【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片加工,具体的说是一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装。
技术介绍
1、加工获得硅片的流程包括以下步骤:第一步工序为粘连晶棒、第二步为切割、第三步为硅片清洗。
2、其中粘连晶棒的步骤为:根据不同型号的线切割机选取合适的金属定位条7,之后如图1所示将金属定位条7上开设的沉头孔13与夹持工装所包括移动载板2上开设的定位孔14对应,随后使用螺钉穿过沉头孔13与定位孔14螺纹连接来,将金属定位条7固定在夹持工装所包括的移动载板2上,之后利用夹持工装对晶棒进行限位,然后便可利用粘棒工装与晶棒贴合进行粘棒,在粘棒结束后便可将粘棒工装与晶棒静置稳固粘连,随后便可进行下一步,将粘接好的晶棒工装放置到线切割机中进行切割。
3、由上所述不难得知,使用不同型号的线切割机加工制备硅片时,需要更换不同的金属定位条7进行粘晶棒工序,但是现有的金属定位条7在更换时,需要工作人员通过经验进行沉头孔13与定位孔14的同轴心对齐。并且在拿持更换金属定位条7的过程中,工作人员常存在操作不规范的情况,即将金属定位条7由上至下摆在夹持工装所包括的移动载板2上,然后再横移金属定位条7使沉头孔13与定位孔14对齐,随后连接螺钉进行定位,但是在此过程中容易令金属定位条7与夹持工装所包括的传感器8产生碰撞造成夹持工装的损坏。
技术实现思路
1、本技术旨在提供一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装,以提高金属定位条更换效率并降低夹持工装所包括的传感器与金属定位条碰撞而损坏的概率。
...【技术保护点】
1.一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装,包括移动载板(2)以及设置在移动载板(2)上的固定金属条(1)、固定挡块(4)、金属定位条(7)和传感器(8),移动载板(2)上开设有定位孔(14),金属定位条(7)上开设有沉头孔(13),沉头孔(13)和定位孔(14)供螺钉配合将金属定位条(7)定位在移动载板(2)上,其特征在于:所述移动载板(2)背离操作工位的一侧固定有横向限制块(3),所述固定挡块(4)朝向固定金属条(1)的一侧面固定有导向条(5),所述金属定位条(7)上开设的导向槽(6)与导向条(5)滑动配合,导向条(5)与导向槽(6)滑动配合用于导向金属定位条(7)的安装,并配合横向限制块(3)令沉头孔(13)与定位孔(14)快速对应,且避免金属定位条(7)安装过程中与传感器(8)的碰撞。
2.根据权利要求1所述的一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装,其特征在于:所述导向条(5)以及导向槽(6)均为燕尾状。
3.根据权利要求1所述的一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装,其特征在于:所述导向槽(6)与导向条(5)为间隙配合。
...【技术特征摘要】
1.一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装,包括移动载板(2)以及设置在移动载板(2)上的固定金属条(1)、固定挡块(4)、金属定位条(7)和传感器(8),移动载板(2)上开设有定位孔(14),金属定位条(7)上开设有沉头孔(13),沉头孔(13)和定位孔(14)供螺钉配合将金属定位条(7)定位在移动载板(2)上,其特征在于:所述移动载板(2)背离操作工位的一侧固定有横向限制块(3),所述固定挡块(4)朝向固定金属条(1)的一侧面固定有导向条(5),所述金属定位条(7)上开设的导向槽(6)与导向条(5)滑动配合,导向条(5)与导向槽(6)滑动配合用于导向金属定位条(7)的安装,并配合横向限制块(3)令沉头孔(13)与定位孔(14)快速对应,且避免金属定位条(7)安装过程中与传感器(8)的碰撞。
2.根据权利要求1所述的一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装,其特征在于:所述导向条(5)以及导向槽(6)均为燕尾状。
3.根据权利要求1所述的一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装,其特征在于:所述导向槽(6)与导向条(5)为间隙配合。
4.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:王晓飞,韩天浩,杨林发,
申请(专利权)人:麦斯克电子材料股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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