提供一种工业机器人，对搬运对象物进行搬运，即使以在上下方向上隔开间隔的状态重叠地收纳于收纳部的多个搬运对象物的上下方向的间隔较窄，也能将搬运对象物从收纳部搬出或将搬运对象物搬入收纳部。该工业机器人具备：第一手(5)，其具有与搬运对象物(2)的端部卡合的卡合部(23)；第二手(6)，其具有载置搬运对象物(2)的载置部(30)；臂，其前端侧供第一手(5)和第二手(6)可转动地连接；以及主体部，其供臂的基端侧可转动地连接。第一手(5)进行拉出动作和推入动作中的至少任一方，在拉出动作中，将收纳于收纳部的搬运对象物(2)从收纳有搬运对象物(2)的收纳部拉出到能载置于载置部(30)的位置，在推入动作中，将待载置于载置部(30)的搬运对象物(2)推入至收纳于收纳部的位置。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于对搬运对象物进行搬运的工业机器人。
技术介绍
1、以往，已知有搬运半导体晶片的工业机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的工业机器人被组装到半导体制造系统中使用。该工业机器人具备：载置半导体晶片的两只手；前端侧供两只手可转动地连接的臂；以及供臂的基端侧可转动地连接的主体部。该手具备上下方向的厚度薄的平板状的晶片载置部，半导体晶片载置于晶片载置部。
2、专利文献1记载的工业机器人在收纳多个半导体晶片的收纳盒(foup)和半导体晶片处理设备之间搬运半导体晶片。即，该工业机器人从收纳盒中搬出半导体晶片，并将半导体晶片搬入收纳盒内。多个半导体晶片以在上下方向上隔开间隔重叠的方式收纳在收纳盒中。当从收纳盒搬出半导体晶片时，手的晶片载置部插入到以在上下方向上重叠的方式收纳于收纳盒的半导体晶片之间(即，晶片载置部进入收纳盒的里侧)，将半导体晶片抬起并搬出。另外，当将半导体晶片搬入收纳盒时，载置半导体晶片的晶片载置部进入收纳盒的里侧，将半导体晶片载置于收纳盒内。
3、现有技术文献
4、专利文献
5、专利文献1：日本特开2018-89739号公报
技术实现思路
1、专利技术所要解决的技术问题
2、在专利文献1记载的工业机器人的情况下，当收纳在收纳盒中的半导体晶片的上下方向的间隔(间距)变窄时，无法将手的晶片载置部插入到收纳盒的里侧，存在无法从收纳盒搬出半导体晶片或无法将半导体晶片搬入收纳盒的可能性。
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p>3、因此，本专利技术的技术问题在于提供一种工业机器人，对搬运对象物进行搬运，其中，即使以在上下方向上隔开间隔的状态重叠地收纳于收纳部的多个搬运对象物的上下方向的间隔较窄，也能将搬运对象物从收纳部搬出或将搬运对象物搬入收纳部。4、解决技术问题所采用的技术方案
5、为了解决上述技术问题，本专利技术的工业机器人是一种对搬运对象物进行搬运的工业机器人，具备：第一手，其具有与搬运对象物的端部卡合的卡合部；第二手，其具有载置搬运对象物的载置部；臂，其前端侧供第一手和第二手可转动地连接；以及主体部，其供臂的基端侧可转动地连接，臂是由可相互转动的多个臂部构成的多关节臂，第一手进行拉出动作和推入动作中的至少任一方，在拉出动作中，将收纳于收纳部的搬运对象物从收纳有搬运对象物的收纳部拉出至能载置于载置部的位置，在推入动作中，将载置于载置部的搬运对象物推入到收纳于收纳部的位置。
6、在本专利技术的工业机器人中，具有与搬运对象物的端部卡合的卡合部的第一手进行拉出动作和推入动作中的至少任一方，在拉出动作中，将收纳于收纳部的搬运对象物从收纳部拉出至能载置于第二手的载置部的位置，在推入动作中，将载置于第二手的载置部的搬运对象物推入到收纳于收纳部的位置。
7、因此，在本专利技术中，即使第一手和第二手没有插入收纳部的里侧，也能通过卡合部与搬运对象物的端部卡合的第一手的拉出动作，将从收纳部拉出的搬运对象物载置于第二手的载置部而将搬运对象物从收纳部搬出，或者通过卡合部与搬运对象物的端部卡合的第一手的推入动作，将载置于载置部的搬运对象物搬入收纳部。因此，在本专利技术中，即使以在上下方向上隔开间隔的状态重叠地收纳在收纳部中的搬运对象物的上下方向的间隔较窄，第一手和第二手无法插入收纳部的里侧，也能够将搬运对象物从收纳部搬出或将搬运对象物搬入收纳部。
8、在本专利技术中，工业机器人例如具备：使臂伸缩的臂驱动机构；使臂升降的臂升降机构；使第一手相对于臂转动的第一手驱动机构；以及使第二手相对于臂转动的第二手驱动机构，第二手具备：供载置部能升降地安装的手主体部；以及使载置部相对于手主体部升降的载置部升降机构。
9、在本专利技术中，优选的是，卡合部具备把持搬运对象物的端部的把持机构。根据该结构，在拉出动作时或推入动作时，能通过把持机构把持搬运对象物的端部，因此，在进行拉出动作或推入动作时，能使搬运对象物的状态稳定。另外，根据该结构，在对载置于载置部的搬运对象物进行搬运时，能通过把持机构把持搬运对象物的端部，因此，在对载置于载置部的搬运对象物进行搬运时，能使搬运对象物的状态稳定。
10、在本专利技术中，例如，第一手进行拉出动作，并且，在拉出动作时相对于收纳部沿水平方向直线移动，将第一手相对于收纳部的移动方向的一侧设为近前侧，将与近前侧相反的一侧设为里侧，将载置部的载置搬运对象物的面设为载置面，工业机器人配置在收纳部的近前侧，在拉出动作中，第一手进行：第一移动动作，向里侧移动，直到收纳于收纳部的搬运对象物的近前侧的端部能被把持机构把持的位置；把持动作，在第一移动动作后，通过把持机构把持搬运对象物的近前侧的端部；以及第二移动动作，在把持动作后，向近前侧移动，直到搬运对象物的里侧的端部载于收纳部的近前侧的端部的位置，第二手进行：第一转动动作，相对于臂转动至第一手进行第一移动动作时第二手不与收纳部干涉的位置；第二转动动作，在第二移动动作时或第二移动动作后，相对于臂转动，直到载置面下降到比搬运对象物的下表面靠下侧的位置的状态的载置部配置于搬运对象物下侧的位置；以及载置部上升动作，在第二转动动作后，使载置部上升，直到载置面与搬运对象物的下表面接触的位置，臂进行：臂上升动作，在载置部上升动作后，上升至搬运对象物里侧的端部的下表面从收纳部浮起的位置；以及第一臂伸缩动作，在臂上升动作时或臂上升动作后，使第一手和第二手朝向近前侧移动。在这种情况下，能进行顺畅的拉出动作。
11、在本专利技术中，例如，第一手进行推入动作，并且，在推入动作时相对于收纳部沿水平方向直线移动，将第一手相对于收纳部的移动方向的一侧设为近前侧，将与近前侧相反的一侧设为里侧，将载置部的载置搬运对象物的面设为载置面，工业机器人配置在收纳部的近前侧，在推入动作之前，臂进行：第二臂伸缩动作，使第一手和第二手向里侧移动，直到载置于载置部并且近前侧的端部被把持机构把持的搬运对象物的里侧的端部进入收纳部近前侧的内部的位置；以及臂下降动作，在第二臂伸缩动作时或第二臂伸缩动作后，下降至搬运对象物的里侧的端部载于收纳部的近前侧端部的位置，第二手进行：载置部下降动作，在臂下降动作后，使载置部下降到载置面与搬运对象物的下表面分离的位置；以及第三转动动作，在载置部下降动作后，使第二手相对于臂转动规定量，在推入动作中，第一手进行第三移动动作，在第三转动动作时或第三转动动作后，第一手向里侧移动，直到搬运对象物的近前侧的端部载于收纳部的近前侧的端部的位置，在第三转动动作中，第二手转动至第一手进行第三移动动作时第二手不与收纳部干涉的位置。在这种情况下，能进行顺畅的推入动作。
12、在本专利技术中，例如，作为臂部，臂具备：第一臂部，其基端侧可转动地连接到主体部；第二臂部，其基端侧可转动地连接到第一臂部的前端侧；以及第三臂部，其基端侧可转动地连接到第二臂部的前端侧，且前端侧供第一手和第二手可转动地连接。
13、在本专利技术中，优选的是，第一手进行拉出动作和推入动作，并且在拉出动作时和推入动作时相对于收纳本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种工业机器人，对搬运对象物进行搬运，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的工业机器人，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的工业机器人，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的工业机器人，其特征在于，
5.根据权利要求3所述的工业机器人，其特征在于，
6.根据权利要求1至5中任一项所述的工业机器人，其特征在于，
7.根据权利要求1至5中任一项所述的工业机器人，其特征在于，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种工业机器人，对搬运对象物进行搬运，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的工业机器人，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的工业机器人，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的工业机器人...
【专利技术属性】
技术研发人员：改野重幸，
申请(专利权)人：尼得科仪器株式会社，
类型：发明
国别省市：
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