System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 显示面板和显示装置制造方法及图纸_技高网

显示面板和显示装置制造方法及图纸

技术编号:44304358 阅读:1 留言:0更新日期:2025-02-18 20:21
本申请提供了一种显示面板和显示装置,该显示面板包括:衬底基板和薄膜晶体管开关,薄膜晶体管开关设置于衬底基板上;薄膜晶体管开关包括:依次设置的有源层、栅绝缘层、栅极、第一绝缘层,第一绝缘层覆盖栅极;依次设置于第一绝缘层上的源极、第一平坦层和漏极,其中,第一平坦层覆盖源极,源极通过第一绝缘层和栅绝缘层开设的第一通孔与有源层电连接,第一平坦层、第一绝缘层和栅绝缘层组成的堆叠结构包括凹陷,漏极部分设置于凹陷中,以使得漏极与有源层电连接,该显示面板能够有效避免出现污渍不良和条状Mura的现象,从而提高了用户的视觉体验。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及显示,并且,更具体地,涉及一种显示面板和显示装置


技术介绍

1、高像素密度(pixels per inch,ppi)的虚拟现实(virtual reality,vr)产品目前已经是低温多晶硅(low temperature poly silicon,ltps)液晶显示器(liquid crystaldisplay,lcd)的主要发展方向,然而,随着显示装置的ppi的提高,像素间距变得非常小,这意味着要在有限的空间内放置更多的像素和线路(如数据线、信号线等)。为了应对上述问题,当前的制造工艺多采用双绝缘层(包括:ild1和ild2)和双金属导电层(包括,源极(sd1)和漏极(sd2))的结构来缓解由于sd漏极连接块和sd线路排布过于密集带来的曝光工艺兼容性问题。

2、然而,在上述过程中,绝缘层在覆盖源极时,由于源极边缘区域的膜层段差大,可能导致绝缘层的膜层断裂,以及因漏极刻蚀残留引起的相邻像素电路之间发生短路,进而可能导致显示面板出现污渍不良和条状mura的现象,这将严重影响用户的视觉体验。


技术实现思路

1、本申请提供一种显示面板和显示装置,能够有效避免显示面板出现污渍不良和条状mura的现象,从而提高用户的视觉体验。

2、第一方面,提供了一种显示面板,该显示面板包括:衬底基板和薄膜晶体管开关,所述薄膜晶体管开关设置于所述衬底基板上;所述薄膜晶体管开关包括:依次设置的有源层、栅绝缘层、栅极、第一绝缘层,所述第一绝缘层覆盖所述栅极;依次设置于所述第一绝缘层上的源极、第一平坦层和漏极,其中,所述第一平坦层覆盖所述源极,所述源极通过所述第一绝缘层和所述栅绝缘层开设的第一通孔与所述有源层电连接,所述第一平坦层、所述第一绝缘层和所述栅绝缘层组成的堆叠结构包括凹陷,所述漏极部分设置于所述凹陷中,以使得所述漏极与所述有源层电连接。

3、在一种可能的实现方式中,由于第一绝缘层和栅绝缘层的厚度是固定的,通过模拟透过率和对比度等光学参数,可以得到第一绝缘层的厚度为4500至栅绝缘层的厚度为1000至为了满足充电要求,可以将第一绝缘层的厚度设置为2800至

4、本申请实施例中,通过第一平坦层的设置,可以有效填充源极两端的膜层段差,解决了因膜层段差大而引起的漏极刻蚀残留的问题,从而有效地避免了显示面板出现污渍不良和条状mura的现象,提高了用户的视觉体验。

5、结合第一方面,在第一方面的某些实现方式中,在所述第一平坦层与所述漏极之间还设置有第二绝缘层,所述第二绝缘层用于防止所述漏极被剥离。

6、在第一平坦层上设置漏极时,漏极经过干法刻蚀处理后,第一平坦层的膜层表面受到了干刻气体的轰击作用,将会变得蓬松,此时,进行去胶工艺(去除光刻胶)处理后漏极容易被剥离(peeling),进而可能导致显示面板的电气性能下降。本申请实施例中,通过在第一平坦层上设置第二绝缘层,并在第二绝缘层上设置漏极,由于第二绝缘层可以起到膜层固化的作用,使得漏极不容易被剥离,从而保障了显示面板的性能和生产质量。

7、结合第一方面,在第一方面的某些实现方式中,所述第二绝缘层的厚度为

8、本申请实施例中,通过设置第二绝缘层的厚度,一方面可以对第一平坦层的上层表面膜层起到了固化的作用,防止漏极经过干法刻蚀处理后,第一平坦层膜层表面受到等离子体轰击作用而变得蓬松,导致漏极在光刻胶剥离工艺后发生膜层脱落的现象;另一方面,由于漏极干法刻蚀对第二绝缘层的sinx有过刻作用,大约过刻适当增加第二绝缘层的厚度可以避免漏极干法刻蚀将第二绝缘层的sinx全部去除(loss),从而有效防止第一平坦层裸露。

9、结合第一方面,在第一方面的某些实现方式中,所述第二绝缘层通过镀膜的方式设置在所述第一平坦层上,所述镀膜时的温度为220至230摄氏度。

10、由于第一平坦层用于填补膜层表面上的不规则区域,以提供一个平整的基础层。但该层材料在高温条件下可能会释放出挥发性物质(如溶剂、残余气体等),这些挥发物如果未被有效控制,可能会在后续工艺中产生气泡、空隙或颗粒污染,进而影响层间的粘附性和电性能。本申请实施例中,将第二绝缘层通过低温镀膜的方式(220至230摄氏度)覆盖在第一平坦层上,能够有效防止第一平坦层挥发(outgas),从而提高了材料的可靠性。

11、结合第一方面,在第一方面的某些实现方式中,所述薄膜晶体管开关还包括:依次设置的光阻挡层和缓冲层,所述光阻挡层用于阻隔外部光线进入所述有源层,所述缓冲层覆盖所述光阻挡层,且所述缓冲层设置于所述有源层和所述衬底基板之间。

12、由于有源层通常由非晶硅(a-si)或多晶硅(p-si)制成,这些材料对光线非常敏感。当环境光或显示面板的背光照射到有源层时,可能会产生额外的光生电流,导致漏电流增加,影响薄膜晶体管开关性能,进而降低显示面板的对比度和图像质量。本申请实施例中,通过设置光阻挡层,能够有效阻隔外部光线进入有源层,防止光子对有源层中的半导体材料产生不必要的激发效应,从而确保薄膜晶体管开关能够正常工作。

13、结合第一方面,在第一方面的某些实现方式中,所述薄膜晶体管开关还包括:依次设置于所述漏极上的第二平坦层、像素电极、钝化层和公共电极;所述第二平坦层覆盖所述漏极,所述钝化层覆盖所述像素电极,所述像素电极通过所述第二平坦层开设的第二通孔与所述漏极电连接。

14、在一种可能的实现方式中,由于第二平坦层需要起到填深孔以及平坦化的作用,第二平坦层的厚度可以设置为1.5至2.3微米。

15、结合第一方面,在第一方面的某些实现方式中,制备所述第一平坦层的材料包括亚克力材料。

16、结合第一方面,在第一方面的某些实现方式中,所述第一平坦层垂直于所述衬底基板的方向厚度为0.8至1.5微米。

17、本申请实施例中,通过将第一平坦层的厚度设置为0.8至1.5微米之间,能够使得第一平坦层可以充分覆盖栅极、光阻挡层或源极形成的膜层段差,另一方面,可以使得第一平坦层更容易实现小孔曝光,使得漏极连接块更容易搭接到第一平坦层的孔中。

18、结合第一方面,在第一方面的某些实现方式中,所述漏极包括突起部,所述突起部设置于所述凹陷中,所述突起部与所述有源层电连接。

19、第二方面,提供了一种显示装置,所述显示装置包括上述第一方面任意一种实现方式中的显示面板。

20、结合第二方面,在第二方面的某些实现方式中,所述显示装置还包括:外壳、电源和控制按钮等组件。

21、结合第二方面,在第二方面的某些实现方式中,所述显示装置为虚拟现实设备。

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【技术保护点】

1.一种显示面板,其特征在于,所述显示面板包括:衬底基板和薄膜晶体管开关,所述薄膜晶体管开关设置于所述衬底基板上;

2.如权利要求1所述的显示面板,其特征在于,在所述第一平坦层与所述漏极之间还设置有第二绝缘层,所述第二绝缘层用于防止所述漏极被剥离。

3.如权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述第二绝缘层通过镀膜的方式设置在所述第一平坦层上,所述镀膜时的温度为220至230摄氏度。

4.如权利要求1至3中任一项所述的显示面板,其特征在于,所述薄膜晶体管开关还包括:依次设置的光阻挡层和缓冲层,所述光阻挡层用于阻隔外部光线进入所述有源层,所述缓冲层覆盖所述光阻挡层,且所述缓冲层设置于所述有源层和所述衬底基板之间。

5.如权利要求1至4中任一项所述的显示面板,其特征在于,所述薄膜晶体管开关还包括:依次设置于所述漏极上的第二平坦层、像素电极、钝化层和公共电极;

6.如权利要求1至5中任一项所述的显示面板,其特征在于,制备所述第一平坦层的材料包括亚克力材料。

7.如权利要求1至6中任一项所述的显示面板,其特征在于,所述第一平坦层垂直于所述衬底基板的方向厚度为0.8至1.5微米。

8.如权利要求1至7中任一项所述的显示面板,其特征在于,所述漏极包括突起部,所述突起部设置于所述凹陷中,所述突起部与所述有源层电连接。

9.一种显示装置,其特征在于,包括:如权利要求1至8中任一项所述的显示面板。

10.如权利要求9所述的显示装置,其特征在于,所述显示装置为虚拟现实设备。

...

【技术特征摘要】

1.一种显示面板,其特征在于,所述显示面板包括:衬底基板和薄膜晶体管开关,所述薄膜晶体管开关设置于所述衬底基板上;

2.如权利要求1所述的显示面板,其特征在于,在所述第一平坦层与所述漏极之间还设置有第二绝缘层,所述第二绝缘层用于防止所述漏极被剥离。

3.如权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述第二绝缘层通过镀膜的方式设置在所述第一平坦层上,所述镀膜时的温度为220至230摄氏度。

4.如权利要求1至3中任一项所述的显示面板,其特征在于,所述薄膜晶体管开关还包括:依次设置的光阻挡层和缓冲层,所述光阻挡层用于阻隔外部光线进入所述有源层,所述缓冲层覆盖所述光阻挡层,且所述缓冲层设置于所述有源层和所述衬底基板之间。

5.如权利要求1至4中任...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨越王世元武新国陈龙龙吕文强马宇轩刘彬郭春升张文博赵贝赵家聆
申请(专利权)人:鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
类型:发明
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