本发明专利技术公开一种钙钛矿电池制备系统，涉及太阳能电池技术领域，包括：总反应腔室，为具有容纳空间的腔体结构，总反应腔室的容纳空间用于形成真空；子反应腔体，为用于盛放物料的腔体结构，子反应腔体设置有多个，且各个子反应腔体均设置于总反应腔室内，并与总反应腔室相连通；旋转托盘，可绕自身轴线旋转的设置于总反应腔室，且样片安放于旋转托盘，通过转动旋转托盘使得样片在各个子反应腔体之间进行切换，以使得样片进行不同的工艺处理。本发明专利技术提供的钙钛矿电池制备系统通过转动旋转托盘绕自身轴线的转动，实现样片在各个子反应腔体之中输送，整个工艺处理始终处于一个真空腔室中运行，防止了样片在整个运输过程中被污染。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能电池，尤其涉及一种钙钛矿电池制备系统。
技术介绍
1、传统的材料制备形式，由多个分立的工艺设备构成完整的工艺流程，工艺流程之间，通过样片的输运过程转换腔体，但在制备钙钛矿太阳能电池的工艺过程中，由于钙钛矿中的有机金属卤化物受水、氧影响较大，在自然条件下易分解，会造成电池效率的快速衰减甚至失效，因而钙钛矿材料的研究需要隔绝水氧和空气杂质的污染，致使传统的材料制备形式需要使用者自行设计和搭建完整的真空系统，实现样片在不同腔室间的高真空环境下的自动传输。
2、现有的技术方案一种是，手套箱传输系统，但该方案一方面由于复杂的真空系统和真空中的传输系统而价格昂贵，另一方面使用者通过设计将各分立设备集成过程的门槛很高，必须要专业的团队完成设计、安装和维护。另一种是，集束型工艺制备设备，但是该方案中每个工艺站点依旧是独立的运行系统，包括各自独立的真空系统，另外传统集束型设备采用了机械手在中央传输室和各腔室间进行样片的传送，传输过程容易造成碎片，因此对机械手的传输效率及稳定性具有较高的要求，且由于托盘在各腔室间转换时，每次都要通过传输腔的中转，不仅增加了机械手的工作负担，减少了机械手的使用寿命，更增加了传输时间(10s～20s)，并且在机械手传输的过程中很难保持较高的真空度，容易对样片的薄膜界面之间产生影响，并且具有较高成本，不易维护。
3、因此，如何实现高效的制备钙钛矿太阳能电池的同时，降低生产成本，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。
技术实现思路
>1、本专利技术的目的在于提供一种钙钛矿电池制备系统，在实现高效的制备钙钛矿太阳能电池的同时，还降低了生产成本。2、为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、一种钙钛矿电池制备系统，包括：
4、总反应腔室，为具有容纳空间的腔体结构，且所述总反应腔室的容纳空间用于形成真空；
5、子反应腔体，为用于盛放物料的腔体结构，所述子反应腔体设置有多个，且各个所述子反应腔体均设置于所述总反应腔室内，并与所述总反应腔室相连通；
6、旋转托盘，可绕自身轴线旋转的设置于所述总反应腔室，且样片安放于所述旋转托盘，通过转动所述旋转托盘使得所述样片在各个所述子反应腔体之间进行切换，以使得所述样片进行不同的工艺处理。
7、可选地，所述子反应腔体的第一端连接于所述总反应腔室的底部，所述子反应腔体的第二端开设有连通所述总反应腔室与所述子反应腔体的内腔相连通的连通孔，所述旋转托盘布置于所述子反应腔体的第二端的顶部，且所述旋转托盘设置有用于安放所述样片的样片安放槽，所述样片安放槽的底部开设有与所述连通孔相配合的通孔。
8、可选地，在上述钙钛矿电池制备系统中，所述样片安放槽为设置为台阶孔结构以形成所述通孔，且所述样片的边缘支撑于所述台阶孔结构的台阶上。
9、可选地，在上述钙钛矿电池制备系统中，多个所述子反应腔体以所述旋转托盘的轴心为圆心间隔均匀的分布在同一圆周上，所述通孔所在的圆周的圆心与所述连通孔所在的圆周的圆心均位于所述旋转托盘的轴线上且两个圆周的直径相同。
10、可选地，在上述钙钛矿电池制备系统中，所述样片安放槽的数量设置为一个，或者所述样片安放槽的数量与所述子反应腔体的数量相同，且一个所述样片安放槽与一个所述子反应腔体相对应。
11、可选地，在上述钙钛矿电池制备系统中，所述子反应腔体包括第一子反应腔体、第二子反应腔体、第三子反应腔体和第四子反应腔体，且所述第一子反应腔体可用于喷涂工艺，所述第二子反应腔体可用于原子沉积工艺，所述第三子反应腔体可用于热蒸镀工艺，所述第四子反应腔体可用于物理气相沉积工艺。
12、可选地，在上述钙钛矿电池制备系统中，所述子反应腔体通过法兰结构可拆卸安装于所述总反应腔室。
13、可选地，在上述钙钛矿电池制备系统中，所述子反应腔体的内腔中设置有用于盛放物料的物料平台。
14、可选地，在上述钙钛矿电池制备系统中，所述总反应腔室包括：
15、腔体，所述腔体的顶部具有敞口；
16、腔盖，铰接于所述总反应腔室，以通过转动所述腔盖封盖所述敞口。
17、可选地，在上述钙钛矿电池制备系统中，还设置有压片，所述压片的一端可转动的连接于所述旋转托盘，以通过转动所述压片对所述旋转托盘的所述样片压紧固定或解除压紧。
18、本专利技术提供的钙钛矿电池制备系统中，用于完成不同功能层薄膜制备的各个子反应腔体，以及用于安放样片的旋转托盘均布置在总反应腔室内，并且通过转动旋转托盘绕自身轴线的转动，可使得安放在旋转托盘上的样片在各个子反应腔体之间切换，实现了样片的输送，完成了样片的不同工艺加工，而总反应腔室内通过真空处理后处于真空状态，子反应腔体与总反应腔室相连通，因而使得整个工艺处理以及样片的输送始终处于一个真空腔室中运行，整个过程保持了较高的真空度，有效隔绝了水氧，防止了样片在整个运输过程中被污染。与现有技术中的手套箱传输系统相比，本专利技术提供的钙钛矿电池制备系统，整体结构设计简洁高效，安装、使用和后期维护便利，显著降低了生产成本，与现有中设置有机械手的集束型工艺制备设备相比，本专利技术提供的钙钛矿电池制备系统，样片通过转动的旋转托盘实现在各个子反应腔体之间切换，不需要使用机械手夹取样片在不同工艺腔室和中间传输腔之间的转移，旋转托盘运转响应快，节省了转移时间，提高了制备效率，且对样片具有较好的保护能力，不易造成碎片，具有较高的可靠性和稳定性。
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【技术保护点】
1.一种钙钛矿电池制备系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的钙钛矿电池制备系统，其特征在于，所述子反应腔体的第一端连接于所述总反应腔室的底部，所述子反应腔体的第二端开设有连通所述总反应腔室与所述子反应腔体的内腔相连通的连通孔，所述旋转托盘布置于所述子反应腔体的第二端的顶部，且所述旋转托盘设置有用于安放所述样片的样片安放槽，所述样片安放槽的底部开设有与所述连通孔相配合的通孔。
3.根据权利要求2所述的钙钛矿电池制备系统，其特征在于，所述样片安放槽设置为台阶孔结构以形成所述通孔，且所述样片的边缘支撑于所述台阶孔结构的台阶上。
4.根据权利要求2所述的钙钛矿电池制备系统，其特征在于，多个所述子反应腔体以所述旋转托盘的轴心为圆心间隔均匀的分布在同一圆周上，所述通孔所在的圆周的圆心与所述连通孔所在的圆周的圆心均位于所述旋转托盘的轴线上且两个圆周的直径相同。
5.根据权利要求4所述的钙钛矿电池制备系统，其特征在于，所述样片安放槽的数量设置为一个，或者所述样片安放槽的数量与所述子反应腔体的数量相同，且一个所述样片安放槽与一个所述子反应腔体相对应。
6.根据权利要求1所述的钙钛矿电池制备系统，其特征在于，所述子反应腔体包括第一子反应腔体、第二子反应腔体、第三子反应腔体和第四子反应腔体，且所述第一子反应腔体可用于喷涂工艺，所述第二子反应腔体可用于原子沉积工艺，所述第三子反应腔体可用于热蒸镀工艺，所述第四子反应腔体可用于物理气相沉积工艺。
7.根据权利要求1所述的钙钛矿电池制备系统，其特征在于，所述子反应腔体通过法兰结构可拆卸安装于所述总反应腔室。
8.根据权利要求1所述的钙钛矿电池制备系统，其特征在于，所述子反应腔体的内腔中设置有用于盛放物料的物料平台。
9.根据权利要求1-8任一项所述的钙钛矿电池制备系统，其特征在于，所述总反应腔室包括：
10.根据权利要求1-8任一项所述的钙钛矿电池制备系统，其特征在于，还设置有压片，所述压片的一端可转动的连接于所述旋转托盘，以通过转动所述压片对所述旋转托盘的所述样片压紧固定或解除压紧。
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【技术特征摘要】
1.一种钙钛矿电池制备系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的钙钛矿电池制备系统，其特征在于，所述子反应腔体的第一端连接于所述总反应腔室的底部，所述子反应腔体的第二端开设有连通所述总反应腔室与所述子反应腔体的内腔相连通的连通孔，所述旋转托盘布置于所述子反应腔体的第二端的顶部，且所述旋转托盘设置有用于安放所述样片的样片安放槽，所述样片安放槽的底部开设有与所述连通孔相配合的通孔。
3.根据权利要求2所述的钙钛矿电池制备系统，其特征在于，所述样片安放槽设置为台阶孔结构以形成所述通孔，且所述样片的边缘支撑于所述台阶孔结构的台阶上。
4.根据权利要求2所述的钙钛矿电池制备系统，其特征在于，多个所述子反应腔体以所述旋转托盘的轴心为圆心间隔均匀的分布在同一圆周上，所述通孔所在的圆周的圆心与所述连通孔所在的圆周的圆心均位于所述旋转托盘的轴线上且两个圆周的直径相同。
5.根据权利要求4所述的钙钛矿电池制备系统，其特征在于，所述样片安放槽的数量设置为一个，或者所述样片安放槽的数...
【专利技术属性】
技术研发人员：张凌云，王欣，明帅强，何萌，夏洋，屈芙蓉，赵丽莉，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：
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