一种静电卡盘制造技术

本技术公开了一种静电卡盘，属于半导体技术领域，包括卡盘主体和顶针组件，卡盘主体内设有电极，顶针组件包括第一顶针本体、第二顶针本体和第三顶针本体，第一顶针本体、第二顶针本体、第三顶针本体设置在卡盘主体边缘与卡盘主体中心处之间，顶针组件还包括第一侧限位针、第二侧限位针、第三侧限位针，第一侧限位针、第二侧限位针、第三侧限位针均位于卡盘主体的侧面，第一侧限位针与第一顶针本体通过第一连接件连接，第二侧限位针与第二顶针本体通过第二连接件连接，第三侧限位针与第三顶针本体通过第三连接件连接。通过设置第一顶针本体、第二顶针本体、第三顶针本体来顶起晶圆，减低晶圆的弯曲，其结构更加简单；避免晶圆弹片。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体，特别涉及一种静电卡盘。

技术介绍

1、现有技术中，如公开号为cn216957984u的专利公开了一种静电卡盘，包括：卡盘主体，用于支撑以及夹持晶圆；电极，位于所述卡盘主体内，用于在施加电压时产生库伦吸引力从而将晶圆吸附在卡盘主体上；第一顶针，位于所述卡盘主体的边缘处；第二顶针，位于所述卡盘主体的中心处；其中，所述第一顶针和所述第二顶针沿垂直于卡盘主体的方向竖直移动，以及在卡盘主体释放晶圆后将所述晶圆顶起使所述晶圆脱离卡盘主体。本技术提供的静电卡盘，在静电卡盘释放晶圆后将晶圆顶起时，第一顶针和第二顶针的支撑力可以与晶圆电荷释放不完全产生的库伦吸附力达到平衡，可以使晶圆不发生弯曲/弹片现象，提高工艺效率。

2、但是，在该技术中，设置了多个第一顶针和多个第二顶针，使得静电卡盘结构更复杂，此外，第一顶针处和第二顶针处静电卡盘受到的力不同，第一顶针和第二顶针上顶时，还是容易出现弯曲和/或弹片。

技术实现思路

1、本技术要解决的技术问题是提供一种静电卡盘，以解决
技术介绍
中提出的问题。

2、为了解决上述技术问题，本技术的技术方案为：

3、一种静电卡盘，包括用于支撑及夹持晶圆的卡盘主体和用于顶起晶圆的顶针组件，所述卡盘主体内设有电极，所述顶针组件包括第一顶针本体、第二顶针本体和第三顶针本体，所述第一顶针本体、所述第二顶针本体、所述第三顶针本体设置在所述卡盘主体边缘与所述卡盘主体中心处之间，所述顶针组件还包括第一侧限位针、第二侧限位针、第三侧限位针，所述第一侧限位针、所述第二侧限位针、所述第三侧限位针均位于所述卡盘主体的侧面，所述第一侧限位针与所述第一顶针本体通过第一连接件连接，所述第二侧限位针与所述第二顶针本体通过第二连接件连接，所述第三侧限位针与所述第三顶针本体通过第三连接件连接。

4、优选的，所述第一顶针本体、所述第二顶针本体、所述第三顶针本体与所述卡盘主体中心的距离相等。

5、优选的，所述第一顶针本体、所述第二顶针本体、所述第三顶针本体均布在以所述卡盘主体中心为圆心的圆周上。

6、优选的，所述圆周的半径为所述卡盘主体半径的一半。

7、优选的，所述第一侧限位针、所述第二侧限位针、所述第三侧限位针均为圆柱形。

8、优选的，所述圆柱形第一侧限位针的中心线与所述卡盘主体的中心线之间的距离大于所述卡盘主体的半径与所述第一侧限位针的半径之和，所述圆柱形第二侧限位针的中心线与所述卡盘主体的中心线之间的距离大于所述卡盘主体的半径与所述第二侧限位针的半径之和，所述圆柱形第三侧限位针的中心线与所述卡盘主体的中心线之间的距离大于所述卡盘主体的半径与所述第三侧限位针的半径之和。

9、采用上述技术方案，具有以下有益效果：

10、通过设置第一顶针本体、第二顶针本体、第三顶针本体来顶起晶圆，相对于现有技术而言，减低晶圆的弯曲，其结构更加简单；

11、通过设置第一侧限位针、第二侧限位针、第三侧限位针来限制晶圆，避免晶圆弹片。

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【技术保护点】

1.一种静电卡盘，其特征在于，包括用于支撑及夹持晶圆的卡盘主体和用于顶起晶圆的顶针组件，所述卡盘主体内设有电极，所述顶针组件包括第一顶针本体、第二顶针本体和第三顶针本体，所述第一顶针本体、所述第二顶针本体、所述第三顶针本体设置在所述卡盘主体边缘与所述卡盘主体中心处之间，所述顶针组件还包括第一侧限位针、第二侧限位针、第三侧限位针，所述第一侧限位针、所述第二侧限位针、所述第三侧限位针均位于所述卡盘主体的侧面，所述第一侧限位针与所述第一顶针本体通过第一连接件连接，所述第二侧限位针与所述第二顶针本体通过第二连接件连接，所述第三侧限位针与所述第三顶针本体通过第三连接件连接。

2.根据权利要求1所述的一种静电卡盘，其特征在于，所述第一顶针本体、所述第二顶针本体、所述第三顶针本体与所述卡盘主体中心的距离相等。

3.根据权利要求2所述的一种静电卡盘，其特征在于，所述第一顶针本体、所述第二顶针本体、所述第三顶针本体均布在以所述卡盘主体中心为圆心的圆周上。

4.根据权利要求3所述的一种静电卡盘，其特征在于，所述圆周的半径为所述卡盘主体半径的一半。

5.根据权利要求1所述的一种静电卡盘，其特征在于，所述第一侧限位针、所述第二侧限位针、所述第三侧限位针均为圆柱形。

6.根据权利要求5所述的一种静电卡盘，其特征在于，所述圆柱形第一侧限位针的中心线与所述卡盘主体的中心线之间的距离大于所述卡盘主体的半径与所述第一侧限位针的半径之和，所述圆柱形第二侧限位针的中心线与所述卡盘主体的中心线之间的距离大于所述卡盘主体的半径与所述第二侧限位针的半径之和，所述圆柱形第三侧限位针的中心线与所述卡盘主体的中心线之间的距离大于所述卡盘主体的半径与所述第三侧限位针的半径之和。

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【技术特征摘要】

1.一种静电卡盘，其特征在于，包括用于支撑及夹持晶圆的卡盘主体和用于顶起晶圆的顶针组件，所述卡盘主体内设有电极，所述顶针组件包括第一顶针本体、第二顶针本体和第三顶针本体，所述第一顶针本体、所述第二顶针本体、所述第三顶针本体设置在所述卡盘主体边缘与所述卡盘主体中心处之间，所述顶针组件还包括第一侧限位针、第二侧限位针、第三侧限位针，所述第一侧限位针、所述第二侧限位针、所述第三侧限位针均位于所述卡盘主体的侧面，所述第一侧限位针与所述第一顶针本体通过第一连接件连接，所述第二侧限位针与所述第二顶针本体通过第二连接件连接，所述第三侧限位针与所述第三顶针本体通过第三连接件连接。

2.根据权利要求1所述的一种静电卡盘，其特征在于，所述第一顶针本体、所述第二顶针本体、所述第三顶针本体与所述卡盘主体中心的距离相等。

3.根据权利要求2所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：李君，石锗元，陈振宁，裘祝恒，肖伟，
申请(专利权)人：君原电子科技海宁有限公司，
类型：新型
国别省市：