【技术实现步骤摘要】
本申请属于硅片生产，尤其是涉及一种立式硅片移载机构及设有该移载机构的机械手。
技术介绍
1、现有整沓硅片组的移载时，大都是水平夹持移载，尤其是对于多沓立式装载的硅片组，先将其水平放置后再水平夹持上料，不仅过程复杂，而且夹持规整要求高，导致需要单次单沓夹持，无法进行单次多沓硅片组的夹持。同时，对于立式包装的整沓硅片组，其均被插置在包装箱内，采用水平夹持的机构，根部无法夹持。故需要设计一种可以立式夹持多沓硅片组的移载机构，方可满足现有生产工况的需求，以提高工作效率，并可保护硅片质量。
技术实现思路
1、本申请提供一种立式硅片移载机构及设有该移载机构的机械手，解决了现有水平夹持硅片组无法解决立式硅片组的夹持，不仅单次移载数量少，而且移载速度慢，往返移运用时长的技术问题。
2、为解决至少一个上述技术问题，本申请采用的技术方案是：
3、一种立式硅片移载机构，至少在安装架的单侧面上，配设一组夹持组件，所述夹持组件至少设有一套夹指组，所述夹指组构置有用于夹持硅片组厚度方向的同端侧平面的主夹指和副夹指。
4、共同地，每个所述主夹指均配设有两个所述副夹指，且所述副夹指分置于所述主夹指两侧；所述主夹指与所述副夹指非同步夹持或松开。
5、共同地，所述主夹指受设置于所述安装架上的气缸一和气缸二控制，其中，气缸一可使所述主夹指沿硅片组的长度方向上下伸缩移动，气缸二可使所述主夹指沿硅片组厚度方向张开或合紧。
6、共同地，所述主夹指为被构造为平夹板，其
7、共同地，所述副夹指被构造为柔性气指，其内部为空腔；所述副夹指用于夹持硅片组侧平面的一侧面为平整面，其远离硅片组的一侧面上设有若干间隔设置的凸台，且其指端为弧形面平直结构。
8、共同地，在每个所述柔性气指的外侧设有与其连通的气管接头，均通过气压控制，以调整其指端与硅片接触的张力，使指端朝内弯曲或朝外翘曲。
9、其中一个实施例中，当所述安装架被构造为条形结构时，至少两套所述夹指组被设置在所述安装架的单侧面上，所述夹指组被配置在所述安装架的下方。
10、进一步的，在所述安装架的上方设有朝上悬置的管轴，所述管轴被配置在所述夹持组件的背面，其位于两套所述夹指组之间。
11、其中一个实施例中，当所述安装架被构造为平板结构，在所述安装架的双侧面均上设有所述夹持组件，且两侧所述夹持组件相背而置；每个所述夹持组件配设有两套所述夹指组。
12、一种机械手，配设有如上所述的移载机构。
13、采用本申请设计的一种立式硅片移载机构，尤其适用于立式放置的硅片组的移载，整体结构简单且设计合理，可对多组硅片组进行立式夹取且互不干涉；亦可同步对多组硅片组进行移载，不仅夹持效果好，而且加载效率高；可精准对硅片组进行同步夹取，再基于不同夹持组件来放置相应的硅片组。本申请还提出一种设有该移载机构的机械手。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种立式硅片移载机构，其特征在于，至少在安装架的单侧面上，配设一组夹持组件，所述夹持组件至少设有一套夹指组，所述夹指组构置有用于夹持硅片组厚度方向的同端侧平面的主夹指和副夹指。
2.根据权利要求1所述的一种立式硅片移载机构，其特征在于，每个所述主夹指均配设有两个所述副夹指，且所述副夹指分置于所述主夹指两侧；所述主夹指与所述副夹指非同步夹持或松开。
3.根据权利要求1或2所述的一种立式硅片移载机构，其特征在于，所述主夹指受设置于所述安装架上的气缸一和气缸二控制，其中，气缸一可使所述主夹指沿硅片组的长度方向上下伸缩移动，气缸二可使所述主夹指沿硅片组厚度方向张开或合紧。
4.根据权利要求3所述的一种立式硅片移载机构，其特征在于，所述主夹指为被构造为平夹板，其为非柔性结构，且其夹持硅片组的深度不小于所述副夹指夹持硅片组的深度。
5.根据权利要求1-2、4任一项所述的一种立式硅片移载机构，其特征在于，所述副夹指被构造为柔性气指，其内部为空腔；所述副夹指用于夹持硅片组侧平面的一侧面为平整面，其远离硅片组的一侧面上设有若干间隔设置的凸台，且其
6.根据权利要求5所述的一种立式硅片移载机构，其特征在于，在每个所述柔性气指的外侧设有与其连通的气管接头，均通过气压控制，以调整其指端与硅片接触的张力，使指端朝内弯曲或朝外翘曲。
7.根据权利要求1-2、4、6任一项所述的一种立式硅片移载机构，其特征在于，当所述安装架被构造为条形结构时，至少两套所述夹指组被设置在所述安装架的单侧面上，所述夹指组被配置在所述安装架的下方。
8.根据权利要求7所述的一种立式硅片移载机构，其特征在于，在所述安装架的上方设有朝上悬置的管轴，所述管轴被配置在所述夹持组件的背面，其位于两套所述夹指组之间。
9.根据权利要求1-2、4、6任一项所述的一种立式硅片移载机构，其特征在于，当所述安装架被构造为平板结构，在所述安装架的双侧面均上设有所述夹持组件，且两侧所述夹持组件相背而置；每个所述夹持组件配设有两套所述夹指组。
10.一种机械手，其特征在于，配设有如1-9任一项所述的立式硅片移载机构。
...【技术特征摘要】
1.一种立式硅片移载机构，其特征在于，至少在安装架的单侧面上，配设一组夹持组件，所述夹持组件至少设有一套夹指组，所述夹指组构置有用于夹持硅片组厚度方向的同端侧平面的主夹指和副夹指。
2.根据权利要求1所述的一种立式硅片移载机构，其特征在于，每个所述主夹指均配设有两个所述副夹指，且所述副夹指分置于所述主夹指两侧；所述主夹指与所述副夹指非同步夹持或松开。
3.根据权利要求1或2所述的一种立式硅片移载机构，其特征在于，所述主夹指受设置于所述安装架上的气缸一和气缸二控制，其中，气缸一可使所述主夹指沿硅片组的长度方向上下伸缩移动，气缸二可使所述主夹指沿硅片组厚度方向张开或合紧。
4.根据权利要求3所述的一种立式硅片移载机构，其特征在于，所述主夹指为被构造为平夹板，其为非柔性结构，且其夹持硅片组的深度不小于所述副夹指夹持硅片组的深度。
5.根据权利要求1-2、4任一项所述的一种立式硅片移载机构，其特征在于，所述副夹指被构造为柔性气指，其内部为空腔；所述副夹指用于夹持硅片组侧平面的一侧面为平整面，其远离硅...
【专利技术属性】
技术研发人员：靳立辉，杨骅，沈皓然，张海龙，耿名强，
申请(专利权)人：天津环博科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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