【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体，具体而言，涉及一种去气泡装置、浓度测量装置及半导体清洗机。
技术介绍
1、在半导体制造过程中，清洗机是关键的设备之一，它负责去除晶圆表面在制造过程中产生的各种污染物。为了确保清洗效果，现代半导体清洗机通常配备有药液浓度计，用以实时监测清洗液中的化学成分浓度，保证清洗过程的一致性和有效性。
2、然而，药液浓度计的准确性可能会受到多种因素的影响，其中之一便是管路中可能存在的气泡。气泡可以由多种原因产生，比如液体流动、泵的操作或是管路连接不当等。当气泡进入药液浓度计的测量部分时，它们会干扰测量光线的传播或电磁场，从而影响传感器对药液浓度的准确检测。
3、如果药液浓度计读数不准确，可能会导致错误的浓度信号传递给控制系统，这不仅会触发不必要的设备报警，还可能引起对晶圆的不当处理，造成所谓的"wafer impact"。这种影响可能表现为晶圆表面损伤、清洗不彻底或过度清洗，最终影响晶圆的质量和器件的性能。
4、因此，在现有技术中，为了确保药液浓度计的准确性，一般需要定期校准设备、优化管路设计以减少气泡的产生，并实时监控清洗机的运行状态，以避免由于气泡引起的误报和晶圆损伤。现有技术中采取的这些措施，虽然可以减少气泡，提高浓度计的检测准确性，但是想对来说费时费力，可靠性较低，排查时间偏长，可能影响生产周期。
技术实现思路
1、本申请实施例的目的在于提供一种去气泡装置、浓度测量装置及半导体清洗机，其中，去气泡装置能够去除进入浓度计测量管路的气泡，
2、第一方面，提供了一种去气泡装置，包括主管路、浓度计采样口、第一液体传感器、第二液体传感器和电动阀门。
3、其中，主管路包括下入口和上出口，所述下入口用于采样液进入所述主管路。浓度计采样口设置在所述主管路上并朝向下侧，用于使采样液进入浓度计。第一液体传感器设置在所述主管路上，且高于所述浓度计采样口。第二液体传感器设置在所述主管路上，且高于所述第一液体传感器。电动阀门安装在所述主管路的所述上出口处。
4、在一种可实施的方案中，去气泡装置的主管路竖直或倾斜设置。
5、在一种可实施的方案中，去气泡装置的主管路与水平面的夹角为10°～90°。
6、在一种可实施的方案中，去气泡装置的主管路与水平面的夹角为45°～90°。
7、在一种可实施的方案中，去气泡装置的第一液体传感器与第二液体传感器都为电容式传感器。
8、在一种可实施的方案中，去气泡装置包括控制装置，所述控制装置与所述第一液体传感器、所述第二液体传感器和所述电动阀门信号连接。
9、在一种可实施的方案中，去气泡装置包括第一状态和第二状态；
10、在所述第一状态中，采样液的液位由所述主管路的下入口向上出口升高；若所述第一液体传感器与所述第二液体传感器都无液体感应时，所述电动阀门保持打开；若所述第一液体传感器有液体感应，所述第二液体传感器无液体感应时，所述电动阀门保持打开；若所述第一液体传感器与所述第二液体传感器都有液体感应时，所述电动阀门保持关闭；
11、在所述第二状态中，采样液的液位由所述主管路的上出口向下入口下降；若所述第一液体传感器与所述第二液体传感器都有液体感应时，所述电动阀门保持关闭；若所述第二液体传感器无液体感应，所述第一液体传感器有液体感应时，所述电动阀门保持关闭；若所述第一液体传感器与所述第二液体传感器都无液体感应时，所述电动阀门保持打开。
12、根据本申请的第二方面，还提供了一种浓度测量装置，包括浓度计和前述技术方案中的去气泡装置。所述浓度计的入口与所述去气泡装置的浓度计采样口连接。
13、在一种可实施的方案中，浓度测量装置的浓度计的出口与所述电动阀门的排出口汇合后排出。
14、根据本申请的第三方面，还提供了一种半导体清洗机，包括药液循环管路和前述技术方案中的浓度测量装置，去气泡装置的主管路的下入口连接所述药液循环管路。
15、与现有技术相比，本申请的有益效果至少包括：
16、综上所述，本申请的去气泡装置中，借助主管路及浓度计采样口的设置，使采样液中的气泡与液体在浓度计采样口产生气液分离的效果。同时，通过第一液体传感器与第二液体传感器检测主管路中的液位高度，并借助电动阀门的及时开闭将主管路中的气泡及空气排放出去，以降低气泡在主管路内的过量聚集，防止气泡由浓度计采样口进入浓度计。由此，通过本实施例的去气泡装置实现气液分离，去除进入浓度计测量管路的气泡，从而确保浓度计的测量不受气泡的影响，基本避免浓度计因监测到气泡产生的药业浓度误报警，因而提高了浓度计的测量准确性，有利于整个控制系统获得正确的浓度信号，执行对应的、正确的控制指令，进而保证晶圆生产质量和性能。
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1.一种去气泡装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的去气泡装置，其特征在于，所述主管路(10)竖直或倾斜设置。
3.根据权利要求2所述的去气泡装置，其特征在于，所述主管路(10)与水平面的夹角为10°～90°。
4.根据权利要求2所述的去气泡装置，其特征在于，所述主管路(10)与水平面的夹角为45°～90°。
5.根据权利要求1所述的去气泡装置，其特征在于，所述第一液体传感器(30)与所述第二液体传感器(40)都为电容式传感器。
6.根据权利要求1-4中任一项所述的去气泡装置，其特征在于，所述去气泡装置包括控制装置(60)，所述控制装置(60)与所述第一液体传感器(30)、所述第二液体传感器(40)和所述电动阀门(50)信号连接。
7.根据权利要求6所述的去气泡装置，其特征在于，所述去气泡装置包括第一状态和第二状态；
8.一种浓度测量装置，其特征在于，包括浓度计(100)和如权利要求1-7中任一项所述的去气泡装置；
9.根据权利要求8所述的浓度测量装置，其特征在于，所述浓度
10.一种半导体清洗机，其特征在于，包括药液循环管路和如权利要求9所述的浓度测量装置，去气泡装置的主管路(10)的下入口(11)连接所述药液循环管路。
...【技术特征摘要】
1.一种去气泡装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的去气泡装置，其特征在于，所述主管路(10)竖直或倾斜设置。
3.根据权利要求2所述的去气泡装置，其特征在于，所述主管路(10)与水平面的夹角为10°～90°。
4.根据权利要求2所述的去气泡装置，其特征在于，所述主管路(10)与水平面的夹角为45°～90°。
5.根据权利要求1所述的去气泡装置，其特征在于，所述第一液体传感器(30)与所述第二液体传感器(40)都为电容式传感器。
6.根据权利要求1-4中任一项所述的去气泡装置，其特征在于，所述去气泡装置包括控制装置(60)，所述控制...
【专利技术属性】
技术研发人员：张天卫，李海波，张大卫，
申请(专利权)人：上海积塔半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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