【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体尾气处理领域，尤其涉及一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺。
技术介绍
1、现有的等离子尾气处理设备中，空气进入反应腔内的气流较为分散，导致尾气在反应腔的分布不均匀，这种不均匀的空气气流分布使得部分区域的尾气未能充分接触高温等离子火焰，从而影响了尾气处理的效率和效果。
2、由于空气气流分散，尾气与等离子火焰的接触面积减少，导致能量传递不充分。这不仅降低了能量的效率，还减慢了化学反应速率，延长了处理时间，增加了能耗。
3、分散的空气气流使得尾气中的污染物分子与等离子火焰有效碰撞机会减少，导致反应速率降低，这进一步影响了尾气处理的彻底性和速度，尤其是在处理高浓度或者复杂成分的尾气时，效果更为明显。
4、而且空气气流分散导致的能量利用不充分，设备需要更高的功率输入来维持所需的处理效果，增加了运行成本。同时，不均匀的空气气流分布也可能导致设备内部局部过热，缩短设备的使用寿命，增加维护和更换部件的成本。
5、因此，现有技术亟待解决。
技术实现思路
1、本专利技术的目的旨在针对现有技术的不足，提供一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺。本专利技术提出的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，确保空气集中在一个地方导入第一反应腔，提高空气和尾气的混合效率，确保充分接触。
2、本专利技术的技术方案是这样实现的：
3、一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，包括以下步骤：
4、s1.尾气
5、s2.空气集中导入与混合：空气通过第一进空气口进入第一空气腔，所述第一空气腔上壁具有环形凹槽，使得空气通过环形凹槽均匀导入第一反应腔；
6、s3.燃烧反应：在第一反应腔中，等离子体燃烧器总成产生高温等离子火焰，尾气与空气在等离子体燃烧器总成周围充分混合并发生化学反应，尾气中的有害成分被高温分解和转化；
7、s4.二次空气导入与进一步处理：未完全分解的尾气从第一反应腔进入第二反应腔，二次导入额外的空气，进一步处理尾气；
8、s5.尾气冷却与处理：经过步骤s4处理后的尾气在第二反应腔内经过第二冷却腔冷却，冷却后的尾气最后经水洗处理。
9、如上所述的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，所述步骤s1中，所述进尾气口等距间隔倾斜向下设置，尾气通过进尾气管的进尾气口倾斜向下进入第一反应腔。
10、如上所述的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，所述步骤s1中，所述第一冷却腔设置于第一空气腔的上方。
11、如上所述的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，所述步骤s1中，所述进尾气口的内壁涂布有耐火泥。
12、如上所述的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，所述步骤s2中，第一空气腔上壁的末端设置有向下倾斜的第一倾斜板，第一空气腔侧壁的末端设置有向下倾斜的第二倾斜板，第一倾斜板和第二倾斜板两者平行间隔设置形成一个狭窄的通道，使得空气沿着狭窄的通道在进入第一反应腔时集中在一个地方。
13、如上所述的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，所述步骤s2中，第一倾斜板和第二倾斜板两者平行间隔且与垂直面形成的夹角是10°-40°。
14、如上所述的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，所述步骤s3中，等离子体燃烧器总成的高温等离子火焰的温度为6000℃-8000℃。
15、如上所述的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，所述步骤s4中二次导入额外的空气的具体步骤包括：空气通过第二进空气口连通进入第二空气腔，后经过通气孔进入第二反应腔。
16、如上所述的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，所述步骤s4中二次导入额外的空气的具体步骤包括：空气通过第二进空气口连通进入第二空气腔，后经过通气孔在第三倾斜板的导入下进入第二反应腔再次集中，确保空气与未反应完的尾气充分混合，进行二次反应，进一步分解和转化尾气中的有害成分。
17、如上所述的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，所述步骤s5中，所述第二冷却腔位于第二反应腔中间壁和第二反应腔外壳之间，且所述第二冷却腔通过隔板与第二空气腔隔开。
18、与现有技术相比，本专利技术具有以下优点和有益效果：
19、本专利技术提供的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，空气集中导入与混合时，空气通过第一进空气口进入第一空气腔，所述第一空气腔上壁具有环形凹槽，使得空气通过环形凹槽均匀导入第一反应腔，尤其是第一倾斜板（422）和第二倾斜板（431）两者平行间隔且与垂直面形成的夹角是10°-40°的导入下，使得空气能够集中在一个地方，第一，避免了空气气流分散，确保空气与尾气在等离子火焰周围充分混合，不仅提高了空气与尾气的接触面积，还增强了能量传递的效率，促进了化学反应的进行；第二，集中导入的空气和尾气在等离子火焰周围充分混合，增加了污染物分子与等离子火焰的有效碰撞机会，这不仅提高了反应速率，还确保了尾气中的有害成分能够被彻底分解，尤其是对于高浓度或复杂成分的尾气，处理效果更为显著；第三，均匀的气流分布避免了设备内部局部过热的现象，减少了尾气处理设备材料因高温而受损的风险，这不仅延长了设备的使用寿命，还降低了维护和更换部件的成本。
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1.一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，其特征在于，所述步骤S1中，所述进尾气口（11）等距间隔倾斜向下设置，尾气通过进尾气管（1）的进尾气口（11）倾斜向下进入第一反应腔（3）。
3.根据权利要求1所述的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，其特征在于，所述步骤S1中，所述第一冷却腔（2）设置于第一空气腔（4）的上方。
4.根据权利要求1所述的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，其特征在于，所述步骤S1中，所述进尾气口（11）的内壁涂布有耐火泥。
5.根据权利要求1所述的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，其特征在于，所述步骤S2中，第一空气腔上壁（42）的末端设置有向下倾斜的第一倾斜板（422），第一空气腔侧壁（43）的末端设置有向下倾斜的第二倾斜板（431），第一倾斜板（422）和第二倾斜板（431）两者平行间隔设置形成一个狭窄的通道，使得空气沿着狭窄的通道在进入第一反应腔（3）时集中在一个地方。
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7.根据权利要求1所述的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，其特征在于，所述步骤S3中，等离子体燃烧器总成（31）的高温等离子火焰的温度为6000℃-8000℃。
8.根据权利要求1所述的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，其特征在于，所述步骤S4中二次导入额外的空气的具体步骤包括：空气通过第二进空气口（54）连通进入第二空气腔（6），后经过通气孔（55）进入第二反应腔（5）。
9.根据权利要求1所述的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，其特征在于，所述步骤S4中二次导入额外的空气的具体步骤包括：空气通过第二进空气口（54）连通进入第二空气腔（6），后经过通气孔（55）在第三倾斜板（56）的导入下进入第二反应腔（5）再次集中，确保空气与未反应完的尾气充分混合，进行二次反应，进一步分解和转化尾气中的有害成分。
10.根据权利要求9所述的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，其特征在于，所述步骤S5中，所述第二冷却腔（7）位于第二反应腔中间壁（52）和第二反应腔外壳（53）之间，且所述第二冷却腔（7）通过隔板（9）与第二空气腔（6）隔开。
...【技术特征摘要】
1.一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，其特征在于，所述步骤s1中，所述进尾气口（11）等距间隔倾斜向下设置，尾气通过进尾气管（1）的进尾气口（11）倾斜向下进入第一反应腔（3）。
3.根据权利要求1所述的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，其特征在于，所述步骤s1中，所述第一冷却腔（2）设置于第一空气腔（4）的上方。
4.根据权利要求1所述的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，其特征在于，所述步骤s1中，所述进尾气口（11）的内壁涂布有耐火泥。
5.根据权利要求1所述的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，其特征在于，所述步骤s2中，第一空气腔上壁（42）的末端设置有向下倾斜的第一倾斜板（422），第一空气腔侧壁（43）的末端设置有向下倾斜的第二倾斜板（431），第一倾斜板（422）和第二倾斜板（431）两者平行间隔设置形成一个狭窄的通道，使得空气沿着狭窄的通道在进入第一反应腔（3）时集中在一个地方。
6.根据权利要求5所述的一种可集中空气的等离子燃烧式尾气处理工艺，其特征在于，所述步骤s2中，第一倾斜板（4...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉博，崔汉宽，杜全成，
申请(专利权)人：上海高笙集成电路设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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