System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种叉指换能器、声学谐振器及电子设备制造技术_技高网

一种叉指换能器、声学谐振器及电子设备制造技术

技术编号:44382115 阅读:1 留言:0更新日期:2025-02-25 09:56
本申请涉及一种叉指换能器、声学谐振器及电子设备。该叉指换能器包括:第一汇流条和第二汇流条;及叉指电极,包括位于第一汇流条与第二汇流条之间的多个第一电极指和多个第二电极指,各个第一电极指与各个第二电极指一一对应的在第一方向上彼此相对布设;第一汇流条和第二汇流条之间包括沿第一方向排布的边缘区域、间隔区域、倾斜区域和中心区域,倾斜区域位于中心区域和间隔区域之间,间隔区域位于倾斜区域和边缘区域之间,中心区域位于倾斜区域背离间隔区域的一侧;第二电极指位于倾斜区域的部分包括沿第一方向依次相连的第一段、第二段和第三段,第一段、第二段和第三段均相对第一方向倾斜设置。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及信号处理,具体为一种叉指换能器、声学谐振器及电子设备。


技术介绍

1、声表面波谐振器包括压电衬底和叉指换能器,其中,叉指换能器位于压电衬底的一侧。叉指换能器包括汇流条和叉指电极。压电衬底中的压电材料具有压电效应,可以实现电信号和声波的相互转换。通过叉指电极和压电材料相互作用激发声表面波,利用声表面波的谐振特性可以构造出声表面波谐振器。

2、随着通信技术的不断发展,对谐振器的性能有了更高的要求,即更高的工作频率、更高的q值和更大的带宽。谐振器除了在竖直方向上存在能量泄漏以外,在电极的水平方向上会产生一定的横向模态和能量泄露,横向模态以杂散的形式出现,表现为谐振器导纳曲线中绝对值上的一些杂峰,而这些横向模态的频率一般分布位于谐振器的带内,即谐振频率与反谐振频率之间,会造成带内纹波、带内平坦度以及插入损耗等指标恶化,严重影响谐振器性能。


技术实现思路

1、基于此,有必要针对上述问题,提供一种能够改善声学谐振器内激发的横向模式所带来的影响的叉指换能器、声学谐振器及电子设备。

2、一种叉指换能器,包括:

3、第一汇流条和第二汇流条,沿第一方向间隔且相对布设;及

4、叉指电极,包括位于所述第一汇流条与所述第二汇流条之间的多个第一电极指和多个第二电极指,各个所述第一电极指与各个所述第二电极指一一对应的在所述第一方向上彼此相对布设;在所述第一方向上彼此相对布设的所述第一电极指和所述第二电极指中,其中一者与所述第一汇流条连接,其中另一者与所述第二汇流条连接;

5、其中,所述第一汇流条和所述第二汇流条之间包括沿所述第一方向排布的边缘区域、间隔区域、倾斜区域和中心区域,所述倾斜区域位于所述中心区域和所述间隔区域之间,所述间隔区域位于所述倾斜区域和所述边缘区域之间,所述中心区域位于所述倾斜区域背离所述间隔区域的一侧;

6、所述第一电极指位于所述边缘区域,所述第二电极指位于所述边缘区域、所述间隔区域和所述中心区域的部分与所述第一方向平行,所述第二电极指位于所述倾斜区域的部分包括沿所述第一方向依次相连的第一段、第二段和第三段,所述第一段、所述第二段和所述第三段均相对所述第一方向倾斜设置,且所述第二段与所述第一段和所述第三段相对所述第一方向倾斜的方向均相反。

7、在其中一些实施例中,所述第二电极指位于所述中心区域的部分为中心段,所述中心段在与所述第一方向垂直的第二方向上的两侧分别为第一侧和第二侧;

8、所述第一段背离所述第二段的一端与所述中心段相连,所述第一段相对所述中心段向所述中心段的所述第一侧倾斜,所述第二段相对所述第一段向所述中心段的所述第二侧倾斜,所述第三段相对所述第二段向所述中心段的所述第一侧倾斜。

9、在其中一些实施例中,所述第一段、所述第二段和所述第三段在所述第一方向上的长度尺寸相等。

10、在其中一些实施例中,所述第一段在所述第二方向上的两侧边为第一侧边,两个所述第一侧边彼此平行,且所述第一侧边在与所述第一方向垂直的平面上的正投影的长度尺寸为a,在与所述第二方向垂直的平面上的正投影的长度尺寸为b;

11、所述第二段在所述第二方向上的两侧边为第二侧边,两个所述第二侧边彼此平行,且所述第二侧边在与所述第一方向垂直的平面上的正投影的长度尺寸为2a,在与所述第二方向垂直的平面上的正投影的长度尺寸为b;

12、所述第三段在所述第二方向上的两侧边为第三侧边,两个所述第三侧边彼此平行,且所述第三侧边在与所述第一方向垂直的平面上的正投影的长度尺寸为a,在与所述第二方向垂直的平面上的正投影的长度尺寸为b。

13、在其中一些实施例中,所述第二电极指位于所述倾斜区域的部分包括沿所述第一方向依次相连的n个倾斜单元,每个所述倾斜单元均包括沿所述第一方向依次相连的所述第一段、所述第二段和所述第三段,n为大于或等于1的正整数。

14、在其中一些实施例中,n等于1、2或3。

15、在其中一些实施例中,当n等于1时,0.1p≤a≤0.15p,0.3p≤b≤0.5p;其中,p表示相邻两个第二电极指的中心线之间的距离;

16、当n等于2时,0.1p≤a≤0.15p,0.3p≤b≤0.35p;

17、当n等于3时,0.1p≤a≤0.12p,0.15p≤b≤0.2p。

18、在其中一些实施例中,所述边缘区域包括沿所述第一方向间隔布设的第一边缘区域和第二边缘区域,所述间隔区域包括沿所述第一方向间隔布设的第一间隔区域和第二间隔区域,所述倾斜区域包括沿所述第一方向间隔布设的第一倾斜区域和第二倾斜区域;

19、所述第一边缘区域位于所述第一汇流条与所述第一间隔区域之间,所述第一倾斜区域位于所述第一间隔区域与所述中心区域之间,所述第二边缘区域位于所述第二汇流条与所述第二间隔区域之间,所述第二倾斜区域位于所述第二间隔区域与所述中心区域之间。

20、在其中一些实施例中,在所述第一边缘区域和所述第二边缘区域,所述第一电极指与所述第二电极指沿第二方向交替布设,所述第二方向与所述第一方向垂直。

21、一种声学谐振器,包括压电衬底和如上任一实施例中所述的叉指换能器,所述叉指换能器设置在所述压电衬底的一侧。

22、一种电子设备,包括如上任一实施例中所述的声学谐振器。

23、上述叉指换能器、声学谐振器及电子设备,通过设置倾斜区域,各个第二电极指在倾斜区域的部分包括依次相连且均相对第一方向倾斜的第一段、第二段和第三段,第二段的倾斜方向与第一段和第三段的倾斜方向相反,从而破坏了与声表面波的主传播方向垂直的方向上(即第一方向上)的边界条件,由于第一段、第二段和第三段与第二电极指在其它区域的部位的声阻抗不同,从而能够对声表面波进行反射,进而抑制横向模式的激发,抑制横向边缘上的能量泄漏到汇流条上,达到提高q值的目的,并且能量更加集中在叉指电极之间,机械能与电能的转换效率更高,达到提高机电耦合系数的目的。

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【技术保护点】

1.一种叉指换能器,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的叉指换能器,其特征在于,所述第二电极指(40)位于所述中心区域(D)的部分为中心段(42),所述中心段(42)在与所述第一方向(X)垂直的第二方向(Y)上的两侧分别为第一侧(421)和第二侧(422);

3.根据权利要求2所述的叉指换能器,其特征在于,所述第一段(411)、所述第二段(412)和所述第三段(413)在所述第一方向(X)上的长度尺寸相等。

4.根据权利要求3所述的叉指换能器,其特征在于,所述第一段(411)在所述第二方向(Y)上的两侧边为第一侧边(4110),两个所述第一侧边(4110)彼此平行,且所述第一侧边(4110)在与所述第一方向(X)垂直的平面上的正投影的长度尺寸为a,在与所述第二方向(Y)垂直的平面上的正投影的长度尺寸为b;

5.根据权利要求4所述的叉指换能器,其特征在于,所述第二电极指(40)位于所述倾斜区域(C)的部分包括沿所述第一方向(X)依次相连的N个倾斜单元(41),每个所述倾斜单元(41)均包括沿所述第一方向(X)依次相连的所述第一段(411)、所述第二段(412)和所述第三段(413),N为大于或等于1的正整数。

6.根据权利要求5所述的叉指换能器,其特征在于,N等于1、2或3。

7.根据权利要求6所述的叉指换能器,其特征在于,当N等于1时,0.1p≤a≤0.15p,0.3p≤b≤0.5p;其中,p表示相邻两个第二电极指(40)的中心线之间的距离;

8.根据权利要求1至7任一项所述的叉指换能器,其特征在于,所述边缘区域(A)包括沿所述第一方向(X)间隔布设的第一边缘区域(A1)和第二边缘区域(A2),所述间隔区域(B)包括沿所述第一方向(X)间隔布设的第一间隔区域(B1)和第二间隔区域(B2),所述倾斜区域(C)包括沿所述第一方向(X)间隔布设的第一倾斜区域(C1)和第二倾斜区域(C2);

9.根据权利要求8所述的叉指换能器,其特征在于,在所述第一边缘区域(A1)和所述第二边缘区域(A2),所述第一电极指(30)与所述第二电极指(40)沿第二方向(Y)交替布设,所述第二方向(Y)与所述第一方向(X)垂直。

10.一种声学谐振器,包括压电衬底(200)和如权利要求1至9任一项所述的叉指换能器(100),所述叉指换能器(100)设置在所述压电衬底(200)的一侧。

11.一种电子设备,包括如权利要求10所述的声学谐振器。

...

【技术特征摘要】

1.一种叉指换能器,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的叉指换能器,其特征在于,所述第二电极指(40)位于所述中心区域(d)的部分为中心段(42),所述中心段(42)在与所述第一方向(x)垂直的第二方向(y)上的两侧分别为第一侧(421)和第二侧(422);

3.根据权利要求2所述的叉指换能器,其特征在于,所述第一段(411)、所述第二段(412)和所述第三段(413)在所述第一方向(x)上的长度尺寸相等。

4.根据权利要求3所述的叉指换能器,其特征在于,所述第一段(411)在所述第二方向(y)上的两侧边为第一侧边(4110),两个所述第一侧边(4110)彼此平行,且所述第一侧边(4110)在与所述第一方向(x)垂直的平面上的正投影的长度尺寸为a,在与所述第二方向(y)垂直的平面上的正投影的长度尺寸为b;

5.根据权利要求4所述的叉指换能器,其特征在于,所述第二电极指(40)位于所述倾斜区域(c)的部分包括沿所述第一方向(x)依次相连的n个倾斜单元(41),每个所述倾斜单元(41)均包括沿所述第一方向(x)依次相连的所述第一段(411)、所述第二段(412)和所述第三段(413),n为大于或等于1的正整数。

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【专利技术属性】
技术研发人员:杨扬毛文浩谢婷婷倪文海徐文华
申请(专利权)人:上海迦美信芯通讯技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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