【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅片花篮，尤其涉及一种具备防倾倒功能的硅片花篮。
技术介绍
1、在半导体制造工艺中，硅片是关键材料之一。为了确保硅片在传输、清洗和存储过程中的安全性和洁净度，通常使用硅片花篮来承载和保护硅片，然而，传统的硅片花篮不具备相应的防倾倒结构，在运输或操作过程中，如果硅片花篮受到外力冲击或不平稳的操作，传统的硅片花篮容易发生倾倒，导致硅片受损，因此急需改进。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种具备防倾倒功能的硅片花篮，旨在解决上述技术问题。
2、为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
3、一种具备防倾倒功能的硅片花篮，包括花篮端板，所述花篮端板设置有两个，且两个花篮端板间设置有多个花篮支杆，各个所述花篮支杆上开设有用于放置硅片的硅片槽，具备防倾倒功能的硅片花篮还包括：
4、垫块，固定设置于所述花篮端板上，且每个花篮端板上对称设置有两个垫块；
5、垫板，位于所述垫块正下方，所述垫板一端开设有连接槽，所述垫板另一端固定设置有插杆，所述插杆表面开设有两个对称设置的球头槽，所述垫板两侧开设有与连接槽连通的杆槽，所述垫板上开设有两组第一缓震槽，且两组第一缓震槽对称分布在所述垫板上，所述垫板上开设有两组第二缓震槽，且两组第二缓震槽对称分布在所述垫板上，所述第二缓震槽外侧设置有内置槽；
6、控制装置，固定设置于所述垫板上；
7、缓震机构，设置于所述垫块上，所述缓震机构与所述
8、轴向防倒机构，设置于所述缓震机构上，所述轴向防倒机构与所述控制装置电连接，所述轴向防倒机构用于防止硅片花篮在花篮支杆轴线的方向上发生倾倒；
9、侧边防倒机构，设置于所述缓震机构上，所述侧边防倒机构与所述控制装置电连接，所述侧边防倒机构用于防止硅片花篮在垂直于花篮支杆轴线的方向上发生倾倒。
10、优选地，所述缓震机构包括：
11、第一缓震部，设置于所述垫块上，所述第一缓震部用于缓解花篮端板所受到的冲击；
12、第二缓震部，设置于所述垫块上，所述第二缓震部用于进一步的缓解花篮端板所受到的冲击。
13、优选地，所述第一缓震部包括：
14、第一缓震杆，固定设置于所述垫块靠近垫板的表面，所述第一缓震杆与所述第一缓震槽滑动连接；
15、阻挡板，滑动设置于所述第一缓震槽内，且阻挡板靠近第一缓震杆的表面与所述第一缓震杆固定连接；
16、第一缓震弹簧，设置于所述第一缓震槽内，且第一缓震弹簧靠近阻挡板的一端与所述阻挡板固定连接。
17、优选地，所述第二缓震部包括：
18、第二缓震杆，固定设置于所述垫块靠近垫板的表面，所述第二缓震杆与所述第二缓震槽滑动连接；
19、第二缓震弹簧，套设于所述第二缓震杆上；
20、压力传感器，位于所述内置槽内，并与所述垫板可拆卸式固定连接，所述压力传感器与所述控制装置电连接，所述压力传感器用于实时的检测第二缓震弹簧对压力传感器的压力。
21、优选地，所述轴向防倒机构包括：
22、限位杆，位于两个花篮端板之间，且限位杆的两端分别与相邻的花篮端板固定连接；
23、调节部，设置于所述垫板上，并与所述控制装置电连接，所述调节部用于根据两侧垫板上压力传感器的数值来调节硅片花篮的重心。
24、优选地，所述调节部包括：
25、调节电机，设置于任意一侧的垫板上，并与所述垫板可拆卸式固定连接，所述调节电机与所述控制装置电连接；
26、调节螺杆，设置于所述垫板上，且调节螺杆靠近调节电机的一端与所述调节电机的输出端固定连接；
27、配重块，设置于所述调节螺杆上，并与所述调节螺杆螺纹连接，所述配重块与所述限位杆滑动连接。
28、优选地，所述侧边防倒机构包括：
29、连接框，固定设置于所述垫板上，所述垫板上设置有两组连接框，所述连接框上开设有复位槽；
30、固定框，固定设置于连接框上；
31、插接部，设置于所述连接框内，所述插接部用于稳固两个垫板间的连接以防止硅片花篮在垂直于花篮支杆轴线的方向上发生倾倒；
32、复位部，设置于所述固定框内，并与所述控制装置电连接，所述复位部用于将插接部滑入连接框内。
33、优选地，所述插接部包括：
34、插接头，滑动设置于所述连接框内，所述插接头靠近插杆的一端设置为半球形，所述插接头靠近插杆的一端与所述球头槽配合；
35、连杆，位于所述连接框内，且连杆靠近插接头的一端与所述插接头固定连接；
36、滑动块，滑动设置于所述连接框内，且滑动块靠近连杆的一端与所述连杆固定连接，所述滑动块靠近复位槽的表面开设有楔形槽；
37、内置弹簧，设置于所述连接框内，且内置弹簧的两端分别与连接框和滑动块固定连接，所述内置弹簧始终处于压缩状态。
38、优选地，所述复位部包括：
39、电动推杆，固定设置于所述固定框内，并与所述控制装置电连接；
40、轮板，固定设置于所述电动推杆靠近滑动块的一端；
41、复位辊，转动设置于所述轮板上，所述复位辊与所述楔形槽滚动连接。
42、优选地，所述连接槽内设置有弹出部，所述弹出部包括：
43、弹出弹簧，设置于所述连接槽内，并与所述垫板固定连接；
44、弹出板，滑动设置于所述连接槽内，且弹出板靠近弹出弹簧的表面与所述弹出弹簧固定连接。
45、综上所述，由于采用了上述技术方案，本专利技术的有益效果是：
46、1、本装置通过设置有轴向防倒机构，从而使得本装置能够根据硅片花篮上两侧垫板上的压力传感器所测得的数值来动态调节硅片花篮的重心位置，从而避免了硅片花篮在运输或操作过程中因受到外力冲击或不平稳的操作使得硅片花篮的重心偏移而导致硅片花篮倾倒。
47、2、本装置通过设置有侧边防倒机构，使得各个硅片花篮能够连接在一起，从而进一步的增大了硅片花篮与支撑面的接触面积，使得硅片花篮的重心更容易落在支撑面内，从而进一步增加了硅片花篮的稳定性，同时通过增大接触面积增加了硅片花篮整体与接触面之间的摩擦力，也使得压力能够更加均匀的分布，避免了硅片花篮局部过载导致的不稳定，从而减少倾倒的可能性。
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1.一种具备防倾倒功能的硅片花篮，包括花篮端板（1），所述花篮端板（1）设置有两个，且两个花篮端板（1）间设置有多个花篮支杆（2），各个所述花篮支杆（2）上开设有用于放置硅片的硅片槽（3），其特征在于，具备防倾倒功能的硅片花篮还包括：
2.根据权利要求1所述的一种具备防倾倒功能的硅片花篮，其特征在于，所述缓震机构包括：
3.根据权利要求2所述的一种具备防倾倒功能的硅片花篮，其特征在于，所述第一缓震部包括：
4.根据权利要求3所述的一种具备防倾倒功能的硅片花篮，其特征在于，所述第二缓震部包括：
5.根据权利要求4所述的一种具备防倾倒功能的硅片花篮，其特征在于，所述轴向防倒机构包括：
6.根据权利要求5所述的一种具备防倾倒功能的硅片花篮，其特征在于，所述调节部包括：
7.根据权利要求6所述的一种具备防倾倒功能的硅片花篮，其特征在于，所述侧边防倒机构包括：
8.根据权利要求7所述的一种具备防倾倒功能的硅片花篮，其特征在于，所述插接部包括：
9.根据权利要求8所述的一种具备防倾倒功能的硅片花篮
10.根据权利要求9所述的一种具备防倾倒功能的硅片花篮，其特征在于，所述连接槽（6）内设置有弹出部，所述弹出部包括：
...【技术特征摘要】
1.一种具备防倾倒功能的硅片花篮，包括花篮端板（1），所述花篮端板（1）设置有两个，且两个花篮端板（1）间设置有多个花篮支杆（2），各个所述花篮支杆（2）上开设有用于放置硅片的硅片槽（3），其特征在于，具备防倾倒功能的硅片花篮还包括：
2.根据权利要求1所述的一种具备防倾倒功能的硅片花篮，其特征在于，所述缓震机构包括：
3.根据权利要求2所述的一种具备防倾倒功能的硅片花篮，其特征在于，所述第一缓震部包括：
4.根据权利要求3所述的一种具备防倾倒功能的硅片花篮，其特征在于，所述第二缓震部包括：
5.根据权利要求4所述的一种具备...
【专利技术属性】
技术研发人员：成如诗，毛爱民，李文红，付浩然，吴峰光，
申请(专利权)人：深圳市石金科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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