一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装制造技术

技术编号:44344356 阅读:0 留言:0更新日期:2025-02-25 09:32
一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装,涉及硅片加工技术领域,包括移动载板以及设置在移动载板上的固定金属条、固定挡块、金属定位条和传感器,移动载板上开设有定位孔,金属定位条上开设有沉头孔,沉头孔和定位孔供螺钉配合将金属定位条定位在移动载板上,所述移动载板背离操作工位的一侧固定有横向限制块,所述固定挡块朝向固定金属条的一侧面固定有导向条,所述金属定位条上开设的导向槽与导向条滑动配合。以提高金属定位条更换效率并降低夹持工装上传感器与金属定位条碰撞造成损坏的概率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片加工,具体的说是一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装


技术介绍

1、加工获得硅片的流程包括以下步骤:第一步工序为粘连晶棒、第二步为切割、第三步为硅片清洗。

2、其中粘连晶棒的步骤为:根据不同型号的线切割机选取合适的金属定位条7,之后如图1所示将金属定位条7上开设的沉头孔13与夹持工装所包括移动载板2上开设的定位孔14对应,随后使用螺钉穿过沉头孔13与定位孔14螺纹连接来,将金属定位条7固定在夹持工装所包括的移动载板2上,之后利用夹持工装对晶棒进行限位,然后便可利用粘棒工装与晶棒贴合进行粘棒,在粘棒结束后便可将粘棒工装与晶棒静置稳固粘连,随后便可进行下一步,将粘接好的晶棒工装放置到线切割机中进行切割。

3、由上所述不难得知,使用不同型号的线切割机加工制备硅片时,需要更换不同的金属定位条7进行粘晶棒工序,但是现有的金属定位条7在更换时,需要工作人员通过经验进行沉头孔13与定位孔14的同轴心对齐。并且在拿持更换金属定位条7的过程中,工作人员常存在操作不规范的情况,即将金属定位条7由上至下摆在夹持工装所包括的移动载板2上,然后再横移金属定位条7使沉头孔13与定位孔14对齐,随后连接螺钉进行定位,但是在此过程中容易令金属定位条7与夹持工装所包括的传感器8产生碰撞造成夹持工装的损坏。


技术实现思路

1、本技术旨在提供一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装,以提高金属定位条更换效率并降低夹持工装所包括的传感器与金属定位条碰撞而损坏的概率。p>

2、为了解决以上技术问题,本技术采用的具体方案为:

3、一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装,包括移动载板以及设置在移动载板上的固定金属条、固定挡块、金属定位条和传感器,移动载板上开设有定位孔,金属定位条上开设有沉头孔,沉头孔和定位孔供螺钉配合将金属定位条定位在移动载板上,所述移动载板背离操作工位的一侧固定有横向限制块,所述固定挡块朝向固定金属条的一侧面固定有导向条,所述金属定位条上开设的导向槽与导向条滑动配合,导向条与导向槽滑动配合用于导向金属定位条的安装,并配合横向限制块令沉头孔与定位孔快速对应,且避免金属定位条安装过程中与传感器的碰撞。

4、作为本技术一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装的进一步优化,所述导向条以及导向槽均为燕尾状。

5、作为本技术一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装的进一步优化,所述导向槽与导向条为间隙配合。

6、作为本技术一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装的进一步优化,所述移动载板靠近操作工位的一端固定有导向板,导向板顶面与移动载板工作面平齐,导向板用于导向金属定位条使导向槽与导向条对接。

7、作为本技术一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装的进一步优化,所述导向板靠近操作工位的一端开设有扩口槽,扩口槽用于使金属定位条快捷与导向板对接。

8、作为本技术一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装的进一步优化,所述导向板上开设有弧形槽,弧形槽背离操作工位的一端与移动载板工作面平齐,弧形槽用于导向金属定位条使导向槽与导向条对接。

9、作为本技术一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装的进一步优化,所述导向板与移动载板之间固定连接有加固筋。

10、作为本技术一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装的进一步优化,所述导向板的表面粗糙度为ra6.3~ra12.5

11、本技术与现有技术相比存在的有益效果为:

12、1)本技术通过设置导向槽以及导向条的配合对金属定位条的安装进行导向,进而避免了工作人员的操作不规范即由上至下更换金属定位条的现象,即避免工作人员因操作不规范导致传感器与金属定位条的碰撞而损坏的现象。同时还可配合横向限制块辅助工作人员快速将沉头孔与定位孔对应,进而便于工作人员通过螺钉将金属定位条定位在移动载板上。从而提高了金属定位条的更换效率并降低了夹持工装所包括的传感器与金属定位条碰撞而损坏的概率。

13、2)作为本技术的优选方式,通过设置导向板辅助工作人员放置金属定位条,同时还将辅助金属定位条上开设的导向槽与导向条对接,进而进行后续的推动连接操作,并且通过导向板上开设的扩口槽辅助工作人员放置金属定位条端部对接导向槽与导向条,同时通过设置弧形槽稳定导向金属定位条的推动令导向槽与导向条对应,且导向板表面粗糙度为ra6.3~ra12.5,进而能够保持导向金属定位条与导向板相对滑动的省力性。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装,包括移动载板(2)以及设置在移动载板(2)上的固定金属条(1)、固定挡块(4)、金属定位条(7)和传感器(8),移动载板(2)上开设有定位孔(14),金属定位条(7)上开设有沉头孔(13),沉头孔(13)和定位孔(14)供螺钉配合将金属定位条(7)定位在移动载板(2)上,其特征在于:所述移动载板(2)背离操作工位的一侧固定有横向限制块(3),所述固定挡块(4)朝向固定金属条(1)的一侧面固定有导向条(5),所述金属定位条(7)上开设的导向槽(6)与导向条(5)滑动配合,导向条(5)与导向槽(6)滑动配合用于导向金属定位条(7)的安装,并配合横向限制块(3)令沉头孔(13)与定位孔(14)快速对应,且避免金属定位条(7)安装过程中与传感器(8)的碰撞。

2.根据权利要求1所述的一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装,其特征在于:所述导向条(5)以及导向槽(6)均为燕尾状。

3.根据权利要求1所述的一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装,其特征在于:所述导向槽(6)与导向条(5)为间隙配合。

4.根据权利要求1所述的一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装,其特征在于:所述移动载板(2)靠近操作工位的一端固定有导向板(9),导向板(9)顶面与移动载板(2)工作面平齐,导向板(9)用于导向金属定位条(7)使导向槽(6)与导向条(5)对接。

5.根据权利要求4所述的一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装,其特征在于:所述导向板(9)靠近操作工位的一端开设有扩口槽(12),扩口槽(12)用于使金属定位条(7)快捷与导向板(9)对接。

6.根据权利要求4所述的一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装,其特征在于:所述导向板(9)上开设有弧形槽(11),弧形槽(11)背离操作工位的一端与移动载板(2)工作面平齐,弧形槽(11)用于导向金属定位条(7)使导向槽(6)与导向条(5)对接。

7.根据权利要求4所述的一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装,其特征在于:所述导向板(9)与移动载板(2)之间固定连接有加固筋(10)。

8.根据权利要求4所述的一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装,其特征在于:所述导向板(9)的表面粗糙度为Ra6.3~Ra12.5。

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【技术特征摘要】

1.一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装,包括移动载板(2)以及设置在移动载板(2)上的固定金属条(1)、固定挡块(4)、金属定位条(7)和传感器(8),移动载板(2)上开设有定位孔(14),金属定位条(7)上开设有沉头孔(13),沉头孔(13)和定位孔(14)供螺钉配合将金属定位条(7)定位在移动载板(2)上,其特征在于:所述移动载板(2)背离操作工位的一侧固定有横向限制块(3),所述固定挡块(4)朝向固定金属条(1)的一侧面固定有导向条(5),所述金属定位条(7)上开设的导向槽(6)与导向条(5)滑动配合,导向条(5)与导向槽(6)滑动配合用于导向金属定位条(7)的安装,并配合横向限制块(3)令沉头孔(13)与定位孔(14)快速对应,且避免金属定位条(7)安装过程中与传感器(8)的碰撞。

2.根据权利要求1所述的一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装,其特征在于:所述导向条(5)以及导向槽(6)均为燕尾状。

3.根据权利要求1所述的一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装,其特征在于:所述导向槽(6)与导向条(5)为间隙配合。

4.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:王晓飞韩天浩杨林发
申请(专利权)人:麦斯克电子材料股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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