【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种石英产品清洗技术，更具体地说，它涉及一种超声波洗净槽。
技术介绍
1、随着半导体器件和集成电路的制造的集成度不断提高，器件的特征尺寸越小，对晶圆表面洁净度要求越来越高，对晶圆表面的颗粒物的检测频率要求越来越高，而液中粒子测试（lpc测试）要求需要强度稳定的超声波槽，但目前市面上的超声波槽很难满足这一要求。现在常用的超声波清洗槽的槽内强度分散不均匀，槽内超声波强度在不同位置差别较大，不同振子间会产生干涉，导致某些位置强度很大或很小。
技术实现思路
1、为了克服上述不足，本专利技术提供了一种超声波洗净槽，槽内振动强度均匀稳定，对晶圆表面的颗粒物清洗效果好，保证晶圆表面颗粒物检测的精准性。
2、为了解决上述技术问题，本专利技术采用以下技术方案：一种超声波洗净槽，包括振动外槽和洗净内槽，振动外槽底部安装若干个呈网格状布设的换能器，换能器均与超声波发生器连接；振动外槽内安装支撑网架，洗净内槽支撑在支撑网架上。
3、晶圆产品清洗时，将晶圆产品放置到洗净内槽中，然后将洗净内槽装载到振动外槽中的支撑网架上。启动超声波发生器和换能器，使振动外槽内产生超声波振动，超声波振动传递到洗净内槽中，对洗净内槽中的晶圆产品进行超声波清洗。由于若干换能器呈网格状布设在振动外槽底部，因此振动外槽内各个位置的超声波振动强度更加均匀。而且振动外槽内安装了支撑网架，洗净内槽支撑在支撑网架上，支撑网架能够分散超声波的振动到各个位置，使支撑网架各个位置的振动强度更加均匀，进而使洗净内
4、本专利申请的超声波洗净槽的洗净内槽中各个位置振动强度均匀稳定，对晶圆表面的颗粒物清洗效果好，保证晶圆表面颗粒物检测的精准性。
5、作为优选，振动外槽底部设置安装腔，安装腔内安装有安装架，换能器均安装在安装架上。
6、振动外槽底部设置安装腔，方便了换能器的安装。换能器安装在安装架上，平稳可靠。
7、作为优选，振动外槽底部设置排水孔，排水孔连接排水管，排水管延伸到振动外槽外部。
8、排水孔设置在振动外槽底部，排水管延伸到振动外槽外部，便于水流的排出。
9、作为优选，洗净内槽顶部安装防护网架。
10、防护网架大于洗净内槽的晶圆产品起到了防护作用。同时防护网架置于洗净内槽顶部能够实现振动的传递，有利于使洗净内槽各个位置的振动强度更加均匀。
11、作为优选，洗净内槽上方设置支架，支架上可拆卸安装若干振动强度检测探头，振动强度检测探头下端插入到洗净内槽中并按网格分布在各个位置。
12、在洗净内槽各个位置安装振动强度检测探头进行超声波振动强度的检测，保证各个位置的强度均匀温度。当各个位置强度偏差较大时，通过调整洗净内槽的位置，调整超声波发生器的电流强度和频率，实现对不同位置换能器振动强度的调整，最终使洗净内槽各个位置的超声波振动强度均匀稳定。
13、第二种方案，振动外槽内安装若干均振浮球，均振浮球和振动外槽底部之间连接拉绳。
14、均振浮球浸没在振动外槽内的液体中，振动外槽内液体受到超声波振动后，均振浮球振动，均振浮球打散均分振动，使振动外槽各个位置的超声波振动强度均匀稳定。
15、作为优选，支撑网架上方和下方均设置若干均振浮球。
16、均振浮球在振动外槽各个位置都有分布，有利于振动外槽内各个位置的振动强度的均匀性和稳定性。
17、第三种方案，振动外槽内支撑网架下方安装均振架，均振架横向往复移动设置。
18、通过振动外槽内均振架的往复移动，对振动外槽内的超声波振动进行横向打散均分，有利于振动外槽内各个位置的振动强度的均匀性和稳定性。
19、作为优选，振动外槽顶部安装滑动块和驱动电机，滑动块和均振架之间连接延伸杆，驱动电机输出轴连接转盘，转盘和滑动块之间铰接连杆。
20、驱动电机带动转盘转动，转盘通过连杆实现对滑动块的推拉移动，进而实现延伸杆和均振架的横向往复移动。
21、第四种方案，振动外槽底部安装若干排间隔设置的均振细杆。
22、超声波发生器和换能器工作过程中，超声波振动传递到振动外槽内的均振细杆，经过均振细杆的打散均分，有利于振动外槽内各个位置的振动强度的均匀性和稳定性。
23、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：（1）本专利申请的超声波洗净槽的洗净内槽中各个位置振动强度均匀稳定，对晶圆表面的颗粒物清洗效果好，保证晶圆表面颗粒物检测的精准性；（2）清洗之前调整洗净内槽的位置，调整超声波发生器的电流强度和频率，实现对不同位置换能器振动强度的调整，最终使洗净内槽各个位置的超声波振动强度均匀稳定，确保晶圆产品在洗净内槽清洗的过程各个位置振动强度的均匀稳定，保证清洗效果。
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1.一种超声波洗净槽，其特征是，包括振动外槽和洗净内槽，振动外槽底部安装若干个呈网格状布设的换能器，换能器均与超声波发生器连接；振动外槽内安装支撑网架，洗净内槽支撑在支撑网架上。
2.根据权利要求1所述的一种超声波洗净槽，其特征是，振动外槽底部设置安装腔，安装腔内安装有安装架，换能器均安装在安装架上。
3.根据权利要求1所述的一种超声波洗净槽，其特征是，振动外槽底部设置排水孔，排水孔连接排水管，排水管延伸到振动外槽外部。
4.根据权利要求1所述的一种超声波洗净槽，其特征是，洗净内槽顶部安装防护网架。
5.根据权利要求1所述的一种超声波洗净槽，其特征是，洗净内槽上方设置支架，支架上可拆卸安装若干振动强度检测探头，振动强度检测探头下端插入到洗净内槽中并按网格分布在各个位置。
6.根据权利要求1至5任意一项所述的一种超声波洗净槽，其特征是，振动外槽内安装若干均振浮球，均振浮球和振动外槽底部之间连接拉绳。
7.根据权利要求6所述的一种超声波洗净槽，其特征是，支撑网架上方和下方均设置若干均振浮球。
8.根据
9.根据权利要求8所述的一种超声波洗净槽，其特征是，振动外槽顶部安装滑动块和驱动电机，滑动块和均振架之间连接延伸杆，驱动电机输出轴连接转盘，转盘和滑动块之间铰接连杆。
10.根据权利要求1至5任意一项所述的一种超声波洗净槽，其特征是，振动外槽底部安装若干排间隔设置的均振细杆。
...【技术特征摘要】
1.一种超声波洗净槽，其特征是，包括振动外槽和洗净内槽，振动外槽底部安装若干个呈网格状布设的换能器，换能器均与超声波发生器连接；振动外槽内安装支撑网架，洗净内槽支撑在支撑网架上。
2.根据权利要求1所述的一种超声波洗净槽，其特征是，振动外槽底部设置安装腔，安装腔内安装有安装架，换能器均安装在安装架上。
3.根据权利要求1所述的一种超声波洗净槽，其特征是，振动外槽底部设置排水孔，排水孔连接排水管，排水管延伸到振动外槽外部。
4.根据权利要求1所述的一种超声波洗净槽，其特征是，洗净内槽顶部安装防护网架。
5.根据权利要求1所述的一种超声波洗净槽，其特征是，洗净内槽上方设置支架，支架上可拆卸安装若干振动强度检测探头，振动强度检测探头下端插入到洗净内槽中并按...
【专利技术属性】
技术研发人员：李一峰，王汝梅，林胜雄，刘安剑，杨军，
申请(专利权)人：杭州大和热磁电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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