板与第五圆板外分别侧转动连接有滑动组件，所述滑动组件包括所述第三圆板与第五圆板外分别侧转动连接的第二圆环，所述第二圆环边缘四周分别固接有第一矩形块，所述第一矩形块中部转动连接有滚珠。
9、优选的，所述圆筒一侧通过连接块滑动连接有圆柱立柱，所述圆柱立柱与u形立柱中部固定连接，所述圆柱立柱下端固接有第一齿轮，所述第一齿轮啮合有第二齿轮，所述第二齿轮上端固接有电机的输出端，所述电机通过电机座与u形立柱一侧固接。
10、优选的，所述弧形板中部分别设有矩形孔，所述矩形孔内分别滑动设置有夹持块。
11、优选的，所述第四圆柱杆中部固接有第三u形块，所述第三u形块中部固接有第五圆柱杆，所述夹持块一侧两端分别固接有电动伸缩杆的输出端，所述电动伸缩杆远离夹持块一侧共同固接有第二u形块，所述第二u形块两端分别转动连接有连杆，所述连杆分别通过扭簧与第五圆柱杆转动连接。
12、本专利技术的有益效果如下：
13、1.本专利技术所述的一种单晶炉拉晶装置，通过驱动石墨夹头带动籽晶接触单晶硅溶液液面使下端形成细晶，使细晶下端经过放肩及收肩等步骤形成粗晶棒，随后驱动伸缩组件带动夹持板向下移动，使夹持板移动至粗晶棒上端四周，随后驱动夹持板同时向靠近粗晶棒侧壁移动并夹持，通过驱动夹持板将粗晶棒端部夹持并跟随细晶同步向上移动，减少细晶的受力，减少了因为细晶载重过大导致细晶断裂的可能，减少拉晶过程中的安全隐患。
14、2.本专利技术所述的一种单晶炉拉晶装置，由于连杆通过扭簧与第五圆柱杆连接，使两侧的连杆始终带动第二u形块向靠近弧形板一侧转动，随后通过驱动电动伸缩杆伸长带动夹持块同时向粗晶棒两侧靠近，直至抵住粗晶棒两侧，防止驱动夹持板带动中部的粗晶棒向单晶加热炉一侧转动时，造成中部的粗晶棒晃动发生磕碰。
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1.一种单晶炉拉晶装置，包括圆筒（1），所述圆筒（1）下端转动连接有两个弧形板（13），所述圆筒（1）内滑动设置有第一圆柱杆（14），所述第一圆柱杆（14）下端通过第三圆板（143）固接有圆柱块（144），所述圆柱块（144）下端安装有石墨夹头（1441），所述第三圆板（143）下端设有夹持组件，其特征在于：所述夹持组件包括第三圆板（143）下端四周通过伸缩组件连接的夹持板（147），两个所述弧形板（13）下端放置有单晶加热炉（3）。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶装置，其特征在于：所述圆筒（1）内部滑动连接有第二圆板（142），所述第二圆板（142）下端转动连接有第一圆板（141），所述第一圆板（141）下端与第一圆柱杆（14）固接。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶装置，其特征在于：所述伸缩组件包括与第三圆板（143）固接的第二圆柱杆（1452），所述第二圆柱杆（1452）下端内部分别滑动连接有第三圆柱杆（1453），所述第三圆柱杆（1453）下端分别与夹持板（147）固接。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉拉晶装置，其特征
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶装置，其特征在于：所述圆筒（1）下端固接有第一圆环（12），所述第一圆环（12）一侧固接有第一固定块（121），两个所述弧形板（13）下端设有第三圆环（15），所述第三圆环（15）一侧固接有第二固定块（151），所述第一固定块（121）与第二固定块（151）之间共同固接有第四圆柱杆（16），两个所述弧形板（13）分别能够在第四圆柱杆（16）外侧转动。
6.根据权利要求4所述的一种单晶炉拉晶装置，其特征在于：所述圆柱块（144）外侧滑动连接有第五圆板（146），所述第五圆板（146）边缘分别设有腰形孔（1461），所述第二圆柱杆（1452）分别能够在腰形孔（1461）内滑动。
7.根据权利要求6所述的一种单晶炉拉晶装置，其特征在于：所述第三圆板（143）与第五圆板（146）外分别侧转动连接有滑动组件，所述滑动组件包括所述第三圆板（143）与第五圆板（146）外分别侧转动连接的第二圆环（1431），所述第二圆环（1431）边缘四周分别固接有第一矩形块（1432），所述第一矩形块（1432）中部转动连接有滚珠（1433）。
8.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶装置，其特征在于：所述圆筒（1）一侧通过连接块（21）滑动连接有圆柱立柱（2），所述圆柱立柱（2）与U形立柱（22）中部固定连接，所述圆柱立柱（2）下端固接有第一齿轮（23），所述第一齿轮（23）啮合有第二齿轮（24），所述第二齿轮（24）上端固接有电机（241）的输出端，所述电机（241）通过电机座与U形立柱（22）一侧固接。
9.根据权利要求5所述的一种单晶炉拉晶装置，其特征在于：所述弧形板（13）中部分别设有矩形孔（131），所述矩形孔（131）内分别滑动设置有夹持块（17）。
10.根据权利要求9所述的一种单晶炉拉晶装置，其特征在于：所述第四圆柱杆（16）中部固接有第三U形块（161），所述第三U形块（161）中部固接有第五圆柱杆（162），所述夹持块（17）一侧两端分别固接有电动伸缩杆（171）的输出端，所述电动伸缩杆（171）远离夹持块（17）一侧共同固接有第二U形块（172），所述第二U形块（172）两端分别转动连接有连杆（173），所述连杆（173）分别通过扭簧与第五圆柱杆（162）转动连接。
...【技术特征摘要】
1.一种单晶炉拉晶装置，包括圆筒（1），所述圆筒（1）下端转动连接有两个弧形板（13），所述圆筒（1）内滑动设置有第一圆柱杆（14），所述第一圆柱杆（14）下端通过第三圆板（143）固接有圆柱块（144），所述圆柱块（144）下端安装有石墨夹头（1441），所述第三圆板（143）下端设有夹持组件，其特征在于：所述夹持组件包括第三圆板（143）下端四周通过伸缩组件连接的夹持板（147），两个所述弧形板（13）下端放置有单晶加热炉（3）。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶装置，其特征在于：所述圆筒（1）内部滑动连接有第二圆板（142），所述第二圆板（142）下端转动连接有第一圆板（141），所述第一圆板（141）下端与第一圆柱杆（14）固接。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶装置，其特征在于：所述伸缩组件包括与第三圆板（143）固接的第二圆柱杆（1452），所述第二圆柱杆（1452）下端内部分别滑动连接有第三圆柱杆（1453），所述第三圆柱杆（1453）下端分别与夹持板（147）固接。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉拉晶装置，其特征在于：所述第三圆板（143）下端转动连接有第四圆板（145），所述第四圆板（145）边缘分别开设有若干弧形孔（1451），所述第二圆柱杆（1452）分别能够在弧形孔（1451）内滑动。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶装置，其特征在于：所述圆筒（1）下端固接有第一圆环（12），所述第一圆环（12）一侧固接有第一固定块（121），两个所述弧形板（13）下端设有第三圆环（15），所述第三圆环（15）一侧固接有第二固定块（151），所述第一固定块（121）与第二固定块（151）之间共同固接有第四圆柱杆（16），两个所述弧形板（13）分别能够在第四圆柱杆（16）外侧转动。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：刘陈亚，高树良，张怿，
申请(专利权)人：连城凯克斯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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