本申请公开一种晶圆抓取装置，包括：活动握柄、活动板、复位模块、基板、夹紧轮和多个限位模块；活动握柄的第一端与基板连接，活动握柄的第二端与活动板的第一端连接，活动板的第二端与夹紧轮连接；复位模块分别与活动板和基板连接；限位模块与基板连接，不同的限位模块对应不同尺寸的晶圆；活动握柄，用于在外力作用下带动活动板和夹紧轮沿朝向远离限位模块的方向运动，以使晶圆能够出入与该晶圆的尺寸对应的限位模块限定的放置空间；复位模块，用于驱动活动板和夹紧轮沿朝向靠近限位模块的方向运动。本申请能够对多种尺寸的晶圆进行抓取，并且操作方便。
【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体加工，尤其涉及一种晶圆抓取装置。
技术介绍
1、在集成电路/半导体(integrated circuit，ic)的制造中，需要对晶圆进行取放，然而，通过手动方式进行取放晶圆的过程，但需要操作员将手伸入设备内部，极容易沾染化学药液或被设备误伤而发生危险。
2、目前，主要通过自动方式，即通过使用机械手配合吸盘或手指取放晶圆。
3、然而，对于绝大多数晶圆实验测试和科研用设备，尤其是清洗领域，由于晶圆的取放频次较低，操作即时较强和晶圆尺寸不确定性较高，使用机械手自动上料需要反复根据晶圆尺寸进行调试，造成操作不便。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请提供一种晶圆抓取装置，以至少部分解决上述技术问题。
2、本申请第一方面提供一种晶圆抓取装置，包括：活动握柄、活动板、复位模块、基板、夹紧轮和多个限位模块；所述活动握柄的第一端与所述基板连接，所述活动握柄的第二端与所述活动板的第一端连接，所述活动板的第二端与所述夹紧轮连接；所述复位模块分别与所述活动板和所述基板连接；所述限位模块与所述基板连接，不同的所述限位模块对应不同尺寸的晶圆；所述活动握柄，用于在外力作用下带动所述活动板和所述夹紧轮沿朝向远离所述限位模块的方向运动，以使晶圆能够出入与该晶圆的尺寸对应的所述限位模块限定的放置空间；所述复位模块，用于驱动所述活动板和所述夹紧轮沿朝向靠近所述限位模块的方向运动，以在所述放置空间放置有晶圆时，使所述晶圆被所述夹紧轮和对应的所述限位模块夹持。
>3、可选地，所述复位模块包括调节块和弹簧，所述弹簧的一端与所述调节块连接，所述弹簧的另一端与所述活动板连接，所述调节块与所述基板连接。4、可选地，所述装置还包括：滑块和导轨，所述导轨设置在所述基板上，且所述导轨所在的直线与所述弹簧的中心线所在的直线平行，所述滑块与所述活动板连接，且所述滑块套设在所述导轨上。
5、可选地，所述装置还包括：固定握柄，所述固定握柄与所述基板连接，所述固定握柄的第二端与所述活动握柄的第一端连接；所述活动握柄的第二端设置有凸块，所述活动板的第一端设置有滑槽，所述凸块设置在所述滑槽中。
6、可选地，所述装置还包括：罩盖，所述罩盖与所述基板连接；所述滑块、所述导轨、所述复位模块和所述滑槽在所述基板上的投影，位于所述罩盖在所述基板上的投影内。
7、可选地，所述装置还包括：挂圈，所述挂圈通过连接块与所述固定握柄的第一端连接。
8、可选地，所述活动握柄还包括：抓取部，所述抓取部设置于所述活动握柄的外表面。
9、可选地，所述限位模块包括：多个限位块，所述限位块包括限位部和承载部，所述限位部沿垂直于所述基板的方向的高度高于所述承载部沿垂直于所述基板的方向的高度。
10、可选地，所述限位模块沿垂直于所述基板的方向的高度与该限位模块对应的晶圆的尺寸正相关。
11、可选地，所述多个限位模块包括对应四寸晶圆的限位模块、对应六寸晶圆的限位模块和对应八寸晶圆的限位模块。
12、本申请中，操作人员通过晶圆抓取装置对晶圆进行取放，能够保证操作人员双手一直保持在晶圆加工设备外部，从而避免了操作人员将手伸入设备内部，沾染化学药液或被碰伤的风险。此外，由于晶圆抓取装置设置有多个对应不同尺寸晶圆的限位模块，因此操作人员可以通过晶圆抓取装置对多种规格的晶圆进行取放，并且无需对晶圆抓取装置进行调整，操作方便。
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【技术保护点】
1.一种晶圆抓取装置，其特征在于，包括：活动握柄、活动板、复位模块、基板、夹紧轮和多个限位模块；
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述复位模块包括调节块和弹簧，所述弹簧的一端与所述调节块连接，所述弹簧的另一端与所述活动板连接，所述调节块与所述基板连接。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：滑块和导轨，所述导轨设置在所述基板上，且所述导轨所在的直线与所述弹簧的中心线所在的直线平行，所述滑块与所述活动板连接，且所述滑块套设在所述导轨上。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：固定握柄，所述固定握柄与所述基板连接，所述固定握柄的第二端与所述活动握柄的第一端连接；
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：罩盖，所述罩盖与所述基板连接；
6.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：挂圈，所述挂圈通过连接块与所述固定握柄的第一端连接。
7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述活动握柄还包括：抓取部，所述抓取部设置于所述活动握柄的外表面。
8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述限位模块包括：多个限位块，所述限位块包括限位部和承载部，所述限位部沿垂直于所述基板的方向的高度高于所述承载部沿垂直于所述基板的方向的高度。
9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述限位模块沿垂直于所述基板的方向的高度与该限位模块对应的晶圆的尺寸正相关。
10.根据权利要求1-9中任一所述的装置，其特征在于，所述多个限位模块包括对应四寸晶圆的限位模块、对应六寸晶圆的限位模块和对应八寸晶圆的限位模块。
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【技术特征摘要】
1.一种晶圆抓取装置，其特征在于，包括：活动握柄、活动板、复位模块、基板、夹紧轮和多个限位模块；
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述复位模块包括调节块和弹簧，所述弹簧的一端与所述调节块连接，所述弹簧的另一端与所述活动板连接，所述调节块与所述基板连接。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：滑块和导轨，所述导轨设置在所述基板上，且所述导轨所在的直线与所述弹簧的中心线所在的直线平行，所述滑块与所述活动板连接，且所述滑块套设在所述导轨上。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：固定握柄，所述固定握柄与所述基板连接，所述固定握柄的第二端与所述活动握柄的第一端连接；
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：罩盖，所述罩盖与所述基...
【专利技术属性】
技术研发人员：张国伟，徐俊成，张美美，王鹏，
申请(专利权)人：华海清科北京科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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