【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆涂胶，具体是一种半导体晶圆涂胶装置。
技术介绍
1、在对晶圆进行涂胶时，有很多种方式，例如喷雾法、提拉法、流动法、滚动法、离心法等，其中最常用的是采用离心法通过涂敷设备旋转涂敷（即旋转涂布的方法），具体是在晶圆的旋转过程中，通过离心力、重力、表面张力等的共同作用，使得涂布的光刻胶流动到晶圆片的边缘和背面。
2、但是，在旋转涂胶时，利用离心力将多余的光刻胶甩出晶圆，容易有胶残留在晶圆的边缘，胶干燥后进行清除较为困难。为了达到防止胶残留在晶圆边缘的目的，因此提供了一种半导体晶圆涂胶装置。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于：为了达到防止胶残留在晶圆边缘的目的，提供一种半导体晶圆涂胶装置。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种半导体晶圆涂胶装置，包括底板，所述底板的上方固定连接有收集框，所述收集框的内部转动连接有转动筒，所述转动筒的顶端固定连接有转动盘，所述底板的顶端安装有电机，所述转动筒的外壁固定连接有第二直齿轮，所述电机的输出端连接有第一直齿轮，所述第一直齿轮与所述第二直齿轮相啮合，所述转动盘的上方设置有电动推杆，所述电动推杆的输出端连接有活动座，所述活动座的底端安装有喷头，所述活动座的顶端安装有进液管，所述进液管与所述喷头相连通，晶圆通过定位机构保持与转动盘处于同一轴心位置，晶圆的边缘通过刷动机构进行刷动操作，晶圆通过抽气单元固定在所述转动盘顶端；
3、所述定位机构包括有安装架，所述安装架固定连接于所述收集框
4、作为本专利技术再进一步的方案：所述刷动机构包括有伸缩杆，所述伸缩杆对称固定连接于所述活动座的外壁，所述伸缩杆的一端固定连接有插板，所述滑动架的外壁开设有插槽和位移槽，所述插槽供所述插板插入，所述位移座的底端固定连接有位移块，所述位移块滑动连接于所述位移槽的内壁，所述滑动架的内部位于所述位移块的底端转动连接有第四直齿轮，所述滑动架的内部位于所述第四直齿轮的底端滑动连接有推动块，所述推动块与所述滑动架之间连接有第一弹簧，所述推动块的一端延伸至所述插槽的内腔，所述推动块的另一端固定连接有弹性片，所述弹性片远离所述推动块的一端固定连接有对接块，所述对接块的一端设置有安装块，所述安装块的外壁固定连接有刷动垫，所述安装块远离所述刷动垫的一端固定连接有连接块，所述对接块朝向所述安装块的一端开设有连接槽。
5、作为本专利技术再进一步的方案：所述滑槽的内壁与所述滑动架的外壁相贴合，所述滑动架的外壁开设有第一螺纹孔，所述第一螺纹杆的外壁对称设置有与所述第一螺纹孔相匹配的外螺纹。
6、作为本专利技术再进一步的方案：所述齿块的外壁开设有第二螺纹孔，所述第二螺纹杆的外壁对称设置有与所述第二螺纹孔相匹配的外螺纹。
7、作为本专利技术再进一步的方案：所述齿块的外壁设置有齿槽，所述齿槽与所述第三直齿轮相啮合。
8、作为本专利技术再进一步的方案：所述插板的外壁与所述插槽的内壁相贴合，所述推动块位于所述插槽内腔的一端设置有第一斜面。
9、作为本专利技术再进一步的方案：所述位移块和所述推动块的外壁均设置有轮齿，所述轮齿与所述第四直齿轮相啮合。
10、作为本专利技术再进一步的方案：所述位移块的外壁与所述位移槽的内壁相贴合，所述位移块的外壁开设有限位孔，所述位移槽的内壁固定连接有限位杆，所述限位杆的外壁与所述限位孔的内壁相贴合。
11、作为本专利技术再进一步的方案：所述连接块的外壁与所述连接槽的内壁相贴合，所述连接块的外壁设置有橡胶圈。
12、作为本专利技术再进一步的方案：所述抽气单元包括有抽气管，所述抽气管转动连接于所述转动筒的底端，所述转动筒的内部开设有通气槽，所述转动盘的内部开设有中空槽，所述转动盘的顶端开设有吸气口；所述吸气口通过中空槽、通气槽与抽气管相连通。
13、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
14、1、通过设置定位机构，转动转动块带动第一螺纹杆进行转动，第一螺纹杆转动带动位移座进行移动；转动转动柱带动第二螺纹杆进行转动，第二螺纹杆转动带动定位柱进行位移，在对晶圆进行放置时，使得晶圆的外壁与四个定位柱相接触，从而保持晶圆与转动盘处于同一轴心位置；该设计便于对晶圆的位置进行定位，且可通过对位移座和定位柱位置的调节，方便对不同大小的晶圆进行定位操作。
15、2、通过设置刷动机构，电动推杆运转带动活动座向下移动，插板向下移动与推动块接触，推动推动块进行位移，推动块位移带动位移块进行滑动，带动定位柱位移与晶圆分离，防止晶圆转动过程中与定位柱之间造成摩擦；同时推动块位移带动刷动垫进行位移，刷动垫位移与晶圆的边缘进行接触，从而在晶圆转动过程中，刷动垫对晶圆的边缘进行刷动，便于防止胶残留在晶圆的边缘，且该设计还能够方便对刷动垫进行快速更换操作。
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1.一种半导体晶圆涂胶装置，包括底板（1），所述底板（1）的上方固定连接有收集框（2），所述收集框（2）的内部转动连接有转动筒（3），所述转动筒（3）的顶端固定连接有转动盘（4），所述底板（1）的顶端安装有电机（5），所述转动筒（3）的外壁固定连接有第二直齿轮（10），所述电机（5）的输出端连接有第一直齿轮（9），所述第一直齿轮（9）与所述第二直齿轮（10）相啮合，所述转动盘（4）的上方设置有电动推杆（11），所述电动推杆（11）的输出端连接有活动座（12），所述活动座（12）的底端安装有喷头（13），所述活动座（12）的顶端安装有进液管（14），所述进液管（14）与所述喷头（13）相连通，其特征在于，晶圆通过定位机构（6）保持与转动盘（4）处于同一轴心位置，晶圆的边缘通过刷动机构（7）进行刷动操作，晶圆通过抽气单元（8）固定在所述转动盘（4）顶端；
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆涂胶装置，其特征在于，所述刷动机构（7）包括有伸缩杆（701），所述伸缩杆（701）对称固定连接于所述活动座（12）的外壁，所述伸缩杆（701）的一端固定连接有插板（702），所述滑
3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆涂胶装置，其特征在于，所述滑槽（602）的内壁与所述滑动架（603）的外壁相贴合，所述滑动架（603）的外壁开设有第一螺纹孔，所述第一螺纹杆（604）的外壁对称设置有与所述第一螺纹孔相匹配的外螺纹。
4.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆涂胶装置，其特征在于，所述齿块（611）的外壁开设有第二螺纹孔，所述第二螺纹杆（612）的外壁对称设置有与所述第二螺纹孔相匹配的外螺纹。
5.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆涂胶装置，其特征在于，所述齿块（611）的外壁设置有齿槽，所述齿槽与所述第三直齿轮（607）相啮合。
6.根据权利要求2所述的一种半导体晶圆涂胶装置，其特征在于，所述插板（702）的外壁与所述插槽（703）的内壁相贴合，所述推动块（707）位于所述插槽（703）内腔的一端设置有第一斜面。
7.根据权利要求2所述的一种半导体晶圆涂胶装置，其特征在于，所述位移块（705）和所述推动块（707）的外壁均设置有轮齿，所述轮齿与所述第四直齿轮（706）相啮合。
8.根据权利要求2所述的一种半导体晶圆涂胶装置，其特征在于，所述位移块（705）的外壁与所述位移槽（704）的内壁相贴合，所述位移块（705）的外壁开设有限位孔，所述位移槽（704）的内壁固定连接有限位杆（15），所述限位杆（15）的外壁与所述限位孔的内壁相贴合。
9.根据权利要求2所述的一种半导体晶圆涂胶装置，其特征在于，所述连接块（713）的外壁与所述连接槽（714）的内壁相贴合，所述连接块（713）的外壁设置有橡胶圈（16）。
10.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆涂胶装置，其特征在于，所述抽气单元（8）包括有抽气管（801），所述抽气管（801）转动连接于所述转动筒（3）的底端，所述转动筒（3）的内部开设有通气槽（802），所述转动盘（4）的内部开设有中空槽（803），所述转动盘（4）的顶端开设有吸气口（804）；所述吸气口（804）通过中空槽（803）、通气槽（802）与抽气管（801）相连通。
...【技术特征摘要】
1.一种半导体晶圆涂胶装置，包括底板（1），所述底板（1）的上方固定连接有收集框（2），所述收集框（2）的内部转动连接有转动筒（3），所述转动筒（3）的顶端固定连接有转动盘（4），所述底板（1）的顶端安装有电机（5），所述转动筒（3）的外壁固定连接有第二直齿轮（10），所述电机（5）的输出端连接有第一直齿轮（9），所述第一直齿轮（9）与所述第二直齿轮（10）相啮合，所述转动盘（4）的上方设置有电动推杆（11），所述电动推杆（11）的输出端连接有活动座（12），所述活动座（12）的底端安装有喷头（13），所述活动座（12）的顶端安装有进液管（14），所述进液管（14）与所述喷头（13）相连通，其特征在于，晶圆通过定位机构（6）保持与转动盘（4）处于同一轴心位置，晶圆的边缘通过刷动机构（7）进行刷动操作，晶圆通过抽气单元（8）固定在所述转动盘（4）顶端；
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆涂胶装置，其特征在于，所述刷动机构（7）包括有伸缩杆（701），所述伸缩杆（701）对称固定连接于所述活动座（12）的外壁，所述伸缩杆（701）的一端固定连接有插板（702），所述滑动架（603）的外壁开设有插槽（703）和位移槽（704），所述插槽（703）供所述插板（702）插入，所述位移座（606）的底端固定连接有位移块（705），所述位移块（705）滑动连接于所述位移槽（704）的内壁，所述滑动架（603）的内部位于所述位移块（705）的底端转动连接有第四直齿轮（706），所述滑动架（603）的内部位于所述第四直齿轮（706）的底端滑动连接有推动块（707），所述推动块（707）与所述滑动架（603）之间连接有第一弹簧（708），所述推动块（707）的一端延伸至所述插槽（703）的内腔，所述推动块（707）的另一端固定连接有弹性片（709），所述弹性片（709）远离所述推动块（707）的一端固定连接有对接块（710），所述对接块（710）的一端设置有安装块（711），所述安装块（711）的外壁固定连接有刷动垫（712），所述安装块（711）远离所述刷动垫（712）的一端固定连接有连接块（713），所述对接块（710）朝向所述安装块...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈思太，宋波，
申请(专利权)人：淄博晨启电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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