【技术实现步骤摘要】
本技术涉及上下料设备，尤其涉及一种上下取料装置。
技术介绍
1、在制成硅晶片的过程中，将晶棒送入切片设备进行切片(称之为上料)或将完成切片的晶棒从切片设备中取出(称之为下料或取料，所谓的“料”为晶棒或切片后的仍然固定在晶托上的晶片，统称为物料)，往往有两种运送模式：模式一、人工模式：操作工人开着专用小车，通过专用小车上设置的机械手抓取晶棒，由人工操控机械手进行上料或下料(简称上下取料)；模式二、自动化模式：通过自动化手段(如无人小车、输送线配合机器人等自动化设备)实现上下取料。
2、对于人工模式而言，由于每次操作的个体差异大，至少操作效率和安全性难以得到保证，而且在下料过程中经常会出现碎片(即晶片破损)现象，影响晶片合格率，不利于产品的批量化生产。此外，专用小车占用空间较大，降低厂房有效利用率，不利于晶片产品生产成本控制；晶棒被切割后产生的硅雾影响厂房环境，对操作工人身体也有一定的不利影响。
3、对于自动化模式而言，输送线的机械结构复杂，设备体积大，占用现场地面空间大，自动化设备成本高、维修难度大，而且对自动化设备操控精度要求高，不仅不利于晶片产品生产成本控制，而且容易出现上下取料的失败现象，需及时停机排查问题，致使影响生产效率。
4、此外，现有的上下取料手段均是针对切片设备的横向进行上下取料，横向上下取料时，容易出现磕碰现象，从而影响晶片合格率。
技术实现思路
1、本技术的目的在于解决现有技术存在的上述问题而提供一种上下取料装置，其与设置在切片
2、本技术的上述技术目的主要是通过以下技术方案解决的：一种上下取料装置，其特征在于包括基座，设置在基座上的上下取料机构，所述上下取料机构包括设置在所述基座上的升降机构和设置在所述升降机构上的取放机构，所述基座可在轨道机构上移动用于改变上下取料机构的位置，所述升降机构用于使取放机构下降用于向下下料、上升用于复位或向上取料，所述取放机构张开用于放料、收紧用于抓料。其与设置在切片设备上方的轨道配合使用，通过第三动力驱动机构与轨道配合推动基座移动，使上下取料装置位于切片设备上方自上而下纵向向下向切片设备送入晶棒进行切片、或自下而上从切片设备中纵向取料并通过第三动力驱动机构推动基座将物料移送至合适位置。
3、由于采用了纵向取、放物料的方式，可有效避免物料在取放过程中出现磕碰现象而破损，且轨道和上下取料装置均设置在切片设备上方，避免占用厂房地面空间，有利于提高厂房利用率，有利于避免对操作人员产生干涉影响，且通过各驱动机构使上下取料装置上的相应机构自动化工作，不仅有利于提高工作效率，还有利于提高工作准确率。
4、作为对上述技术方案的进一步完善和补充，本技术采用如下技术措施：所述上下取料机构为两组，分别设置在所述基座相对的两侧，并与基座移动方向相对应设置。一个基座上设置两组上下取料机构，有利于提高基座利用率，从而面对相同数量的切片设备，有利于减少上下取料装置的数量，有利于控制上下取料装置的成本，进而有利于控制晶片的最终成本，还有利于提高上下取料的工作效率，即，同一基座上的一组上下取料机构用于从切片设备中取料，基座稍作移动后，另一组上下取料机构则可以向切片设备中放料。
5、作为优选，所述升降机构至少包括一级升降架，驱动所述一级升降架纵向移动的一级驱动机构，所述一级升降架和所述基座之间设置一级纵向导向组件，所述一级纵向导向组件用于使所述一级升降架纵向直线移动。当升降机构只设置一级升降架时，取放机构则设置在一级升降架的底部，通过一级升降架下移伸入切片设备的内腔中，通过取放机构取料或放料，当一级升降架下移时，使取放机构离开切片设备的内腔。
6、作为优选，所述一级驱动机构包括第一动力源，通过第一减速器与所述第一动力源配合的丝杆，设置在所述一级升降架上的丝杆螺母，所述第一动力源和第一减速器配合用于驱动所述丝杆转动，所述丝杆与丝杆螺母配合，使所述一级升降架上升或下降。丝杆、丝杆螺母以及第一减速器的配合，能够精准控制一级升降架上移或下移动的精度，实现精准取放物料的目的。
7、作为优选，为了进一步提高控制精准性和提高安全性，避免在惯性作用下产生位移偏差，所述一级升降架和所述基座之间设置限位结构和限位控制开关，所述限位结构包括上下布置方式设置在所述基座上的上限位挡块和/或下限位挡块、设置在所述一级升降架上的限位挡板，所述一级升降架的上端与所述上限位挡块配合用于限位，所述限位挡板与所述下限位挡块配合用于限位，所述限位控制开关包括择一设置在所述基座和所述一级升降架上的第一接近开关和第一感应板，所述接近开关和接近开关感应板配合用于升降软限位。
8、作为优选，所述升降机构还包括设置在所述一级升降架上的二级升降架，设置在所述二级升降架和所述一级升降架之间的二级纵向导向组件，用于使所述二级升降架进行纵向移动的联动机构所述二级纵向导向组件用于使所述二级升降架纵向直线移动，所述联动机构使所述二级升降架随着所述一级升降架的升降动作做适用性的升降动作。二级升降架的设置，确保升降总长度不变的前提下，有利于减小升降机构叠置状态时的长度，进而有利于减小基座的高度，有利于减小上下取料装置的整体高度，从而减小整体体积，有利于节约占用空间和制备成本。
9、作为优选，所述联动机构包括链条，及与链条啮合的链条轮，所述链条轮固定在所述一级升降架上，所述链条的一端固定在所述基座上、另一端固定在所述二级升降架上，随着所述一级升降架的移动，所述链条带动所述二级升降架同步移动。链条轮在本技术方案中达到了定滑轮的作用，通过一级升降架下移或上移，带动链条轮下移或上移，使二级升降架下移或上移，且二级升降架的移动速度是一级升降架的移动速度的两倍，进一步有利于提高上下取料装置的上下取料效率。
10、作为优选，所述联动机构还包括设置在所述基座上或所述二级升降架上的链条调节座，所述链条对应端固定在所述链条调节座上，所述链条调节座用于调节所述链条长度。
11、作为优选，所述取放机构包括设置在所述升降机构的底部的取放座，设置在所述取放座上的取放件，用于驱动所述取放件抓取物料或放开物料的第二动力驱动机构，用于对所述取放件移动进行导向的直线导向组件。
12、作为优选，沿着所述基座移动方向的相对两侧，所述基座上分别设置两组移动导向组件，用于使所述基座沿着确定路线来回移动。所述移动导向组件包括导向座，设置在所述导向座的底部的导向件，设置在所述导向座上的第三动力驱动机构，所述导向座向外延于所述基座的外侧，用于避让所述上下取料机构，所述第三动力驱动机构用于与轨道配合推动所述本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种上下取料装置，其特征在于包括基座(1)，设置在基座(1)上的上下取料机构，所述上下取料机构包括设置在所述基座(1)上的升降机构和设置在所述升降机构上的取放机构，所述基座(1)可在轨道机构上移动用于改变上下取料机构的位置，所述升降机构用于使取放机构下降用于向下下料、上升用于复位或向上取料，所述取放机构张开用于放料、收紧用于抓料。
2.根据权利要求1所述的上下取料装置，其特征在于所述上下取料机构为两组，分别设置在所述基座(1)相对的两侧，并与基座(1)移动方向相对应设置。
3.根据权利要求1或2所述的上下取料装置，其特征在于所述升降机构至少包括一级升降架(2)，驱动所述一级升降架(2)纵向移动的一级驱动机构，所述一级升降架(2)和所述基座(1)之间设置一级纵向导向组件，所述一级纵向导向组件用于使所述一级升降架(2)纵向直线移动。
4.根据权利要求3所述的上下取料装置，其特征在于所述一级驱动机构包括第一动力源(3)，通过第一减速器(4)与所述第一动力源(3)配合的丝杆(5)，设置在所述一级升降架(2)上的丝杆螺母(6)，所述第一动力源(3)和
5.根据权利要求4所述的上下取料装置，其特征在于所述一级升降架(2)和所述基座(1)之间设置限位结构和限位控制开关，所述限位结构包括上下布置方式设置在所述基座(1)上的上限位挡块(7)和/或下限位挡块(8)、设置在所述一级升降架(2)上的限位挡板(9)，所述一级升降架(2)的上端与所述上限位挡块(7)配合用于限位，所述限位挡板(9)与所述下限位挡块(8)配合用于限位，所述限位控制开关包括分别择一设置在所述基座(1)和所述一级升降架(2)上的第一接近开关和第一感应板(11)，所述接近开关和接近开关感应板配合用于升降软限位。
6.根据权利要求3所述的上下取料装置，其特征在于所述升降机构还包括设置在所述一级升降架(2)上的二级升降架(12)，设置在所述二级升降架(12)和所述一级升降架(2)之间的二级纵向导向组件，用于使所述二级升降架(12)进行纵向移动的联动机构所述二级纵向导向组件用于使所述二级升降架(12)纵向直线移动，所述联动机构使所述二级升降架(12)随着所述一级升降架(2)的升降动作做适用性的升降动作。
7.根据权利要求6所述的上下取料装置，其特征在于所述联动机构包括链条(13)，及与链条(13)啮合的链条轮(14)，所述链条轮(14)固定在所述一级升降架(2)上，所述链条(13)的一端固定在所述基座(1)上、另一端固定在所述二级升降架(12)上，随着所述一级升降架(2)的移动，所述链条(13)带动所述二级升降架(12)同步移动。
8.根据权利要求7所述的上下取料装置，其特征在于所述联动机构还包括设置在所述基座(1)上或所述二级升降架(12)上的链条调节座(15)，所述链条(13)对应端固定在所述链条调节座(15)上，所述链条调节座(15)用于调节所述链条(13)长度。
9.根据权利要求3所述的上下取料装置，其特征在于所述取放机构包括设置在所述升降机构的底部的取放座(16)，设置在所述取放座(16)上的取放件(29)，用于驱动所述取放件(29)抓取物料或放开物料的第二动力驱动机构，用于对所述取放件(29)移动进行导向的直线导向组件。
10.根据权利要求3所述的上下取料装置，其特征在于沿着所述基座(1)移动方向的相对两侧，所述基座(1)上分别设置两组移动导向组件，用于使所述基座(1)沿着确定路线来回移动，所述移动导向组件包括导向座(17)，设置在所述导向座(17)的底部的导向件(18)，设置在所述导向座(17)上的第三动力驱动机构，所述导向座(17)向外延于所述基座(1)的外侧，用于避让所述上下取料机构，所述第三动力驱动机构用于与轨道配合推动所述基座(1)移动，所述导向件(18)用于与轨道配合进行导向。
...【技术特征摘要】
1.一种上下取料装置，其特征在于包括基座(1)，设置在基座(1)上的上下取料机构，所述上下取料机构包括设置在所述基座(1)上的升降机构和设置在所述升降机构上的取放机构，所述基座(1)可在轨道机构上移动用于改变上下取料机构的位置，所述升降机构用于使取放机构下降用于向下下料、上升用于复位或向上取料，所述取放机构张开用于放料、收紧用于抓料。
2.根据权利要求1所述的上下取料装置，其特征在于所述上下取料机构为两组，分别设置在所述基座(1)相对的两侧，并与基座(1)移动方向相对应设置。
3.根据权利要求1或2所述的上下取料装置，其特征在于所述升降机构至少包括一级升降架(2)，驱动所述一级升降架(2)纵向移动的一级驱动机构，所述一级升降架(2)和所述基座(1)之间设置一级纵向导向组件，所述一级纵向导向组件用于使所述一级升降架(2)纵向直线移动。
4.根据权利要求3所述的上下取料装置，其特征在于所述一级驱动机构包括第一动力源(3)，通过第一减速器(4)与所述第一动力源(3)配合的丝杆(5)，设置在所述一级升降架(2)上的丝杆螺母(6)，所述第一动力源(3)和第一减速器(4)配合用于驱动所述丝杆(5)转动，所述丝杆(5)与丝杆螺母(6)配合，使所述一级升降架(2)上升或下降。
5.根据权利要求4所述的上下取料装置，其特征在于所述一级升降架(2)和所述基座(1)之间设置限位结构和限位控制开关，所述限位结构包括上下布置方式设置在所述基座(1)上的上限位挡块(7)和/或下限位挡块(8)、设置在所述一级升降架(2)上的限位挡板(9)，所述一级升降架(2)的上端与所述上限位挡块(7)配合用于限位，所述限位挡板(9)与所述下限位挡块(8)配合用于限位，所述限位控制开关包括分别择一设置在所述基座(1)和所述一级升降架(2)上的第一接近开关和第一感应板(11)，所述接近开关和接近开关感应板配合用于升降软限位。
6.根据权利要求3所述的上下取料装置，其特征在于所...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵飞凡，袁华中，夏小英，朱吉元，朱一鸣，
申请(专利权)人：浙江精工新能源装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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