【技术实现步骤摘要】
本技术涉及设备工作台，具体涉及一种等离子体化学气相沉积设备工作台。
技术介绍
1、等离子体化学气相沉积设备是一种用于动力与电气工程、电子与通信
的工艺试验仪器，当前的半导体及平板制造中，等离子增强化学气相沉积)以其沉积快速、低温、重复性好等特点，成为沉积薄膜材料的最广泛的方法之一，工作台材质采用优质冷轧钢板，表面采用静电喷涂处理而制成，坚固的工作桌框架，牢固平稳，可使工作桌台面均匀承重达到1000kg。桌面有多种材质组成，适用于各行业办公场所。
2、例如公开号为cn214991843u的中国专利，其中提出了工作台及等离子体化学气相沉积设备，该组件台包括：支撑柱；设置在所述支撑柱上的承载台；设置在所述承载台上的电磁铁以及静电吸附装置，所述电磁铁设置在所述承载台和所述静电吸附装置之间，且所述电磁铁与所述静电吸附装置之间相互绝缘，所述静电吸附装置的远离所述电磁铁的表面上设置有绝缘层。通过在工作台上设置电磁铁，在工作时，所述电磁铁先将待吸附的物体吸附至静电吸附装置上，然后所述静电吸附装置再通过静电吸附的方式将待吸附的物体固定。上述吸附方式可以增强吸附的稳定性，从而解决了掩膜板与工作台之间的间隙不稳定所导致的掩膜效果变差的问题，但是该方案在实际运用的过程中，倘如等离子体化学气相沉积设备在较为湿润的空气进行长期使用或存放后，极易导致等离子体化学气相沉积设备受潮损坏或发生短路等现象，从而影响等离子体化学气相沉积设备的使用寿命，为解决上述问题，为此我们体提出了一种等离子体化学气相沉积设备工作台。
技
1、针对现有技术的不足，本技术提供了一种等离子体化学气相沉积设备工作台，解决了
技术介绍
中提到的问题。
2、本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
3、一种等离子体化学气相沉积设备工作台，包括：放置盒，所述放置盒的内部活动套设有放置板，所述放置板的顶面固定连接有等离子体化学气相沉积设备；格挡板，所述格挡板活动套设在所述放置盒的内部，所述格挡板的左右两侧与底面均固定连接有密封垫；调节组件，所述调节组件设置在所述放置盒的内部，用于调节所述放置板的位置。
4、通过采用上述技术方案，通过设置调节组件，调节组件可以调节放置板的位置，使得放置板可以移出放置盒的内部，从而方便工作人员后期使用放置板顶面的等离子体化学气相沉积设备。
5、较佳的，所述调节组件包括：两个调节槽，两个所述调节槽分别开设在所述放置盒内部的底面，所述调节槽的顶面固定连接有丝杆滑台，所述丝杆滑台的滑块顶面与所述放置板的底面固定连接在一起；两个限位槽，两个所述限位槽均开设在所述放置盒内部的底面，所述放置板的底面固定连接有两个限位块，所述限位块与所述限位槽滑动安装在一起；定位件，所述定位件设置在所述放置盒的内部，用于对所述格挡板进行定位。
6、通过采用上述技术方案，通过设置定位件，定位件可以对格挡板进行定位，使得格挡板可以固定在放置盒的内部。
7、较佳的，所述定位件包括：两个定位槽，两个所述定位槽分别开设在所述放置盒内部的左右两侧，所述格挡板的左右两侧均固定连接有定位块，所述定位块与所述定位槽活动套设在一起。
8、通过采用上述技术方案，通过设置放置盒，当工作人员将格挡板固定在放置盒的内部，此时密封垫可以对放置盒与格挡板之间进行密封，从而减少湿润的气体进入放置盒的内部，以此避免等离子体化学气相沉积设备受潮损坏或发生短路等现象，提高等离子体化学气相沉积设备的使用寿命。
9、较佳的，所述定位槽内部的底面开设有安装槽，所述安装槽的内部固定连接有驱动电机。
10、通过采用上述技术方案，通过设置丝杆滑台，丝杆滑台的滑块可以带动放置板进行移动，使得等离子体化学气相沉积设备可以移出放置盒的内部，从而方便工作人员后期操作等离子体化学气相沉积设备。
11、较佳的，所述定位槽的内部转动安装有调节杆，所述调节杆的底端与所述驱动电机驱动轴的顶端固定连接在一起，所述定位块的顶面开设有调节孔，所述调节杆与所述调节孔螺纹连接在一起。
12、通过采用上述技术方案，通过设置驱动电机，驱动电机的驱动轴可以带动调节杆进行移动，此时转动中的调节杆可以带动定位块进行移动，使得移动中的定位块可以带动格挡板进行移动，从而便于后期调节格挡板在放置盒内部的位置。
13、较佳的，所述放置盒的一侧固定连接有密封条，所述放置盒底面的四个拐角位置均固定连接有支撑腿。
14、通过采用上述技术方案，通过设置限位块，通过限位块滑动安装在限位槽的内部，使得限位块可以对放置板进行限位。
15、综上所述，本技术主要具有以下有益效果：
16、通过设置放置盒，当工作人员将格挡板固定在放置盒的内部，此时密封垫可以对放置盒与格挡板之间进行密封，从而减少湿润的气体进入放置盒的内部，以此避免等离子体化学气相沉积设备受潮损坏或发生短路等现象，提高等离子体化学气相沉积设备的使用寿命，通过设置丝杆滑台，丝杆滑台的滑块可以带动放置板进行移动，使得等离子体化学气相沉积设备可以移出放置盒的内部，从而方便工作人员后期操作等离子体化学气相沉积设备，通过设置驱动电机，驱动电机的驱动轴可以带动调节杆进行移动，此时转动中的调节杆可以带动定位块进行移动，使得移动中的定位块可以带动格挡板进行移动，从而便于后期调节格挡板在放置盒内部的位置。
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1.一种等离子体化学气相沉积设备工作台，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种等离子体化学气相沉积设备工作台，其特征在于，所述调节组件包括：
3.根据权利要求2所述的一种等离子体化学气相沉积设备工作台，其特征在于，所述定位件包括：
4.根据权利要求3所述的一种等离子体化学气相沉积设备工作台，其特征在于，所述定位槽(10)内部的底面开设有安装槽(12)，所述安装槽(12)的内部固定连接有驱动电机(13)。
5.根据权利要求4所述的一种等离子体化学气相沉积设备工作台，其特征在于，所述定位槽(10)的内部转动安装有调节杆(14)，所述调节杆(14)的底端与所述驱动电机(13)驱动轴的顶端固定连接在一起，所述定位块(11)的顶面开设有调节孔(15)，所述调节杆(14)与所述调节孔(15)螺纹连接在一起。
6.根据权利要求1所述的一种等离子体化学气相沉积设备工作台，其特征在于，所述放置盒(1)的一侧固定连接有密封条(16)，所述放置盒(1)底面的四个拐角位置均固定连接有支撑腿(17)。
【技术特征摘要】
1.一种等离子体化学气相沉积设备工作台，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种等离子体化学气相沉积设备工作台，其特征在于，所述调节组件包括：
3.根据权利要求2所述的一种等离子体化学气相沉积设备工作台，其特征在于，所述定位件包括：
4.根据权利要求3所述的一种等离子体化学气相沉积设备工作台，其特征在于，所述定位槽(10)内部的底面开设有安装槽(12)，所述安装槽(12)的内部固定连接有驱动电机(13)。
5.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏安求，逯好峰，叶小健，
申请(专利权)人：扬州棒杰新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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