【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及元器件检测，特别涉及一种扫描电镜制样方法及系统。
技术介绍
1、扫描电子显微镜(scanning electron microscope，sem)，简称扫描电镜，是利用高电压撞击靶材产生x射线穿透来检测电子元器件、半导体封装产品内部结构构造品质、以及表面贴装技术(surface mounted technology，smt)各类型焊点焊接质量。sem制样方法是指通过一系列步骤对样本进行处理和制备，以满足扫描电镜的观察和分析要求。
2、由于sem分析对样本的表面状态有较高的要求，因此sem制样过程中需要确保样本的完整性、清洁度以及良好的导电性。然而，传统的sem制样方法对于微量材料(如服务器上纳米级别的粉末状材料)来说存在诸多挑战，容易造成样本损失、污染或形变等，这直接影响了最终分析结果的准确性和可靠性。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种扫描电镜制样方法及系统，用于最大程度减少微量材料的样本在制备过程中的损失和污染，同时提高处理效率和成像质量。
2、第一方面，本专利技术实施例提供的一种扫描电镜制样方法，该方法包括：
3、从电子元器件中提取样本，使用光学固定方法对样本进行固定，其中所述光学固定方法用于对样本进行非接触式的固定；
4、将固定好的样本置于第一混合溶液中，使用低频超声波清洗预设时长，去除样本表面的污染物，得到清洗好的样本；
5、使用第二混合溶液对清洗好的样本进行脱水，并使用惰性气体进行吹干，以使扫描
6、本实施例的光学固定方法能够高度保留微量材料的原始状态，避免传统物理接触式固定带来的风险，能够最大程度减少微量材料的样本在制备过程中的损失和污染，同时提高处理效率和成像质量。本实施例中采用低频超声波清洗的方式，能够在保证样本完整度的同时提高样本的清洗度，更适用于针对电子元器件中的微量材料的清洗。本实施例可以采用惰性气体对样本进行干燥的方式，能够有效减缓样本在干燥过程中发生的氧化问题。本实施例采用乙醇和丙酮的混合溶液对样本进行脱水，由于乙醇和丙酮的挥发性较好，能够最大程度降低乙醇和丙酮的混合溶液在样本上的残留，保证样本分析结果的真实性。
7、作为一种可选的实施方式，所述光学固定方法包括光固化树脂或光子烧结技术。
8、本实施例中的光学固定方法能够高度保留微量材料的原始状态，避免传统物理接触式固定带来的风险，最大程度降低样本在制备过程中的损失。
9、作为一种可选的实施方式，所述惰性气体包括氮气或氩气。
10、本实施例采用氮气或氩气对样本进行吹干，能够有效减缓样本在干燥过程中发生的氧化问题。
11、作为一种可选的实施方式，该方法还包括：
12、在真空环境下对干燥的样本进行金属喷镀，并通过改变真空环境下的真空度，控制喷镀的金属薄膜在样本表面的均匀程度。
13、本实施例采用真空环境下进行喷镀的方式，并且通过真空度控制喷镀的均匀程度，保证喷镀的金属薄膜在样本表面是均匀且连续的，从而保证样本导电的有效性，便于sem检测。
14、作为一种可选的实施方式，该方法还包括：
15、使用配备金刚石刀片的切割机对干燥的样本进行切割；
16、使用微粒子研磨膏对切割后的样本进行抛光，直至切割截面达到预设效果。
17、本实施例采用金刚石刀片的切割机对干燥的样本进行切割，能够提高样本切割的精度，避免样本的热损伤和机械应力导致的内部结构改变。同时，使用微粒子研磨膏对切割后的样本进行抛光，能够在保证抛光效果的同时降低成本。
18、第二方面，本专利技术实施例提供的一种扫描电镜制样系统，该系统包括：
19、样本固定设备，用于从电子元器件中提取样本，使用光学固定方法对样本进行固定，其中所述光学固定方法用于对样本进行非接触式的固定；
20、样本清洗设备，用于将固定好的样本置于第一混合溶液中，使用低频超声波清洗预设时长，去除样本表面的污染物，得到清洗好的样本；
21、样本干燥设备，用于使用第二混合溶液对清洗好的样本进行脱水，并使用惰性气体进行吹干，以使扫描电子显微镜进行检测；其中所述惰性气体用于减缓样本的氧化，所述第二混合溶液包括乙醇和丙酮的混合溶液。
22、作为一种可选的实施方式，所述光学固定方法包括光固化树脂或光子烧结技术。
23、作为一种可选的实施方式，所述惰性气体包括氮气或氩气。
24、作为一种可选的实施方式，所述系统还包括喷镀设备，具体用于：
25、在真空环境下对干燥的样本进行金属喷镀，并通过改变真空环境下的真空度，控制喷镀的金属薄膜在样本表面的均匀程度。
26、作为一种可选的实施方式，所述系统还包括切割设备，具体用于：
27、使用配备金刚石刀片的切割机对干燥的样本进行切割；
28、使用微粒子研磨膏对切割后的样本进行抛光，直至切割截面达到预设效果。第三方面，本专利技术实施例还提供一种扫描电镜制样装置，该装置包括：
29、样本固定模块，用于从电子元器件中提取样本，使用光学固定方法对样本进行固定，其中所述光学固定方法用于对样本进行非接触式的固定；
30、样本清洗模块，用于将固定好的样本置于第一混合溶液中，使用低频超声波清洗预设时长，去除样本表面的污染物，得到清洗好的样本；
31、样本干燥模块，用于使用第二混合溶液对清洗好的样本进行脱水，并使用惰性气体进行吹干，以使扫描电子显微镜进行检测；其中所述惰性气体用于减缓样本的氧化，所述第二混合溶液包括乙醇和丙酮的混合溶液。
32、作为一种可选的实施方式，所述光学固定方法包括光固化树脂或光子烧结技术。
33、作为一种可选的实施方式，所述惰性气体包括氮气或氩气。
34、作为一种可选的实施方式，该装置还包括导电模块，具体用于：
35、在真空环境下对干燥的样本进行金属喷镀，并通过改变真空环境下的真空度，控制喷镀的金属薄膜在样本表面的均匀程度。
36、作为一种可选的实施方式，该装置还包括切割抛光模块，具体用于：
37、使用配备金刚石刀片的切割机对干燥的样本进行切割；
38、使用微粒子研磨膏对切割后的样本进行抛光，直至切割截面达到预设效果。
39、第三方面，本专利技术实施例还提供计算机存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时用于实现上述第一方面中任一项所述方法的步骤。
40、第四方面，本申请提供了一种计算机程序产品，所述计算机程序产品包括：计算机程序代码，当所述计算机程序代码在计算机上运行时，使得计算机执行第一方面中任一项所述的方法。
41、本申请的这些方面或其他方面在以下的实施例的描述中会更加简明易懂。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种扫描电镜制样方法，其特征在于，该方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光学固定方法包括光固化树脂或光子烧结技术。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述惰性气体包括氮气或氩气。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，该方法还包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，该方法还包括：
6.一种扫描电镜制样系统，其特征在于，该系统包括：
7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述光学固定方法包括光固化树脂或光子烧结技术。
8.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述惰性气体包括氮气或氩气。
9.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述系统还包括喷镀设备，具体用于：
10.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述系统还包括切割设备，具体用于：
【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜制样方法，其特征在于，该方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光学固定方法包括光固化树脂或光子烧结技术。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述惰性气体包括氮气或氩气。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，该方法还包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，该方法还包括：
6.一种扫描电...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒲嘉鹏，张迎华，杨振颢，刘佳劲，
申请(专利权)人：曙光信息产业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。