【技术实现步骤摘要】
本申请涉及镀钴检测，具体而言，涉及镀钴无机物与有机物在线分析仪器。
技术介绍
1、在半导体行业中，硅芯片的制造过程涉及多步骤的精密工艺。其中，金属化工艺是关键的一环，通常通过在硅片上沉积金属层来形成电极和导线。在这一过程中，镀钴技术被广泛应用于铜互连中间层，以增强电迁移抗性和降低电阻。同时，添加剂如硼酸、钴离子在镀钴过程中起到了重要作用，它们可以调节电镀液的性质，改善镀层的均匀性和性能。因此，开发一种高效的镀钴分析仪，以精确测定硼酸、钴离子和抑制剂添加剂的浓度，对于优化镀钴工艺，提高半导体器件的性能具有重要意义。
2、在电镀过程中，硼酸作为一种缓冲剂，主要用于维持电镀液的ph稳定。它能够有效防止电镀液在电解反应中因氢离子的产生而导致的酸化，从而确保电镀过程的顺利进行。此外，硼酸还能增加电镀液的导电性，提高电镀效率和镀层质量。通过维持适宜的ph环境，硼酸有助于形成致密、均匀且无孔的镀层。
3、钴离子是电镀过程中形成镀钴层的主要成分。它在电解反应中被还原，沉积在基材表面，形成致密的金属钴镀层。钴镀层具有优良的硬度、耐磨性和抗腐蚀性能，因此在许多高要求的应用中被广泛使用。钴离子的浓度对镀层的结构和性能有着直接影响，优化钴离子的浓度有助于获得所需的镀层特性。
4、抑制剂添加剂在电镀过程中起到了关键的调控作用。它们通过在基材表面吸附，抑制局部区域的金属离子还原，从而控制镀层的生长速率和均匀性。这些添加剂可以防止树枝状晶体的形成，减少镀层中的孔隙和缺陷，提升镀层的光滑度和一致性。不同种类的抑制剂添加剂可根
5、因此，开发一种高效的镀钴分析仪，能够精确测定硼酸、钴离子和抑制剂添加剂的浓度，对于优化镀钴工艺、提升半导体器件性能具有重要意义。这项专利的技术背景和创新点正是基于这些关键需求，旨在提供一种有效的解决方案，以确保电镀过程中各成分的精确控制，保障最终产品的高品质。
技术实现思路
1、本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本申请提出镀钴无机物与有机物在线分析仪器，旨在精确测定电镀液中硼酸、钴离子及抑制剂添加剂的浓度，以优化半导体制造中的金属化工艺。该分析仪能够确保电镀过程中的ph稳定、导电性良好，并有效控制镀层的均匀性和性能，从而提升镀钴层的硬度、耐磨性和抗腐蚀性，减少缺陷和孔隙，最终提高半导体器件的整体性能和可靠性。
2、根据本申请实施例的镀钴无机物与有机物在线分析仪器，包括：plc控制终端，以及用于对在线分析仪器进行控制的测试机箱，所述测试机箱的内腔上下两端分别开设有分析腔室和取样腔室，其中，所述分析腔室的内腔集成安装有分析测试模组，而取样腔室的内腔集成安装有取样模组；
3、分析测试模组包括比色分析单元、滴定分析单元和cvs分析单元，三者配合使用，用于对槽液进行精准分析；
4、与此同时，所述取样模组包括取样单元一和取样单元二，取样单元一用于对比色分析单元和滴定分析单元进行取样分析，而取样单元二则用于对cvs分析单元进行供液分析。
5、根据本申请的一些实施例，所述取样单元一包括取样泵一、消泡通道一和槽液室一，其中，槽液室一用于对槽液进行存储，而槽液室一的输出端和取样泵一的输入端通过管线连通，与此同时，所述取样泵一的输出端和消泡通道一的输入端通过管线连通，而消泡通道一的输出端和槽液室一的输入端相互连通。
6、根据本申请的一些实施例，所述取样单元二包括取样泵二、消泡通道二和槽液室二，其中，槽液室二用于对槽液进行存储，而槽液室二的输出端和取样泵二的输入端通过管线连通，与此同时，所述取样泵二的输出端和消泡通道二的输入端通过管线连通，而消泡通道二的输出端和槽液室二的输入端相互连通。
7、根据本申请的一些实施例，所述分析测试模组和取样模组之间通过多通道供液阀组进行增加送液，而多通道供液阀组包括多通道阀一和多通道阀二，其中，多通道阀一的输出端连通有取样泵三，而多通道阀二的输出端连通有取样泵八。
8、根据本申请的一些实施例，所述多通道供液阀组还包括标样部和纯水部一，其中，标样部和纯水部一均为两组，标样部用于对溶液标样进行存储，而纯水部一则用于对纯水进行存储。
9、根据本申请的一些实施例，所述比色分析单元的输入端通过管线连通有取样泵四，所述取样泵四的输入端通过管线连通有标准溶液部；
10、所述比色分析单元通过管线连通有清洗排废部一，所述清洗排废部一和比色分析单元之间的管线安装有电磁阀一。
11、根据本申请的一些实施例，所述滴定分析单元的输入端通过管线连通有取样泵七，所述取样泵七的输入端通过管线连通有滴定标准液部；
12、所述滴定分析单元通过管线连通有清洗排液部二，所述清洗排液部二和滴定分析单元之间的管线安装有电磁阀二；
13、所述滴定分析单元的输入端通过管线还连通有取样泵六，其中，取样泵六的输入端与辅助试剂部的输出端通过管线相互连通。
14、根据本申请的一些实施例，所述比色分析单元和滴定分析单元之间均通过管线连通有取样泵五，而取样泵五的输入端连通有纯水部二，而取样泵五的输出端分别通过管线与比色分析单元和滴定分析单元相互连通。
15、根据本申请的一些实施例，所述cvs分析单元分别通过管线连通有纯水部三和vms存储部，其中，纯水部三的输出端通过管线连通有取样泵九，所述vms存储部的输出端通过管线连通有取样泵十。
16、根据本申请的一些实施例，所述cvs分析单元通过管线连通有清洗排废部三，而清洗排废部三表面的管线上安装有电磁阀三，通过电磁阀三则用于控制清洗排废部三上管线的通断。
17、本申请的有益效果是：本装置通过精确测定电镀液中硼酸、钴离子和抑制剂添加剂的浓度，确保镀层质量的稳定性和一致性；实时监测和分析的能力大幅提高了生产效率，减少了繁琐的样品制备和长时间的检测过程；自动化操作降低了对专业人员的依赖，减少了操作难度和出错风险；实时监控功能确保工艺问题能够迅速发现和纠正，显著降低生产成本；其高灵敏度能够检测到低浓度成分的微小变化，确保镀层的均匀性和性能。
18、这些优点使得镀钴无机物与有机物在线分析仪器成为优化电镀工艺和提高产品质量的理想选择。镀钴无机物与有机物在线分析仪器可以实时、高效地完成这些测定，显著提高生产效率和工艺控制精度。
19、本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
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1.一种镀钴无机物与有机物在线分析仪器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的镀钴无机物与有机物在线分析仪器，其特征在于，所述取样单元一（200）包括取样泵一（210）、消泡通道一（220）和槽液室一（230），其中，槽液室一（230）用于对槽液进行存储，而槽液室一（230）的输出端和取样泵一（210）的输入端通过管线连通，与此同时，所述取样泵一（210）的输出端和消泡通道一（220）的输入端通过管线连通，而消泡通道一（220）的输出端和槽液室一（230）的输入端相互连通。
3.根据权利要求2所述的镀钴无机物与有机物在线分析仪器，其特征在于，所述取样单元二（300）包括取样泵二（310）、消泡通道二（320）和槽液室二（330），其中，槽液室二（330）用于对槽液进行存储，而槽液室二（330）的输出端和取样泵二（310）的输入端通过管线连通，与此同时，所述取样泵二（310）的输出端和消泡通道二（320）的输入端通过管线连通，而消泡通道二（320）的输出端和槽液室二（330）的输入端相互连通。
4.根据权利要求3所述的镀钴无机物与有机物在线
5.根据权利要求4所述的镀钴无机物与有机物在线分析仪器，其特征在于，所述多通道供液阀组（400）还包括标样部（410）和纯水部一（420），其中，标样部（410）和纯水部一（420）均为两组，标样部（410）用于对溶液标样进行存储，而纯水部一（420）则用于对纯水进行存储。
6.根据权利要求5所述的镀钴无机物与有机物在线分析仪器，其特征在于，所述比色分析单元（500）的输入端通过管线连通有取样泵四（510），所述取样泵四（510）的输入端通过管线连通有标准溶液部（520）；
7.根据权利要求6所述的镀钴无机物与有机物在线分析仪器，其特征在于，所述滴定分析单元（600）的输入端通过管线连通有取样泵七（610），所述取样泵七（610）的输入端通过管线连通有滴定标准液部（620）；
8.根据权利要求7所述的镀钴无机物与有机物在线分析仪器，其特征在于，所述比色分析单元（500）和滴定分析单元（600）之间均通过管线连通有取样泵五（700），而取样泵五（700）的输入端连通有纯水部二（710），而取样泵五（700）的输出端分别通过管线与比色分析单元（500）和滴定分析单元（600）相互连通。
9.根据权利要求8所述的镀钴无机物与有机物在线分析仪器，其特征在于，所述CVS分析单元（800）分别通过管线连通有纯水部三（820）和VMS存储部（840），其中，纯水部三（820）的输出端通过管线连通有取样泵九（810），所述VMS存储部（840）的输出端通过管线连通有取样泵十（830）。
10.根据权利要求9所述的镀钴无机物与有机物在线分析仪器，其特征在于，所述CVS分析单元（800）通过管线连通有清洗排废部三（860），而清洗排废部三（860）表面的管线上安装有电磁阀三（850），通过电磁阀三（850）则用于控制清洗排废部三（860）上管线的通断。
...【技术特征摘要】
1.一种镀钴无机物与有机物在线分析仪器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的镀钴无机物与有机物在线分析仪器，其特征在于，所述取样单元一（200）包括取样泵一（210）、消泡通道一（220）和槽液室一（230），其中，槽液室一（230）用于对槽液进行存储，而槽液室一（230）的输出端和取样泵一（210）的输入端通过管线连通，与此同时，所述取样泵一（210）的输出端和消泡通道一（220）的输入端通过管线连通，而消泡通道一（220）的输出端和槽液室一（230）的输入端相互连通。
3.根据权利要求2所述的镀钴无机物与有机物在线分析仪器，其特征在于，所述取样单元二（300）包括取样泵二（310）、消泡通道二（320）和槽液室二（330），其中，槽液室二（330）用于对槽液进行存储，而槽液室二（330）的输出端和取样泵二（310）的输入端通过管线连通，与此同时，所述取样泵二（310）的输出端和消泡通道二（320）的输入端通过管线连通，而消泡通道二（320）的输出端和槽液室二（330）的输入端相互连通。
4.根据权利要求3所述的镀钴无机物与有机物在线分析仪器，其特征在于，所述分析测试模组和取样模组之间通过多通道供液阀组（400）进行增加送液，而多通道供液阀组（400）包括多通道阀一（401）和多通道阀二（402），其中，多通道阀一（401）的输出端连通有取样泵三（430），而多通道阀二（402）的输出端连通有取样泵八（440）。
5.根据权利要求4所述的镀钴无机物与有机物在线分析仪器，其特征在于，所述多通道供液阀组（400）还包括标样部（410）和纯水部一（420），其中，标样部（410）和...
【专利技术属性】
技术研发人员：王建军，
申请(专利权)人：上海朴维自控科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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